海通证券股份有限公司关于合肥芯碁微电子装备股份有限公司

            首次公开发行部分限售股上市流通的核查意见

    根据《证券发行上市保荐业务管理办法》《上海证券交易所科创板股票上市
规则》等法律法规的规定，海通证券股份有限公司（以下简称“海通证券”或“保荐
机构”）作为合肥芯碁微电子装备股份有限公司（以下简称“芯碁微装”、“上市公
司”或“公司”）持续督导工作的保荐机构，对公司首次公开发行部分限售股上市流
通事项进行了核查。具体情况如下：

    一、本次限售股上市类型

    芯碁微装根据中国证券监督管理委员会于 2021 年2 月 1 日出具的《关于同意
合肥芯碁微电子装备股份有限公司首次公开发行股票注册的批复》（证监许可
〔2021〕350 号文），首次向社会公众公开发行人民币普通股（A 股）股票
30,202,448 股，并于 2021 年 4 月 1 日在上海证券交易所科创板上市，发行完成后
总股本为 120,800,000 股，其中有限售条件流通股 96,244,929 股，占公司发行后总
股本的 79.67%，无限售条件流通股 24,555,071 股，占公司发行后总股本的
20.33%。

    本次上市流通的限售股为公司首次公开发行部分限售股，涉及限售股股东 1
名，限售期为自公司股票上市之日起 24 个月，该限售股股东对应的限售股股份
数量为 1,510,122 股，占公司股本总数的 1.25%，该部分限售股将于 2023 年 4 月
3 日起上市流通。

    二、本次上市流通的限售股形成后至今公司股本数量变化情况

    公司首次公开发行后总股本为 120,800,000 股。公司上市后，未发生因利润分
配、公积金转增股本等导致股本数量变化的情况。

    三、本次上市流通的限售股的有关承诺

    本次上市流通的限售股属于首次公开发行限售股份，本次申请上市流通限
售股股东所作承诺如下：

    海通创新证券投资有限公司承诺：

                                     1
         海通创新证券投资有限公司承诺获得配售的股票限售期限为自公司首次公开
发行并上市之日起 24 个月。

         除上述承诺外，本次申请上市流通的限售股股东无其他特别承诺。截至本核
查意见出具日，本次申请解除股份限售的股东严格履行了上述承诺，不存在相关
承诺未履行影响本次限售股上市流通的情况。

         四、本次上市流通的限售股情况

         （一）本次上市流通的限售股总数为 1,510,122 股，限售期为 24 个月。

         （二）本次上市流通日期为 2023 年 4 月 3 日。

         （三）限售股上市流通明细清单

                                           持有限售股占
序                            持有限售股数              本次上市流通 剩余限售股数
               股东名称                    公司总股本比
号                              量（股）                  数量（股）   量（股）
                                               例
     海通创新证券投资有限公
 1                              1,510,122           1.25%    1,510,122         0
               司
               合计             1,510,122          1.25%     1,510,122         0

         （四）限售股上市流通情况表：

 序号            限售股类型         本次上市流通数量（股）           限售期（月）
     1          战略配售股                      1,510,122                 24
                合计                            1,510,122                 -

         五、保荐机构核查意见

         经核查，保荐机构认为：

         截至本核查意见出具之日，芯碁微装本次限售股份上市流通符合《证券发行
上市保荐业务管理办法》《上海证券交易所科创板股票上市规则》等相关法律法
规和规范性文件的要求；本次限售股股东已严格履行了相关承诺；本次解除限售
股份数量、上市流通时间等均符合有关法律、行政法规、部门规章、有关规则和
股东承诺；芯碁微装关于本次限售股份上市流通的信息披露真实、准确、完整。

         综上所述，海通证券对芯碁微装本次限售股份上市流通事项无异议。

         （以下无正文）
                                            2
（本页无正文，为《海通证券股份有限公司关于合肥芯碁微电子装备股份有限
公司首次公开发行部分限售股上市流通的核查意见》之签字盖章页）




保荐代表人：


                         林剑辉            周磊




                                                  海通证券股份有限公司

                                                           年   月   日




                                  3