北京德恒律师事务所 关于合肥芯碁微电子装备股份有限公司 2022 年度向特定对象发行 A 股股票的 补充法律意见书(一) 北京市西城区金融大街 19 号富凯大厦 B 座 12 层 电话:010-52682888 传真:010-52682999 邮编:100033 北京德恒律师事务所 关于合肥芯碁微电子装备股份有限公司 2022 年度向特定对象发行A股股票的补充法律意见书(一) 北京德恒律师事务所 关于合肥芯碁微电子装备股份有限公司 2022 年度向特定对象发行 A 股股票的 补充法律意见书(一) 德恒 02F20220572-5 号 致:合肥芯碁微电子装备股份有限公司 北京德恒律师事务所根据与发行人签署的《专项法律顾问协议》,接受发行 人的委托,担任发行人 2022 年度向特定对象发行 A 股股票(以下简称“本次发 行”)事宜的专项法律顾问。本所根据《公司法》《证券法》以及《管理办法》 等相关法律、法规、部门规章和规范性文件的规定,并参照中国证监会关于《公 开发行证券公司信息披露的编报规则第 12 号-公开发行证券的法律意见书和律 师工作报告》的要求,按照律师行业公认的业务标准、道德规范和勤勉尽责精神, 于 2022 年 10 月 25 日出具了《北京德恒律师事务所关于合肥芯碁微电子装备股 份有限公司 2022 年度向特定对象发行 A 股股票的律师工作报告》以下简称“《律 师工作报告》”)和《北京德恒律师事务所关于合肥芯碁微电子装备股份有限公 司 2022 年度向特定对象发行 A 股股票的法律意见书》(以下简称“《法律意见 书》”)。 上海证券交易所于 2022 年 11 月 7 日出具《关于合肥芯碁微电子装备股份有 限公司向特定对象发行股票申请文件的审核问询函》(上证科审(再融资)〔2022〕 90 号)(以下简称“《审核问询函》”)。本所承办律师现就《审核问询函》所涉 及的需要发行人律师核查并发表意见的有关法律问题以及 2022 年 6 月 30 日至 2022 年 9 月 30 日期间(以下简称“补充披露期间”)发行人相关法律情况的变 化及其他需要说明的事项出具本《补充法律意见书》。 本所及承办律师依据《证券法》《律师事务所从事证券法律业务管理办法》 和《律师事务所证券法律业务执业规则(试行)》等规定及本《补充法律意见书》 出具日以前已经发生或者存在的事实,严格履行了法定职责,遵循了勤勉尽责和 8-3-1 北京德恒律师事务所 关于合肥芯碁微电子装备股份有限公司 2022 年度向特定对象发行A股股票的补充法律意见书(一) 诚实信用原则,进行了充分的核查验证,保证本《补充法律意见书》所认定的事 实真实、准确、完整,所发表的结论性意见合法、准确,不存在虚假记载、误导 性陈述或者重大遗漏,并承担相应法律责任。本《补充法律意见书》是对《法律 意见书》和《律师工作报告》的补充,并构成《法律意见书》和《律师工作报告》 不可分割的一部分。前述《法律意见书》和《律师工作报告》未被本《补充法律 意见书》修改或更新的内容仍然有效。本所承办律师在《法律意见书》和《律师 工作报告》中的声明事项及所使用的简称适用于本《补充法律意见书》。本《补 充法律意见书》仅供芯碁微装 2022 年度向特定对象发行 A 股股票之目的使用, 未经本所及承办律师书面授权,不得用作任何其他目的。本所承办律师依据《证 券法》《律师事务所从事证券法律业务管理办法》和《律师事务所证券法律业务 执业规则(试行)》等有关规定,在对本次发行相关各方提供的有关文件和相关 事实进行充分核查验证的基础上,现出具补充法律意见如下: 8-3-2 北京德恒律师事务所 关于合肥芯碁微电子装备股份有限公司 2022 年度向特定对象发行A股股票的补充法律意见书(一) 第一部分 《反馈意见》回复 问题 6.1 根据申报材料,发行人投资性房地产的面积为 13,244.48 ㎡,发行人拥有的 房产总面积为 35,962.44 ㎡,发行人投资性房地产面积占比为 36.83%。上述租赁 房屋主要系合肥高新区半导体中心与发行人协商将部分闲置配套厂房临时性租 赁给该区集成电路产业相关公司。 请发行说明:(1)发行人投资性房地产及相关土地使用权的来源,报告期 内的租赁收入及净利润金额,占合并报表收入及净利润比例;(2)发行人及控 股、参股子公司是否从事房地产业务。 请保荐机构、发行人律师进行核查并发表明确意见,请申报会计对(1)进 行核查并发表明确意见。 回复: 本所承办律师履行了包括但不限于如下查验程序:1.查阅发行人及其子公 司《营业执照》、公司章程;2.查阅发行人拥有的国有土地使用权证书及不动产 权证书;3.查阅合肥市不动产登记中心出具的发行人不动产登记簿查询记录; 4.查阅发行人报告期内的审计报告及财务报表、发行人 2021 年年度报告、2022 年半年报、2022 年第三季度报告等公告;5.查阅了发行人与合肥高新股份有限 公司签订的《合肥市存量房买卖合同网签确认单》《存量房买卖合同》《合肥高新 微电子生产基地项目销售协议》《合肥高新微电子生产基地项目销售协议补充协 议》及价款支付文件;6.查阅了《合肥芯碁微电子装备股份有限公司 2022 年度 向特定对象发行 A 股股票募集说明书》;7.登录中华人民共和国住房和城乡建 设部网站(https://www.mohurd.gov.cn)进行查询;8.取得了发行人出具的《关 于公司及控股子公司、参股子公司不存在房地产业务的说明》等。 在上述核查基础上,本所承办律师出具如下法律意见: 一、发行人投资性房地产及相关土地使用权的来源,报告期内的租赁收入 及净利润金额,占合并报表收入及净利润比例 8-3-3 北京德恒律师事务所 关于合肥芯碁微电子装备股份有限公司 2022 年度向特定对象发行A股股票的补充法律意见书(一) (一)发行人投资性房地产及相关土地使用权的来源 经本所承办律师核查,截至 2022 年 9 月 30 日,发行人拥有的投资性房地产 及相关土地使用权的来源情况如下: 投资性房 序 对应的不动产 投资性房产位置 产面积 目前租赁状态 来源情况 号 权证书号 (m2) 该场地为首发前公 位于合肥高新 司原生产基地,因场 股份有限公司 高新区创新大道 地区域小,已不满足 (以下简称“高 皖(2019)合 2800 号合肥创新 公司正常生产需要, 新股份”)开发 1 1,082.63 肥市不动产权 产业园二期 G 区 目前已停止生产活 的产业园区,发 第 1121376 号 4 幢 102 动,对外出租给国仪 行人向高新股 量子(合肥)技术有 份直接购买现 限公司 房 目前生产基地内的 高新区长宁大道 皖(2021)合 配套厂房,暂时闲 789 号 2 幢厂房 1 肥市不动产权 2 1,937.00 置,对外出租给合肥 层(部分)和 2 第 11166031 九川智能装备有限 层 号 发行人与高新 公司 股份签订《定向 目前生产基地内的 皖(2021)合 开发协议》,由 高新区长宁大道 配套厂房,暂时闲 肥市不动产权 高新股份代建 3 789 号 4 幢厂房 1 3,350.85 置,对外出租给安徽 第 11166033 完毕后,发行人 层和 4 层 克洛诺斯科技有限 号 再向其整体购 公司 买(包含地上建 目前生产基地内的 皖(2021)合 筑物及土地) 配套厂房暂时闲置, 高新区长宁大道 肥市不动产权 4 6,874.00 对外出租给合肥阿 789 号 5 幢厂房 第 11166034 基米德电子科技有 号 限公司 (二)报告期内的租赁收入及净利润金额,占合并报表收入及净利润比例 经本所承办律师核查,报告期内,公司房产租赁收入及净利润金额、占合并 报表收入及净利润比例情况如下: 单位:万元 项目 2022 年 1-9 月 2021 年度 2020 年度 2019 年度 租赁收入 358.46 251.50 41.24 - 租赁成本 69.71 57.31 7.01 - 租赁净利润 245.44 165.06 29.10 - 租赁收入占合并报 0.87% 0.51% 0.13% - 表收入比例 租赁净利润占合并 2.80% 1.55% 0.41% - 报表净利润比例 8-3-4 北京德恒律师事务所 关于合肥芯碁微电子装备股份有限公司 2022 年度向特定对象发行A股股票的补充法律意见书(一) 注:租赁净利润=(租赁收入-租赁成本)*(1-15%) 二、发行人及其控股子公司、参股公司是否从事房地产相关业务 经本所承办律师核查,截至本《补充法律意见书》出具之日,发行人及其控 股子公司、参股公司的经营范围、实际从事的主要业务情况如下: 公司 关联关系 经营范围 实际从事主要业务 名称 集成电路、印刷电路、平板显示、平板印刷、新 发行人专业从事以微纳 能源工业领域的高端制造装备及软硬件产品的 直写光刻为技术核心的 芯碁 研发、生产、销售;自营和代理各类商品的进出 直接成像设备及直写光 发行人 微装 口业务(国家法律法规限定或禁止的除外)。(依 刻设备的研发、制造、 法须经批准的项目,经相关部门批准后方可开展 销售以及相应的维保服 经营活动) 务。 一般项目:技术服务、技术开发、技术咨询、技 术交流、技术转让、技术推广;软件开发;知识 芯碁 发行人全 从事发行人产品的销售 产权服务;电子专用设备销售;半导体器件专用 合微 资子公司 及相应的维保服务。 设备销售;集成电路销售(除依法须经批准的项 目外,凭营业执照依法自主开展经营活动) 安芯同盈系私募投资基 一般项目:创业投资(限投资未上市企业)(除 安芯 发行人参 金,已在中国证券投资 依法须经批准的项目外,凭营业执照依法自主开 同盈 股子公司 基金业协会备案登记, 展经营活动) 备案编号为 SVU416 一般经营项目是:集成电路、印刷电路、平板显 示、平板印刷、新能源工业领域的高端制造装备 及软硬件产品的研发与销售;国内贸易,货物及 深圳 发行人分 技术进出口。(法律、行政法规、国务院决定禁 从事发行人产品的销售 分公 公司 止的项目除外,限制的项目须取得许可后方可经 及相应的维保服务。 司 营),许可经营项目是:集成电路、印刷电路、 平板显示、平板印刷、新能源工业领域的高端制 造装备及软硬件产品的生产。 根据《中华人民共和国城市房地产管理法(2019 年修正)》第三十条之规定, “房地产开发企业是以营利为目的,从事房地产开发和经营的企业。”根据《城市 房地产开发经营管理条例(2020 年第二次修订)》第二条之规定,“房地产开发 经营,是指房地产开发企业在城市规划区内国有土地上进行基础设施建设、房屋 建设,并转让房地产开发项目或者销售、出租商品房的行为。”根据《房地产开 发企业资质管理规定(2022 年修正)》第三条之规定,“房地产开发企业应当按 照本规定申请核定企业资质等级。未取得房地产开发资质等级证书(以下简称资 8-3-5 北京德恒律师事务所 关于合肥芯碁微电子装备股份有限公司 2022 年度向特定对象发行A股股票的补充法律意见书(一) 质证书)的企业,不得从事房地产开发经营业务。” 根据发行人书面确认,并经本所承办律师查询中华人民共和国住房和城乡建 设部网站,截至本《补充法律意见书》出具之日,发行人及其控股子公司、参股 子公司均不具有房地产开发、经营资质。 此外,发行人已出具《关于公司及控股子公司、参股子公司不存在房地产业 务的说明》,发行人确认:“1、截至本说明出具日,合肥芯碁微电子装备股份有 限公司(以下简称公司)及控股子公司均不涉及房地产开发的经营范围,均不具 备房地产开发企业资质,不存在房地产开发业务。2、公司本次向特定对象发行 A 股股票对应募投项目‘直写光刻设备产业应用深化拓展项目’‘IC 载板、类 载板直写光刻设备产业化项目’及‘关键子系统、核心零部件自主研发项目’均 不涉及住宅开发和商业地产开发等房地产开发业务,未来亦不会涉及相关房地产 业务。3、公司本次向特定对象发行 A 股股票所募集的资金均不会用于、亦不会 变相用于房地产开发业务。” 综上,本所承办律师认为,截至本《补充法律意见书》出具之日,发行人及 其控股子公司、参股子公司未从事房地产相关业务。 8-3-6 北京德恒律师事务所 关于合肥芯碁微电子装备股份有限公司 2022 年度向特定对象发行A股股票的补充法律意见书(一) 第二部分 对法律意见书的更新 一、本次发行的批准和授权 根据发行人 2022 年第二次股东大会授权,发行人于 2022 年 12 月 16 日召开 第二届董事会第三次会议,审议通过了《关于调整公司 2022 年度向特定对象发 行 A 股股票方案的议案》 关于公司 2022 年度向特定对象发行 A 股股票预案(修 订稿)的议案》《关于公司<2022 年度向特定对象发行 A 股股票发行方案的论证 分析报告(修订稿)>的议案》《关于公司<2022 年度向特定对象发行 A 股股票募 集资金运用的可行性分析报告(修订稿)>的议案》《关于向特定对象发行 A 股 股票摊薄即期回报与公司采取填补措施及相关主体承诺(修订稿)的议案》《关 于本次募集资金投向属于科技创新领域的说明(修订稿)的议案》等与本次发行 相关的议案。独立董事发表了独立意见,认为上述议案符合相关法律、法规和规 范性文件的规定,不存在损害公司或公司股东特别是中小股东利益的情形。 根据发行人第二届董事会第三次会议审议通过的《关于调整公司 2022 年度 向特定对象发行 A 股股票方案的议案》,公司本次发行募集资金总额由“不超过 82,528.57 万元(含本数)”调整为“不超过 79,768.57 万元(含本数)”,调整 后的募集资金总额在扣除发行费用后将用于以下项目: 项目总投资 募集资金使用金额 序号 项目名称 (万元) (万元) 1 直写光刻设备产业应用深化拓展项目 31,756.19 26,598.00 2 IC载板、类载板LDI设备产业化项目 23,408.27 17,583.75 3 关键子系统、核心零部件自主研发项目 24,758.22 15,172.00 4 补充流动资金项目 30,000.00 20,414.82 合计 109,922.68 79,768.57 除上述调整外,发行人本次发行的主要内容不存在其他重大变化。根据发行 人 2022 年第二次临时股东大会的授权,本次调整向特定对象发行股票募集资金 总额事项无需再提交发行人股东大会审议。 本所承办律师认为,发行人本次发行已获得发行人内部必要的批准及授权。 本次发行尚需经上交所审核通过并报经中国证监会履行发行注册程序。 8-3-7 北京德恒律师事务所 关于合肥芯碁微电子装备股份有限公司 2022 年度向特定对象发行A股股票的补充法律意见书(一) 二、发行人本次发行的主体资格 经本所承办律师核查,截至本《补充法律意见书》出具之日,发行人为合法 存续的股份有限公司,不存在依据《公司法》《公司章程》的规定需要终止或解 散的情形。同时,发行人股票已在上交所上市交易,不存在依据《证券法》《上 市规则》的规定需要终止上市的情形,发行人具备本次发行的主体资格。 三、本次发行的实质条件 经本所承办律师核查,截至本《补充法律意见书》出具之日,发行人本次发 行符合《公司法》《证券法》《管理办法》等相关法律、法规及规范性文件规定的 向特定对象发行股票的实质条件。 四、发行人的设立 经本所承办律师核查,发行人的设立情况未发生变化。 五、发行人的独立性 经本所承办律师核查,截至本《补充法律意见书》出具之日,发行人的独立 性相关事项未发生变化。 六、发行人的主要股东和实际控制人 根据中国证券登记结算有限责任公司上海分公司出具的股东查询资料并经 本所承办律师核查,截至 2022 年 9 月 30 日,发行人前十大股东及其持股情况如 下: 序号 股东名称 持股数量(股) 持股比例(%) 1 程卓 36,787,490 30.45 2 亚歌半导体 12,600,000 10.43 3 顶擎电子 6,350,690 5.26 4 康同投资 4,612,891 3.82 上海浦东发展银行股份有限公司 5 -中欧创新未来 18 个月封闭运作 3,765,071 3.12 混合型证券投资基金 6 春生三号 3,591,982 2.97 国投(宁波)科技成果 7 2,363,414 1.96 转化创业投资基金合伙 8-3-8 北京德恒律师事务所 关于合肥芯碁微电子装备股份有限公司 2022 年度向特定对象发行A股股票的补充法律意见书(一) 企业(有限合伙) 8 合肥创新投 2,240,460 1.85 9 启赋国隆 2,226,469 1.84 中欧基金-中国人寿保 险股份有限公司-分红 险-中欧基金国寿股份 10 1,828,242 1.51 均衡股票型组合单一资 产管理计划(可供出 售) 合计 76,366,709 63.21 经本所承办律师核查,发行人的上述主要股东均具有法律、法规和规范性文 件规定担任发行人股东的资格。发行人的控股股东、实际控制人未发生变化,持 有发行人 5%以上股份的股东所持发行人的股份不存在质押、冻结等权利受到限 制的情形。 七、发行人的股本及其演变 经本所承办律师核查,截至本《补充法律意见书》出具之日,发行人股本总 额未发生变动。 八、发行人的业务 (一)发行人及其控股子公司的经营范围和主营业务 经本所承办律师核查,截至本《补充法律意见书》出具之日,发行人及其控 股子公司的经营范围均未发生变化。 (二)发行人及其控股子公司已获得的资质许可 经本所承办律师核查,自《法律意见书》出具日起至本《补充法律意见书》 出具之日,发行人新增的认证情况如下: 持证 证书编 证书名称 体系标准 颁发机构 认证范围 有效期至 人 号 GB/T 00222E3 光刻机成套 发行 环境管理体 方圆标志认证 24001-2016/ISO 4038R0 设备的研发、 2025.11.9 人 系认证证书 集团有限公司 14001:2015 M 生产 职业健康安 GB/T 00222S2 光刻机成套 发行 方圆标志认证 全管理体系 45001-2020/ISO 3712R0 设备的研发、 2025.11.9 人 集团有限公司 认证 45001:2018 M 生产 8-3-9 北京德恒律师事务所 关于合肥芯碁微电子装备股份有限公司 2022 年度向特定对象发行A股股票的补充法律意见书(一) 自《法律意见书》出具日起至本《补充法律意见书》出具之日,发行人拥有 的质量管理体系认证证书已到期,发行人已重新申请并取得新换发的质量管理体 系认证证书,该证书具体情况如下: 持证人 体系标准 颁发机构 证书编号 认证范围 有效期至 GB/T 方圆标志认证集团 00222Q264 光刻机成套设 发行人 19001-2016/ 2025.11.9 有限公司 97R0M 备的研发、生产 ISO 9001:2015 除上述情况外,自《法律意见书》出具日起至本《补充法律意见书》出具之 日,发行人持有的与生产经营相关的主要生产经营资质和证照未发生其他变化。 (三)发行人在中国大陆以外的经营 经本所承办律师核查,截至本《补充法律意见书》出具之日,发行人未在中 国大陆以外开展新的经营投资活动。 (四)发行人主营业务突出 根据发行人出具的说明并经本所承办律师核查,截至本《补充法律意见书》 出具之日,发行人的主营业务未发生变化,主营业务仍然突出。 (五)发行人的持续经营 经本所承办律师核查,截至本《补充法律意见书》出具之日,发行人为永久 存续的股份有限公司,发行人依照法律的规定在其经营范围内开展经营,发行人 依法有效存续,生产经营正常,不存在依据国家法律、法规、规范性文件及《公 司章程》规定需要终止的情形;发行人正在履行的重大合同中不存在可能影响发 行人持续经营能力的情形。 综上,本所承办律师认为,截至本《补充法律意见书》出具之日,发行人实 际经营的主要业务与经核准的经营范围相符,符合有关法律、法规和规范性文件 的规定,且发行人的持续经营不存在法律障碍。 九、关联交易及同业竞争 (一)发行人的主要关联方 经本所承办律师核查,自《法律意见书》出具日起至本《补充法律意见书》 8-3-10 北京德恒律师事务所 关于合肥芯碁微电子装备股份有限公司 2022 年度向特定对象发行A股股票的补充法律意见书(一) 出具之日,发行人关联方的变化情况如下: 1.持有发行人 5%以上股份的股东 经本所承办律师核查,顶擎电子通过证券交易所以集中竞价、大宗交易方式 减持发行人股票,截至本《补充法律意见书》出具之日,顶擎电子直接持有公司 股份 5,950,690 股,占公司总股本的 4.9261%,顶擎电子不再是发行人 5%以上股 份的股东。 2.其他关联方 发行人董事 HING WONG 已于 2022 年 11 月不再担任洛奇商贸(杭州)有 限公司董事职务、芋头科技(杭州)有限公司董事职务、Atmosic Technologies, Inc.董事职务、杭州灵伴科技有限公司董事职务。 发行人董事赵凌云持有 100%股权并担任执行董事、法定代表人的南京畅通 物联科技有限公司已于 2022 年 9 月工商注销。 发行人董事长、实际控制人程卓配偶郭亚峰控制的公司国盛典当已于 2022 年 11 月工商注销。 《法律意见书》披露的发行人董事周驰军担任执行董事的河南湘元机械有限 公司名称更新为“河南湘元工程机械有限公司”。 经本所承办律师核查,除上述关联方变化外,自《法律意见书》出具日起至 本《补充法律意见书》出具之日,发行人关联方未发生其他变化。 (二)关联交易 根据发行人提供的 2022 年 1-9 月财务报表、发行人书面确认,并经本所承 办律师核查,在 2022 年 1-9 月期间内,发行人关联交易更新如下: 1.采购商品、接受劳务的关联交易 关联交易 关联交易定价 年度 关联方名称 金额(万元) 内容 方式 深圳市路维光电股份有限公司 原材料 市场价 37.13 2022.1-9 安徽盛佳奔富商贸有限责任公司 酒 市场价 1.26 8-3-11 北京德恒律师事务所 关于合肥芯碁微电子装备股份有限公司 2022 年度向特定对象发行A股股票的补充法律意见书(一) 2.关联租赁 出租方 承租方 交易内容 2022年1-9月(万元) 发行人 合肥九川智能装备有限公司 房屋租赁 60.01 3.关键管理人员报酬 项目 2022年1-9月(万元) 关键管理人员报酬 191.09 4.关联方应收应付款 项目名称 关联方名称 2022年9月30日(万元) 应付账款 深圳市路维光电股份有限公司 59.07 其他应付款 合肥九川智能装备有限公司 39.55 经本所承办律师核查,发行人上述关联交易定价合法、公允,不存在损害发 行人及其股东利益的情形。发行人上述关联交易依照法律法规及发行人当时的 《公司章程》履行了相应的批准程序,不存在违反当时法律、法规及发行人当时 《公司章程》规定的情况。 (三)同业竞争 经本所承办律师核查,截至本《补充法律意见书》出具之日,发行人主营业 务与其控股股东及实际控制人控制的其他企业不存在同业竞争,发行人控股股东 及实际控制人为避免同业竞争所出具的承诺被有效履行。 十、发行人的主要财产 (一)发行人及其控股子公司拥有的土地使用权及房屋所有权 经本所承办律师核查,补充披露期间,发行人及其控股子公司无新增土地使 用权,无新增房屋所有权。 经本所承办律师核查,补充披露期间,发行人及其控股子公司拥有的其他土 地使用权及房屋所有权均未发生重大变化。 (二)发行人及其控股子公司租赁的土地及房屋情况 经本所承办律师核查,补充披露期间,发行人及其控股子公司未新增租赁土 8-3-12 北京德恒律师事务所 关于合肥芯碁微电子装备股份有限公司 2022 年度向特定对象发行A股股票的补充法律意见书(一) 地及房屋。 (三)发行人及其控股子公司拥有商标、专利等无形资产 1.注册商标 经本所承办律师核查,补充披露期间,发行人及其控股子公司拥有的注册商 标未发生变化。 2.专利 经本所承办律师核查,补充披露期间,发行人及控股子公司新增 8 项已授权 专利,具体情况如下: 专利号/ 专利 专利 专利权 取得 权利 序号 专利名称 申请日 申请号 类别 权人 期限 方式 限制 处理曝光图形数 ZL20201 据的方法、曝光控 2020.03.1 发行 原始 1 0188495. 发明 二十年 无 制单元和直写式 7 人 取得 0 曝光机 ZL20201 曝光系统的控制 2020.12.0 发行 原始 2 1428844. 发明 二十年 无 方法和曝光系统 9 人 取得 8 镜头畸变补偿方 ZL20201 2020.12.3 发行 原始 3 法、存储介质以及 1635539. 发明 二十年 无 1 人 取得 直写式光刻机 6 ZL20211 2021.07.2 发行 原始 4 吸附装置 0853043. 发明 二十年 无 7 人 取得 4 ZL20211 2021.07.2 发行 原始 5 吸附装置 0851672. 发明 二十年 无 7 人 取得 3 ZL20222 一种高效激光直 实用 2022.01.1 发行 原始 6 0105103. 十年 无 写曝光设备 新型 7 人 取得 4 ZL20222 曝光系统和曝光 实用 2022.04.2 发行 原始 7 0988421. 十年 无 机 新型 5 人 取得 X ZL20222 实用 2022.03.0 发行 原始 8 光学对准系统 0504425. 十年 无 6 新型 7 人 取得 经本所承办律师核查,补充披露期间,除新增上述专利外,发行人及其控股 子公司拥有的专利未发生其他重大变化。 8-3-13 北京德恒律师事务所 关于合肥芯碁微电子装备股份有限公司 2022 年度向特定对象发行A股股票的补充法律意见书(一) 4.软件著作权 经本所承办律师核查,补充披露期间,发行人及其控股子公司拥有的软件著 作权未发生变化。 5.域名 经本所承办律师核查,补充披露期间,发行人拥有域名未发生变化。 (四)发行人拥有的主要生产经营设备 根据发行人提供的财务报表,截至 2022 年 9 月 30 日,发行人拥有的主要生 产经营设备情况如下: 单位:万元 类别 原值 账面价值 成新率 房屋及建筑物 10,457.68 10,078.67 96.38% 机器设备 4,705.69 3,671.13 78.01% 运输设备 329.27 176.85 53.71% 电子设备及其他 456.56 244.01 53.44% 合计 15,949.20 14,170.66 88.85% 经本所承办律师核查,发行人对相关主要生产经营设备拥有合法的所有权, 不存在产权纠纷或潜在争议的情况。 (五)发行人对外投资情况 经本所承办律师核查,截至本《补充法律意见书》出具之日,发行人参股子 公司安芯同盈的注册资本由“7,260 万元”增加至“8,260 万元”,发行人持有安 芯同盈 12.11%财产份额。 除安芯同盈的上述变化外,发行人的对外投资情况未发生其他重大变化。 十一、发行人的重大债权债务 (一)重大合同 经本所承办律师核查,补充披露期间,发行人披露的正在履行的重大合同未 发生变化。 (二)侵权之债 8-3-14 北京德恒律师事务所 关于合肥芯碁微电子装备股份有限公司 2022 年度向特定对象发行A股股票的补充法律意见书(一) 经本所承办律师核查,补充披露期间,发行人不存在因环境保护、知识产权、 产品质量、劳动安全和人身权等原因而产生的重大侵权之债。 (三)发行人与关联方的重大债权债务关系及担保情况 根据发行人书面确认并经本所承办律师核查,截至 2022 年 9 月 30 日,除已 披露的情形外,发行人与关联方之间不存在其他重大债权债务关系或相互提供担 保的情况。 (四)发行人金额较大的其他应收款、应付款的合法性 根据《审计报告》并经本所承办律师核查,发行人截至 2022 年 9 月 30 日的 金额较大的其它应收款、其他应付款均属于发行人生产经营活动过程中正常发生 的往来款项,不存在争议或纠纷。 十二、发行人的重大资产变化及收购兼并 经本所承办律师核查,截至本《补充法律意见书》出具之日,发行人不存在 合并、分立、增资扩股、减少注册资本、重大资产收购或出售情况。 十三、发行人章程的制定与修改 经本所承办律师核查,发行人于 2022 年 12 月 16 日召开第二届董事会第三 次会议,审议通过了《关于修订<公司章程>并办理工商变更登记的议案》。前 述公司章程修改尚需提交发行人股东大会审议通过并办理工商备案。 除上述情况外,自《法律意见书》出具日起至本《补充法律意见书》出具之 日,发行人未对公司章程进行其他修订。 十四、发行人股东大会、董事会、监事会议事规则及规范运作 (一)经本所承办律师核查,自《法律意见书》出具日起至本《补充法律意 见书》出具之日,发行人的组织机构和生产经营管理机构未发生变化。 (二)经本所承办律师核查,自《法律意见书》出具日起至本《补充法律意 见书》出具之日,发行人的《股东大会议事规则》《董事会议事规则》和《监事 会议事规则》未发生变化。 8-3-15 北京德恒律师事务所 关于合肥芯碁微电子装备股份有限公司 2022 年度向特定对象发行A股股票的补充法律意见书(一) (三)经本所承办律师核查,自《法律意见书》出具日起至本《补充法律意 见书》出具之日,发行人共召开了 2 次董事会、2 次监事会,具体情况如下: 2022 年 10 月 28 日,发行人召开第二届董事会第二次会议,审议通过了《关 于公司 2022 年第三季度报告的议案》。同日,发行人召开第二届监事会第二次 会议,审议通过了《关于公司 2022 年第三季度报告的议案》。 2022 年 12 月 16 日,发行人召开第二届董事会第三次会议,审议通过了《关 于调整公司 2022 年度向特定对象发行 A 股股票方案的议案》《关于公司 2022 年度向特定对象发行 A 股股票预案(修订稿)的议案》《关于公司<2022 年度向 特定对象发行 A 股股票发行方案的论证分析报告(修订稿)>的议案》《关于公 司<2022 年度向特定对象发行 A 股股票募集资金运用的可行性分析报告(修订 稿)>的议案》《关于向特定对象发行 A 股股票摊薄即期回报与公司采取填补措 施及相关主体承诺(修订稿)的议案》《关于本次募集资金投向属于科技创新领 域的说明(修订稿)的议案》《关于召开公司 2023 年第一次临时股东大会的议 案》等议案。 同日,发行人召开第二届监事会第三次会议,审议通过了《关于调整公司 2022 年度向特定对象发行 A 股股票方案的议案》《关于公司 2022 年度向特定对 象发行 A 股股票预案(修订稿)的议案》《关于公司<2022 年度向特定对象发行 A 股股票发行方案的论证分析报告(修订稿)>的议案》《关于公司<2022 年度 向特定对象发行 A 股股票募集资金运用的可行性分析报告(修订稿)>的议案》 《关于向特定对象发行 A 股股票摊薄即期回报与公司采取填补措施及相关主体 承诺(修订稿)的议案》《关于本次募集资金投向属于科技创新领域的说明(修 订稿)的议案》等议案。 经核查,本所承办律师认为上述董事会、监事会能按照《公司章程》的相关 规定执行,决议内容合法有效。 十五、发行人董事、监事、高级管理人员和核心技术人员及其变化 经本所承办律师核查,自《法律意见书》出具日起至本《补充法律意见书》 出具之日,发行人的董事、监事和高级管理人员未发生变动。 8-3-16 北京德恒律师事务所 关于合肥芯碁微电子装备股份有限公司 2022 年度向特定对象发行A股股票的补充法律意见书(一) 十六、发行人的税务及财政补贴 经本所承办律师核查,自《法律意见书》出具日起至本《补充法律意见书》 出具之日,发行人及其控股子公司执行的税种、税率情况及享受的税收优惠情况 未发生重大变化,发行人及其控股子公司不存在因违反税收相关法律法规而被有 关主管部门处以重大的行政处罚的情形。 经本所承办律师核查,发行人及其控股子公司在补充披露期间取得并确认为 当期损益(不含递延收益)的主要财政补贴情况如下: 序 计入当期损益的金 公司名称 补贴项目 报表项目 号 额(万元) 2022 年 7-9 月 合肥高新技术产业开发区推进企业上 市工作办公室 2021 年政策兑现之辅导 1 发行人 营业外收入 200 备案、申报奖励-合肥高新技术产业开发 区财政国库支付中心 合肥高新技术产业开发区经济贸易局 2 发行人 2022 制造业融资财政贴息专项-合肥高 营业外收入 20.75 新技术产业开发区财政国库支付中心 合肥高新技术产业开发区经济贸易局 拨付 2022 年第 4 次普惠政策兑现资金- 3 发行人 营业外收入 20.75 合肥高新技术产业开发区财政国库支 付中心 2020 年全省引才资助奖-中共合肥市委 4 发行人 营业外收入 20 组织部 合肥高新技术产业开发区市场监督管 理局 2021 年度高新区级政策兑现第 5 发行人 营业外收入 12 18-1 条-合肥高新技术产业开发区财政 国库支付中心 合肥高新技术产业开发区科学技术局 (数据资源局)企业投保科技保险补贴 6 发行人 营业外收入 4.56 -合肥高新技术产业开发区财政国库支 付中心 合肥高新技术产业开发区经济贸易局 7 发行人 鼓励制造业企业增产增收-合肥高新技 营业外收入 4 术产业开发区财政国库支付中心 知识产权应用服务处报高质量发展政 8 发行人 营业外收入 3.5 策兑现-合肥市市场监督管理局 合肥高新技术产业开发区市场监督管 理局 2021 年度高新区级政策兑现第 9 发行人 营业外收入 3 18-2 条-合肥高新技术产业开发区财政 国库支付中心 合肥高新技术产业开发区人事劳动局 2022 年一季度新增就业补贴第二批-合 10 发行人 营业外收入 0.8 肥高新技术产业开发区财政国库支付 中心 11 发行人 合肥高新技术产业开发区人事劳动局 营业外收入 0.4 8-3-17 北京德恒律师事务所 关于合肥芯碁微电子装备股份有限公司 2022 年度向特定对象发行A股股票的补充法律意见书(一) 2022 年一次性吸纳就业补贴第二批-合 肥高新技术产业开发区财政国库支付 中心 十七、发行人的环境保护和产品质量、技术等标准 经本所承办律师核查,截至本《补充法律意见书》出具之日,发行人及其控 股子公司不存在由于违反有关有产品质量、技术监督和环境保护方面的法律法规 而受到行政处罚且情节严重的情况。 十八、发行人募集资金的运用 根据发行人提供的文件,截至本补充法律意见出具之日,发行人已对本次发 行的募集资金总额进行调减,调减后,本次向特定对象发行股票的募集资金总额 不超过人民币 79,768.57 万元(含本数),具体调整情况详见本补充法律意见书 正文“一、本次发行的批准和授权”部分所述。 十九、发行人业务发展目标 截至本《补充法律意见书》出具之日,发行人的业务发展目标未发生变化。 二十、诉讼、仲裁或行政处罚 (一)发行人及其控股子公司涉及的重大诉讼、仲裁或行政处罚 经本所承办律师核查,自《法律意见书》出具日起至本《补充法律意见书》 出具之日,发行人及其控股子公司不存在尚未了结的或可预见的、可能对本次发 行构成实质性障碍的重大诉讼、仲裁或行政处罚情况。 (二)发行人控股股东、实际控制人涉及的重大诉讼、仲裁或行政处罚 经本所承办律师核查,自《法律意见书》出具日起至本《补充法律意见书》 出具之日,发行人控股股东、实际控制人不存在尚未了结的或可预见的重大诉讼、 仲裁及行政处罚情况。 (三)发行人董事、监事、高级管理人员涉及的重大诉讼、仲裁或行政处罚 经本所承办律师核查,自《法律意见书》出具日起至本《补充法律意见书》 出具之日,发行人董事、监事、高级管理人员不存在尚未了结的或可预见的重大 8-3-18 北京德恒律师事务所 关于合肥芯碁微电子装备股份有限公司 2022 年度向特定对象发行A股股票的补充法律意见书(一) 诉讼、仲裁及行政处罚情况。 二十一、发行人本次发行申请文件法律风险的评价 本所承办律师对《募集说明书》引用本《补充法律意见书》的相关内容进行 了审阅。本所承办律师认为,发行人本次发行申请文件引用的本《补充法律意见 书》相关内容与本《补充法律意见书》无矛盾之处,发行人本次发行申请文件不 会因引用本《补充法律意见书》的内容而出现虚假记载、误导性陈述或重大遗漏。 二十二、结论性意见 综上,本所承办律师认为,自《法律意见书》出具日起至本《补充法律意见 书》出具之日,发行人继续具备《公司法》《证券法》《管理办法》及其他有关 法律、法规规定的科创板上市公司向特定对象发行股票的实质条件,本次发行尚 待取得上交所的审核同意并在中国证监会履行发行注册程序。 (以下无正文) 8-3-19 北京德恒律师事务所 关于合肥芯碁微电子装备股份有限公司 2022 年度向特定对象发行A股股票的补充法律意见书(一) (本页为《北京德恒律师事务所关于合肥芯碁微电子装备股份有限公司 2022 年 度向特定对象发行 A 股股票的补充法律意见书(一)》之签署页) 北京德恒律师事务所(盖章) 负责人: 王 丽 承办律师: 李晓新 承办律师: 李珍慧 承办律师: 钱 方 年 月 日 8-3-20