海通证券股份有限公司关于合肥芯碁微电子装备股份有限公司
2022 年度募集资金存放与使用情况的核查意见
海通证券股份有限公司（以下简称“海通证券”或“保荐机构”）作为合肥
芯碁微电子装备股份有限公司（以下简称“芯碁微装”或“公司”）首次公开发
行股票并上市持续督导保荐机构，根据《证券发行上市保荐业务管理办法》《上
市公司监管指引第 2 号——上市公司募集资金管理和使用的监管要求》《上海证
券交易所科创板股票上市规则》《上海证券交易所上市公司自律监管指引第 11
号——持续督导》《上海证券交易所科创板上市公司自律监管指引第 1 号——规
范运作》等有关规定，对芯碁微装 2022 年度募集资金的存放和使用情况进行了
核查，具体情况如下：
一、募集资金基本情况
经中国证券监督管理委员会于2021年2月1日出具的《关于同意合肥芯碁微电
子装备股份有限公司首次公开发行股票注册的批复》（证监许可[2021]350号）
的批准，公司首次公开发行人民币普通股（A股）股票3,020.2448万股，发行价
格15.23元/股，募集资金总额人民币459,983,283.04元，扣除各项发行费用后的实
际募集资金净额为人民币416,358,195.95元。上述资金已于2021年3月29日全部到
位，并存放于公司开设的募集资金专项账户内。容诚会计师事务所（特殊普通合
伙）对前述事项进行了审验，并出具《合肥芯碁微电子装备股份有限公司验资报
告》（容诚验字【2021】230Z0034号）。
截至2022年12月31日，公司累计使用募集资金26,030.60万元，其中以前年度
累计使用募集资金15,973.09万元（包含以募集资金置换发行费用金额63.57万元
及转付的发行费用1,078.84万元），2022年度使用募集资金10,057.51万元。募投
项目节余资金永久补充流动资金6,849.44万元，募集资金专用账户累计利息收入
及理财收益1,196.63万元，累计支付银行手续费0.51万元。公司募集资金余额为
11,094.53万元，其中使用闲置募集资金用于现金管理的理财结算账户余额
8,000.00万元，募集资金专户余额3,094.53万元。具体情况如下：
1
项目 金额（万元）
实际收到的募集资金 42,778.45
减：支付及置换发行费用 1,142.41
减：直接投入募集项目金额 24,888.19
减：项目节余资金永久补流 6,849.44
加：利息收入及理财收益扣除银行手续费的净额 1,196.12
募集资金余额 11,094.53
减：现金管理的闲置募集资金 8,000.00
募集资金专户余额 3,094.53
二、募集资金管理情况
公司根据有关法律法规的规定，遵循规范、安全、高效、透明的原则，制定
了《募集资金管理制度》，对募集资金的存储、审批、使用、管理与监督做出了
明确的规定，在制度上保证了募集资金的规范使用。
公司、海通证券、上海浦东发展银行股份有限公司合肥高新区支行、中信银
行合肥分行营业部、中国建设银行股份有限公司合肥政务文化新区支行、中国农
业银行合肥分行营业部签署了《募集资金专户存储三方监管协议》(以下简称“三
方监管协议”)。《三方监管协议》与证券交易所制定的《募集资金专户存储三方
监管协议（范本）》不存在重大差异，《三方监管协议》的履行不存在问题。
截至 2022 年 12 月 31 日，募集资金存放情况如下表所示：
银行名称 银行帐号 余额（万元）
中国建设银行股份有限公司合肥政务文化新区支行 34050146480800002478 903.25
中国农业银行股份有限公司合肥分行 12187001040099999 1,707.24
中信银行股份有限公司合肥分行 8112301011000711239 484.05
杭州银行股份有限公司合肥科技支行 大额存单 8,000.00
合计 11,094.53
三、本年度募集资金的实际使用情况
（一）募集资金使用情况
截至 2022 年 12 月 31 日，公司募集资金具体使用情况详见附表 1。
（二）募投项目先期投入及置换情况
2
公司于 2021 年 6 月 15 日召开了第一届董事会第十二次会议、第一届监事会
第八次会议，审议了《关于使用募集资金置换预先投入的自筹资金的议案》，同
意公司使用募集资金人民币 5,884.91 万元置换预先投入的募投项目及已支付发
行费用的自筹资金。
（三）用闲置募集资金暂时补充流动资金情况
截至 2022 年 12 月 31 日，公司无用闲置募集资金暂时补充流动资金的情形。
（四）对闲置募集资金进行现金管理、投资相关产品情况
公司于2021年4月22日召开第一届董事会第十一次会议、第一届监事会第七
次会议，审议通过了《关于使用暂时闲置募集资金和自有资金进行现金管理的议
案》，同意公司在确保不影响募集资金安全和投资项目资金使用进度安排的前提
下，使用最高不超过人民币30,000万元的暂时闲置募集资金用于购买安全性高、
流动性好、有保本约定的投资产品，自公司股东大会审议通过之日起12个月内有
效。公司于2021年5月14日召开了2020年年度股东大会，审议通过了《关于使用
暂时闲置募集资金和自有资金进行现金管理的议案》。
2022年4月27日，经第一届董事会第十七次会议及第一届监事会第十二次会
议审议，使用不超过人民币30,000万元的暂时闲置募集资金进行现金管理，使用
期限不超过董事会审议通过之日起12个月，资金可循环滚动使用。
截止2022年12月31 日，公司使用闲置募集资金用于现金管理的余额为
8,000.00万元，其余募集资金均存放于公司募集资金专项账户。2022年度，公司
使用闲置募集资金购买理财产品的情况如下：
金额 预期年化收益
存放银行 产品名称 产品类型 期限
（万元） 率
CA20G12836 单位
杭州银行股份有限
大额存单 G128 期 3 大额存单 2,000.00 2020.9.24-2023.9.24 3.70%
公司合肥科技支行
年
CA22NG0736 单位
杭州银行股份有限
大额存单新客 G07 大额存单 3,000.00 2022.2.25-2025.2.25 3.55%
公司合肥科技支行
期3年
杭州银行股份有限 单位大额存单新客
大额存单 1,000.00 2022.2.24-2025.2.24 3.55%
公司合肥科技支行 G07 期 3 年
3
金额 预期年化收益
存放银行 产品名称 产品类型 期限
（万元） 率
-CA22NG0736
单位大额存单
杭州银行股份有限
G120 期 3 年 大额存单 2,000.00 2022.12.26-2024.8.10 3.55%
公司合肥科技支行
-CA21G12036
东亚银行（中国） 澳元/美元双区间 1.1%或 3.5%
结构性存款 6,000.00 2021.11.26-2022.2.25
有限公司合肥分行 单层触及结构 或 3.8%
东亚银行（中国） 澳元/美元双区间 1.1%或 3.35%
结构性存款 6,000.00 2022.5.27-2022.8.17
有限公司合肥分行 单层触及结构 或 3.65%
东亚银行（中国） 澳元/美元双区间 1.1%或 3.3%
结构性存款 6,000.00 2022.8.17-2022.11.18
有限公司合肥分行 单层触及结构 或 3.3%
“物华添宝”G 款
对公定制版人民币
广发银行股份有限
结构性存款（挂钩 1.5%或 3.6%
公司合肥分行营业 结构性存款 6,500.00 2021.11.22-2022.2.21
黄金看涨阶梯结 或 3.7%
部
构）（机构版）（合
肥分行）
“物华添宝”G 款
对公定制版人民币
广发银行股份有限
结构性存款（挂钩 1.5%或 3.6%
公司合肥分行营业 结构性存款 6,000.00 2021.11.26-2022.2.24
沪金 2206 合约看 或 3.7%
部
涨阶梯结构）（机
构版）（合肥分行）
广发银行“广银创
广发银行股份有限 富”G 款定制版人 1.5%或
公司合肥分行营业 民币结构性存款 结构性存款 6,500.00 2022.2.22-2022.5.23 3.55%或
部 （挂钩中证 500 指 3.7%
数看涨阶梯结构）
广发银行“广银创
广发银行股份有限 富”G 款定制版人 1.5%或
公司合肥分行营业 民币结构性存款 结构性存款 6,000.00 2022.2.25-2022.5.26 3.55%或
部 （挂钩中证 500 指 3.7%
数看涨阶梯结构）
（五）用超募资金永久补充流动资金或归还银行贷款情况
截至 2022 年 12 月 31 日，公司无此种情形。
（六）超募资金用于在建项目及新项目（包括收购资产等）的情况
截至 2022 年 12 月 31 日，公司无此种情形。
（七）节余募集资金使用情况
4
公司于 2022 年 4 月 27 日召开第一届董事会第十七次会议、第一届监事会第
十二次会议，于 2022 年 5 月 18 日召开了 2021 年度股东大会，审议通过了《关
于首次公开发行股票部分募投项目结项并将节余募集资金永久补充流动资金的
议案》，同意公司首次公开发行股票募投项目“高端 PCB 激光直接成像（LDI）
设备升级迭代项目” 结项并将节余募集资金用于永久补充流动资金。公司将该项
目节余募集资金 6,849.44 万元（包含利息收入扣除银行手续费后净额 437.92 万
元）永久性补充流动资金，节余募集资金转出后，公司已对该募集资金专户办理
注销手续，该事项已经公司董事会、股东大会审议通过，独立董事、监事会均发
表了明确同意意见。
四、变更募集资金投资项目的资金使用情况
公司于 2022 年 4 月 27 日召开第一届董事会第十七次会议、第一届监事会第
十二次会议，于 2022 年 5 月 18 日召开了 2021 年度股东大会，审议通过了《关
于首次公开发行股票部分募投项目结项并将节余募集资金永久补充流动资金的
议案》，同意公司首次公开发行股票募投项目“高端 PCB 激光直接成像 (LDI) 设
备升级选代项目” 结项并将节余募集资金用于永久补充流动资金。公司将该项目
节余募集资金 6.849.44 万元(包含利息收入扣除银行手续费后净额 437.92 万元)
永久性补充流动资金，节余募集资金转出后，公司已对该募集资金专户办理注销
手续。该事项已经公司董事会、股东大会审议通过，独立董事、监事会均发表了
明确同意意见。
五、募集资金使用及披露上存在的问题
公司及时、真实、准确、完整的披露了相关信息，不存在募集资金管理的违
规情形。
六、会计师事务所对公司年度募集资金存放与使用情况出具的鉴证报告的
结论性意见
容诚会计师事务所认为，芯碁微装 2022 年度《募集资金存放与实际使用情
况的专项报告》在所有重大方面按照上述《上市公司监管指引第 2 号——上市公
司募集资金管理和使用的监管要求》及交易所的相关规定编制，公允反映了芯碁
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微装 2022 年度募集资金实际存放与使用情况。
七、保荐机构核查意见
经核查，保荐机构认为，公司 2022 年度募集资金的存放与使用符合《证券
发行上市保荐业务管理办法》、《上市公司监管指引第 2 号——上市公司募集资
金管理和使用的监管要求》、《上海证券交易所科创板股票上市规则》、《上海
证券交易所科创板上市公司自律监管指引第 1 号——规范运作》等相关规定及公
司募集资金管理制度，对募集资金进行了专户存储和使用，截至 2022 年 12 月
31 日，公司不存在变相改变募集资金用途和损害股东利益的情形，不存在违规
使用募集资金的情形，公司募集资金使用不存在违反国家反洗钱相关法律法规的
情形。保荐机构对芯碁微装 2022 年度募集资金存放与使用情况无异议。
（以下无正文）
6
（本页无正文，为《海通证券股份有限公司关于合肥芯碁微电子装备股份有限公
司 2022 年度募集资金存放与使用情况的核查意见》之签字盖章页）
保荐代表人签名：_____________ _____________
林剑辉 周磊
海通证券股份有限公司
年 月 日
7
附表 1：
2022 年度募集资金使用情况对照表
单位：万元
募集资金总额 41,635.82 本年度投入募集资金总额 10,057.51
变更用途的募集资金总额 6,411.52
已累计投入募集资金总额 24,888.19
变更用途的募集资金总额比例 15.40%
承诺投资项目 已变更 募集资金 调整后投 截至期末 本年度投 截至期末累 截至期末累 截至期末 项目达到预定 本年度实现 是否达到 项目可行
项目，含 承诺投资 资总额 承诺投入 入金额 计投入金额 计投入金额 投入进度 可使用状态日 的效益 预计效益 性是否发
部分变 总额 金额(1) (2) 与承诺投入 (%)(4)＝ 期 生重大变
更（如 金额的差额 (2)/(1) 化
有） (3)＝(2)-(1)
高端 PCB 激光直
69.13%（已
接成像（LDI）设 — 20,770.00 20,770.00 20,770.00 3,206.73 14,358.48 -6,411.52 2022 年 3 月 不适用 不适用 否
结项）
备升级迭代项目
晶圆级封装
（WLP）直写光
— 9,380.00 5,880.00 5,880.00 2,763.55 3,678.05 -2,201.95 62.55% 2023 年 5 月 不适用 不适用 否
刻设备产业化项
目
平板显示（FPD）
光刻设备研发项 — 10,836.00 8,630.82 8,630.82 2,497.33 4,966.96 -3,663.86 57.55% 2023 年 5 月 不适用 不适用 否
目
微纳制造技术研
— 6,355.00 6,355.00 6,355.00 1,589.90 1,884.70 -4,470.30 29.66% 2023 年 5 月 不适用 不适用 否
发中心建设项目
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合计 — 47,341.00 41,635.82 41,635.82 10,057.51 24,888.19 -16,747.63 — — — — —
因近年新型冠状病毒疫情反复，项目的施工作业、物料采购、基础建设等均受到了一定程度的
影响。公司募投项目施工建设、设备运输等方面均受到影响，致使项目实施进展未达预期。在
未达到计划进度原因(分具体项目) 不改变募投项目的投资内容、投资总额、实施主体的前提下，结合募集资金投资项目的实际建
设情况和投资进度，公司决定将募投项未结项部分的预定可使用状态延期由 2023 年 2 月延至
2023 年 5 月。
项目可行性发生重大变化的情况说明 不适用
公司于 2021 年 6 月 15 日召开了第一届董事会第十二次会议、第一届监事会第八次会议，审议
募集资金投资项目先期投入及置换情况 了《关于使用募集资金置换预先投入的自筹资金的议案》，同意公司使用募集资金人民币
5,884.91 万元置换预先投入的募投项目及已支付发行费用的自筹资金。
用闲置募集资金暂时补充流动资金情况 不适用
公司于 2021 年 4 月 22 日召开第一届董事会第十一次会议、第一届监事会第七次会议，审议通
过了《关于使用暂时闲置募集资金和自有资金进行现金管理的议案》，同意公司在确保不影响
募集资金安全和投资项目资金使用进度安排的前提下，使用最高不超过人民币 30,000 万元的暂
时闲置募集资金用于购买安全性高、流动性好、有保本约定的投资产品自公司股东大会审议通
过之日起 12 个月内有效。公司于 2021 年 5 月 14 日召开了 2020 年度股东大会，审议通过了《关
对闲置募集资金进行现金管理，投资相关产品情况
于使用暂时闲置募集资金和自有资金进行现金管理的议案》。2022 年 4 月 27 日，经第一届董
事会第十七次会议及第一届监事会第十二次会议审议，使用不超过人民币 30,000 万元的暂时闲
置募集资金进行现金管理，使用期限不超过董事会审议通过之日起 12 个月，资金可循环滚动
使用。
截止 2022 年 12 月 31 日，公司使用闲置募集资金用于现金管理的余额为 8,000.00 万元。
用超募资金永久补充流动资金或归还银行贷款情况 不适用
高端 PCB 激光直接成像（LDI）设备升级迭代项目结项后，产生节余募集资金 6,849.44 万元（包
募集资金结余的金额及形成原因 含实际节余募集资金 6,411.52 万元及利息收入扣除银行手续费后净额 437.92 万元），主要原因
为公司在保证项目建设质量的前提下，结合实际情况，节约了部分设备采购投入；同时公司加
9
强项目实施管控，合理降低了项目投入金额。
募集资金其他使用情况 不适用
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