海通证券股份有限公司

                关于合肥芯碁微电子装备股份有限公司

                     部分募投项目延期的核查意见

上海证券交易所：

    经中国证券监督管理委员会《关于同意合肥芯碁微电子装备股份有限公司首
次公开发行股票注册的批复》（证监许可〔2021〕350 号）核准，合肥芯碁微电
子装备股份有限公司（以下简称“上市公司”、“公司”或“发行人”）首次公
开发行股票 3,020.24 万股，每股面值人民币 1 元，每股发行价格人民币 15.23 元，
募集资金总额为人民币 45,998.33 万元，扣除发行费用后，实际募集资金净额为
人民币 41,635.82 万元。本次发行证券已于 2021 年 4 月 1 日在上海证券交易所上
市。海通证券股份有限公司（以下简称“保荐机构”或“海通证券”）担任其持
续督导保荐机构，持续督导期间为 2021 年 4 月 1 日至 2024 年 12 月 31 日。

    根据《证券发行上市保荐业务管理办法》《上海证券交易所科创板股票上市
规则》《上海证券交易所科创板上市公司自律监管指引第 1 号——规范运作》
等有关法律、法规要求，海通证券作为持续督导保荐机构，对公司部分募投项目
延期事项进行了专项核查，现将本次核查的情况报告如下：

    一、募集资金基本情况

    根据中国证券监督管理委员会于2021年2月1日出具的《关于同意合肥芯碁微
电子装备股份有限公司首次公开发行股票注册的批复》（证监许可[2021]350号）
的批准，公司首次公开发行人民币普通股（A股）股票3,020.2448万股，发行价
格15.23元/股，募集资金总额人民币459,983,283.04元，扣除各项发行费用后的实
际募集资金净额为人民币416,358,195.95元。上述资金已于2021年3月29日全部到
位，并存放于公司开设的募集资金专项账户内。容诚会计师事务所（特殊普通合
伙）对前述事项进行了审验，并出具《合肥芯碁微电子装备股份有限公司验资报
告》（容诚验字【2021】230Z0034号）。



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     根据有关法律、法规及《上海证券交易所科创板上市公司自律监管指引第 1
号——规范运作》的要求，公司已对募集资金进行专户存储，并与保荐机构、存
放募集资金的银行签署了《募集资金专户存储三方监管协议》。

     二、募集资金投资项目的基本情况

     截至 2022 年 12 月 31 日，公司首次公开发行股票募集资金投资项目及募集
资金具体使用情况如下：

                                                                           单位：万元
                                                                    截止 2022 年 12 月
序                                   调整前拟投    调整后拟投入                           投资
              项目名称                                              31 日累计投入募集
号                                   入募集资金      募集资金                             进度
                                                                    资金总额
     高端 PCB 激光直接成像（LDI）
1                                     20,770.00        20,770.00        14,358.48        已结项
     设备升级迭代项目
     晶圆级封装（WLP）直写光刻
2                                      9,380.00        5,880.00          3,678.05        62.55%
     设备产业化项目
     平板显示（FPD）光刻设备研
3                                     10,836.00        8,630.82          4,966.96        57.55%
     发项目
     微纳制造技术研发中心建设项
4                                      6,355.00        6,355.00          1,884.70        29.66%
     目
             合计                     47,341.00        41,635.82        24,888.19          -

     三、本次募投项目延期的具体情况

     （一）本次募投项目延期情况

     公司基于审慎性原则，结合当前募投项目实际进展情况，在募投项目实施主
体、募集资金用途及投资项目规模不发生变更的情况下，拟将首发募投未结项部
分达到预定可使用状态的日期进行调整，具体如下：

序                                  原计划达到预定可使用       调整后达到预定可使用状
             项目名称
号                                        状态日期                     态日期
     晶圆级封装（WLP）直写光
 1                                      2023 年 2 月                2023 年 5 月
         刻设备产业化项目
     平板显示（FPD）光刻设备
 2                                      2023 年 2 月                2023 年 5 月
     研发项目
     微纳制造技术研发中心建
 3                                      2023 年 2 月                2023 年 5 月
     设项目

     除上述变更外，公司募投项目的投资总额、建设内容等未发生其他变更。


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   （二）本次募投项目延期原因

    因近年新型冠状病毒疫情反复，项目的施工作业、物料采购、基础建设等均
受到了一定程度的影响。公司募投项目施工建设、设备运输等方面均受到影响，
致使项目实施进展未达预期。公司为严格把控项目整体质量，维护全体股东和公
司利益，经审慎评估和综合考量，在不改变募投项目的投资内容、投资总额、实
施主体的前提下，结合募集资金投资项目的实际建设情况和投资进度，公司决定
将募投项未结项部分的预定可使用状态延期由 2023 年 2 月延至 2023 年 5 月。

    四、本次募投项目延期对公司的影响

    本次募投项目延期是公司根据项目实施的实际情况做出的审慎决定，未改变
募投项目的投资内容、投资总额、实施主体等，不会对募投项目的实施造成实质
性的影响。本次调整不存在变相改变募集资金投向和损害公司及股东利益的情形，
不会对公司的正常经营产生重大不利影响，符合公司长期发展规划，符合有关法
律、法规和《公司章程》的相关规定。

    五、本次募投项目延期的审议程序

   （一）董事会、监事会审议情况

    公司于 2023 年 4 月 19 日召开第二届董事会第六次会议和第二届监事会第五
次会议，审议通过了《关于部分募投项目延期的议案》，同意将未结项募投项目
预定可使用状态的日期延期至 2023 年 5 月。

   （二）监事会意见

    监事会认为：公司在保持募集资金投资项目的实施主体、投资总额和资金用
途等均不发生变化的情况下，根据募集资金投资项目当前的实际建设进度，将公
司首次公开发行股票募集资金投资项目未结项部分达到预定可使用状态的时间
延长至 2023 年 5 月。

    综上，公司监事会同意将公司未结项募投项目进行延期。

   （三）独立董事意见

    独立董事认为：公司本次募集资金投资项目延期是公司根据募投项目实施过

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程的内外部实际情况做出的审慎决定，符合公司实际经营情况，不会对公司的正
常经营产生重大不利影响。该延期事宜仅涉及募集资金投资项目达到预计可使用
状态日期的变化，不涉及项目实施主体、募集资金投资用途及投资规模的变更，
不存在改变或变相改变募集资金投向情形，不存在损害公司和全体股东尤其是中
小股东利益的情形，本次变更的决策及审批程序符合相关法律法规和规范性文件
的规定。

    综上，公司独立董事同意将公司未结项募投项目进行延期。

    六、保荐机构核查意见

    经核查，保荐机构认为：本次募投项目延期是公司根据项目实施的实际情况
做出的审慎决定，项目的延期未改变募投项目的投资内容、投资总额、实施主体，
不会对募投项目的实施造成实质性的影响；本次募投项目延期不存在变相改变募
集资金投向和损害股东利益的情形；本次募投项目延期已经公司董事会、监事会
审议通过，独立董事已出具了同意意见，履行了必要的决策程序，符合相关法律、
法规、规范性文件的要求。

    综上，本保荐机构对公司本次未结项募投项目延期事项无异议。

    （以下无正文）




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   （本页无正文，为《海通证券股份有限公司关于合肥芯碁微电子装备股份有
限公司部分募投项目延期的核查意见》之签字盖章页）




保荐代表人签名：_____________   _____________
                    林剑辉            周磊




                                                   海通证券股份有限公司
                                                       年     月     日




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