证券代码：688630 证券简称：芯碁微装 公告编号：2023-022
合肥芯碁微电子装备股份有限公司
2022 年度募集资金存放与使用情况的专项报告
本公司董事会及全体董事保证本公告内容不存在任何虚假记载、
误导性陈述或者重大遗漏，并对其内容的真实性、准确性和完整性承
担个别及连带责任。
根据中国证券监督管理委员会(以下简称“证监会”)《上市公司
监管指引第 2 号—上市公司募集资金管理和使用的监管要求》(证监
会公告[2022]15 号)及《上海证券交易所科创板上市公司自律监管指
引第 1 号——规范运作》的规定，合肥芯碁微电子装备股份有限公司
（以下简称“芯碁微装”或“公司”）董事会对 2022 年度募集资金存
放与使用情况的专项报告说明如下：
一、 募集资金基本情况
根据中国证券监督管理委员会《关于同意合肥芯碁微电子装备股
份有限公司首次公开发行股票注册的批复》证监许可[2021]350 号）
的批准，公司首次公开发行人民币普通股（A 股）股票 3,020.2448 万
股，募集资金总额人民币 459,983,283.04 元，募集资金净额为人民
币 416,358,195.95 元。上述资金已于 2021 年 3 月 29 日全部到位，
并存放于公司开设的募集资金专项账户内。容诚会计师事务所（特殊
普通合伙）对前述事项进行了审验，并出具《合肥芯碁微电子装备股
份有限公司验资报告》（容诚验字【2021】230Z0034 号）。
1
截至 2022 年 12 月 31 日，募集资金存放银行产生利息共计人民币
11,966,338.16 （含活期利息）元。截至 2022 年 12 月 31 日，已使
用募集资金金额为人民币 248,881,914.83 元，本年度已使用募集资
金金额为人民币 100,575,093.02 元，进行现金管理余额为人民币
80,000,000.00 元 ， 募 集 资 金 存 储 账 户 余 额 为 人 民 币
30,945,332.14 元。
二、 募集资金存放和管理情况
公司根据有关法律法规的规定，遵循规范、安全、高效、透明的
原则，制定了《募集资金管理制度》，对募集资金的存储、审批、使
用、管理与监督做出了明确的规定，在制度上保证了募集资金的规范
使用。
公司、保荐机构海通证券股份有限公司、上海浦东发展银行股份
有限公司合肥高新区支行、中信银行合肥分行营业部、中国建设银行
股份有限公司合肥政务文化新区支行、中国农业银行合肥分行营业部
签署了《募集资金专户存储三方监管协议》(以下简称“三方监管协
议”)。《三方监管协议》与证券交易所制定的《募集资金专户存储三
方监管协议（范本）》不存在重大差异，《三方监管协议》的履行不存
在问题。
公司于 2022 年 4 月 27 日召开的第一届董事会第十七次会议、
2022 年 5 月 18 日召开的 2021 年年度股东大会审议通过了《关于使
用暂时闲置募集资金和自有资金进行现金管理的议案》和《关于首次
公开发行股票部分募投项目结项并将节余募集资金永久补充流动资
金的议案》，同意公司将首次公开发行募集资金部分投资项目“高端
PCB 激光直接成像（LDI）设备升级迭代项目”结项并将节余募集资
2
金用于永久补充公司流动资金，同时公司在履行相关审议程序后对募
集资金进行了现金管理。
截至 2022 年 12 月 31 日，募集资金存放情况如下表所示：
2022 年 12 月 31 日
开户银行 账号 存款方式 账户余额
(人民币元)
中信银行合肥分行营 8112301011000711239 活期 4,840,450.62
业部
中国建设银行股份有
限公司合肥政务文化 34050146480800002478 活期 9,032,503.51
新区支行
中国农业银行合肥分 12187001040099999 活期
行营业部 17,072,378.01
杭州银行股份有限公 理财 80,000,000.00
大额存单
司合肥科技支行
合计 / / 110,945,332.14
三、 2022 年年度募集资金的实际使用情况
（一）募投项目的资金使用情况
报告期内，公司实际使用募集资金 100,575,093.02 元，具体募
集资金使用情况见附表。
募投项目实际投资进度与投资计划不存在显著差异的，也不存在
无法单独核算效益的情形。
（二）募投项目先期投入及置换情况
截至 2021 年 6 月 30 日，公司已完成对预先投入募投项目的自筹
资金的置换。报告期内公司不涉及对预先投入募投项目的自筹资金的
置换的情形。
（三）用闲置募集资金暂时补充流动资金情况
截至 2022 年 12 月 31 日，公司无用闲置募集资金暂时补充流动
3
资金的情形。
（四）对闲置募集资金进行现金管理、投资相关产品情况
公司于 2022 年 4 月 27 日召开的公司第一届董事会第十七次会
议、2022 年 5 月 18 日召开的 2021 年年度股东大会审议通过了《关
于使用暂时闲置募集资金和自有资金进行现金管理的议案》，使用不
超过人民币 30,000 万元（含本数）的暂时闲置募集资金和不超过
10,000 万元（含本数）的暂时闲置自有资金进行现金管理，用于购买
安全性高、流动性好、有保本约定的投资产品（包括但不限于保本型
理财产品、结构性存款、定期存款、通知存款、大额存单、协定存款
等），期限不超过 12 个月。
截至 2022 年 12 月 31 日，公司对募集资金进行现金管理情况详
见下表：
实际投
序号 受托方 产品类型 批准投资金额 投资期限 期末余额 利息金额
入金额
1 大额存单 50,000,000.00 50,000,000.00 2020.9.24-2023.9.24 20,000,000.00 2,691,369.87
杭州银行
2 大额存单 60,000,000.00 60,000,000.00 2022.2.25-2025.2.25 30,000,000.00 506,726.03
杭州银行
3 大额存单 10,000,000.00 10,000,000.00 2022.2.24-2025.2.24 10,000,000.00 未到期
杭州银行
4 大额存单 20,000,000.00 20,000,000.00 2022.12.26-2024.8.10 20,000,000.00 未到期
杭州银行
东亚银行 结构性存 60,000,000.00 60,000,000.00 - 530,833.33
5 2021.11.26-2022.2.25
款
60,000,000.00 60,000,000.00
6 东亚银行 结构性存 - 457,833.33
2022.5.27-2022.8.17
款
60,000,000.00 60,000,000.00 -
7 东亚银行 结构性存 460,000.00
2022.8.17-2022.11.18
款
-
8 结构性存 65,000,000.00 65,000,000.00 576,986.30
广发银行 2021.11.22-2022.2.21
款
4
-
9 结构性存 60,000,000.00 60,000,000.00 532,602.74
广发银行 2021.11.26-2022.2.24
款
-
10 结构性存 65,000,000.00 65,000,000.00 240,410.96
广发银行 2022.2.22-2022.5.23
款
11 结构性存 60,000,000.00 60,000,000.00 - 221,917.81
广发银行 2022.2.25-2022.5.26
款
合计 570,000,000.00 570,000,000.00 / 80,000,000.00 6,218,680.37
（五）用超募资金永久补充流动资金或归还银行贷款情况
截至 2022 年 12 月 31 日，公司无此种情形。
（六）超募资金用于在建项目及新项目（包括收购资产等）的情
况
截至 2022 年 12 月 31 日，公司无此种情形。
（七）节余募集资金使用情况
公司于 2022 年 4 月 27 日召开的公司第一届董事会第十七次会
议、2022 年 5 月 18 日召开的 2021 年年度股东大会审议通过了《关
于首次公开发行股票部分募投项目结项并将节余募集资金永久补充
流动资金的议案》，同意公司将首次公开发行募集资金部分投资项目
“高端 PCB 激光直接成像（LDI）设备升级迭代项目”结项并将节余
募集资金用于永久补充公司流动资金。
四、 变更募集资金投资项目的资金使用情况
公司于 2022 年 4 月 27 日召开第一届董事会第十七次会议、第一
届监事会第十二次会议，于 2022 年 5 月 18 日召开了 2021 年度股东
大会，审议通过了《关于首次公开发行股票部分募投项目结项并将节
5
余募集资金永久补充流动资金的议案》，同意公司首次公开发行股票
募投项目“高端 PCB 激光直接成像 (LDI) 设备升级选代项目” 结项
并将节余募集资金用于永久补充流动资金。公司将该项目节余募集资
金 6.849.44 万元(包含利息收入扣除银行手续费后净额 437.92 万元)
永久性补充流动资金，节余募集资金转出后，公司已对该募集资金专
户办理注销手续。该事项已经公司董事会、股东大会审议通过，独立
董事、监事会均发表了明确同意意见，保荐机构出具了核查意见。
五、 募集资金使用及披露中存在的问题
公司及时、真实、准确、完整的披露了相关信息，不存在募集资
金管理的违规情形。
六、会计师事务所对公司 2022 年度募集资金存放与使
用情况出具的鉴证报告的结论性意见
会计师事务所认为，芯碁微装《2022 年度募集资金存放与使用情
况的专项报告》在所有重大方面按照上述《上市公司监管指引第 2 号
——上市公司募集资金管理和使用的监管要求》及交易所的相关规定
编制，公允反映了芯碁微装 2022 年度募集资金实际存放与使用情况。
七、保荐机构对公司 2022 年度募集资金存放与使用情
况所出具的专项核查报告的结论性意见
经核查，保荐机构认为，公司 2022 年度募集资金的存放与使用
符合《证券发行上市保荐业务管理办法》、《上市公司监管指引第 2 号
——上市公司募集资金管理和使用的监管要求》、《上海证券交易所科
创板股票上市规则》、《上海证券交易所科创板上市公司自律监管指引
第 1 号——规范运作》等相关规定及公司募集资金管理制度，对募集
资金进行了专户存储和使用，截至 2022 年 12 月 31 日，公司不存在
变相改变募集资金用途和损害股东利益的情形，不存在违规使用募集
6
资金的情形，公司募集资金使用不存在违反国家反洗钱相关法律法规
的情形。保荐机构对芯碁微装 2022 年度募集资金存放与使用情况无
异议。
八、公司存在两次以上融资且当年分别存在募集资金运
用的，应在专项报告分别说明
公司不存在两次以上融资且当年存在募集资金运用的情况。
九、上网公告附件
（一）海通证券股份有限公司关于合肥芯碁微电子装备股份有限
公司 2022 年度募集资金存放与使用情况的核查意见；
（二）容诚会计师事务所（特殊普通合伙）对合肥芯碁微电子装
备股份有限公司 2022 年度募集资金存放及使用情况鉴证报告。
特此公告。
合肥芯碁微电子装备股份有限公司董事会
2023 年 4 月 20 日
7
附表 1：2022 年年度募集资金使用情况对照表
单位：元
本年度投入募集资
募集资金总额 416,358,195.95 100,575,093.02
金总额
变更用途的募集资金
64,115,194.45
总额 已累计投入募集资 248,881,914.83
变更用途的募集资金 金总额
15.40%
总额比例（%）
已 截至 项 项
变 期末 目 目
更 累计 达 可
截至 是
项 投入 到 行
截 至 截至 期末 否
目， 募 集 金额 预 性
调 整 期 末 本年 期末 投入 本 年 达
含 资 金 与承 定 是
承诺投 后 投 承 诺 度投 累计 进度 度 实 到
部 承 诺 诺投 可 否
资项目 资 总 投 入 入金 投入 （%） 现 的 预
分 投 资 入金 使 发
额 金 额 额 金额 ④ = 效益 计
变 额 额的 用 生
① ② ② / 效
更 差额 状 重
① 益
（ ③ = 态 大
如 ② - 日 变
有） ① 期 化
NEX60
、
NEX50
、
NEX40
产品
量
高 端
产;MA
PCB 激
- 20 S8 已
光直接 32,0 143,
207,7 207,7 207,7 64,1 22 完成
成 像 67,3 584, 69.1
无 00,00 00,00 00,00 15,1 年 多台 是 否
（LDI） 19.8 834. 3
0.00 0.00 0.00 65.7 3 验
设备升 4 29
1 月 收；
级迭代
MAS6
项目
出货
到海
外；
获批
4个
发明
专
8
利，
均为
实审
阶段
WLP
已经
出货
到客
户
端；
获批
2个
发明
晶圆级
专
封 装 - 20
27,6 36,7 利，
（WLP） 93,80 58,80 58,80 22,0 23 不
35,5 80,5 62.5 均为
直写光 无 0,000 0,000 0,000 19,4 年 适 否
32.4 01.8 5 实审
刻设备 .00 .00 .00 98.1 5 用
9 5 阶
产业化 5 月
段。
项目
获批
一个
实用
新型
专
利，
为受
理阶
段。
镜头
离线
装调
系
统、
平板显 平台
- 20
示 24,9 49,6 位置
108,3 8,630 8,630 36,6 23 不
（FPD） 73,2 69,6 57.5 精度
无 60,00 8,195 8,195 38,5 年 适 否
光刻设 76.7 21.7 5 mappi
0.00 .95 .95 74.2 5 用
备研发 3 3 ng 系
2 月
项目 统等
已在
装调
过程
中应
用
9
FPD-
G6 已
在客
户端
测
试；
新申
请1
个发
明专
利，
实审
阶
段，
新申
请2
微纳制 - 20 个实
15,8 18,8
造技术 63,55 63,55 63,55 44,7 23 用新 不
98,9 46,9 29.6
研发中 无 0,000 0,000 0,000 03,0 年 型专 适 否
63.9 56.9 6
心建设 .00 .00 .00 43.0 5 利， 用
6 6
项目 4 月 授权
阶
段；8
个发
明专
利由
实审
阶段
转为
授
权。
-
100, 248,
473,4 416,3 416,3 167,
575, 881, 59.7
合计 - 10,00 58,19 58,19 476, - - - -
093. 914. 8
0.00 5.95 5.95 281.
02 83
12
因近年新型冠状病毒疫情反复，项目的施工作业、物料
采购、基础建设等均受到了一定程度的影响。公司募投
项目施工建设、设备运输等方面均受到影响，致使项目
未达到计划进度原因（分具体 实施进展未达预期。在不改变募投项目的投资内容、投
募投项目） 资总额、实施主体的前提下，结合募集资金投资项目的
实际建设情况和投资进度，公司决定将募投项未结项部
分的预定可使用状态延期由 2023 年 2 月延至 2023 年 5
月。
10
项目可行性发生重大变化的情
不适用
况说明
公司于 2021 年 6 月 15 日召开了第一届董事会第十二次
会议、第一届监事会第八次会议，审议了《关于使用募
募集资金投资项目先期投入及
集资金置换预先投入的自筹资金的议案》，同意公司使
置换情况
用募集资金人民币 5,884.91 万元置换预先投入的募投
项目及已支付发行费用的自筹资金。
用闲置募集资金暂时补充流动
不适用
资金情况
截至报告期末，公司进行现金管理的募集资金余额为
对闲置募集资金进行现金管 8,000 万元。具体详见本报告“三、2021 年上半年募集
理，投资相关产品情况 资金的实际使用情况”之“（四）对闲置募集资金进行
现金管理、投资相关产品情况”。
用超募资金永久补充流动资金
不适用
或归还银行贷款情况
高端 PCB 激光直接成像（LDI）设备升级迭代项目结项
后，产生节余募集资金 6,849.44 万元（包含实际节余
募集资金 6,411.52 万元及利息收入扣除银行手续费后
募集资金结余的金额及形成原
净额 437.92 万元），主要原因为公司在保证项目建设质
因
量的前提下，结合实际情况，节约了部分设备采购投
入；同时公司加强项目实施管控，合理降低了项目投入
金额
募集资金其他使用情况 不适用
11