中国国际金融股份有限公司
关于沈阳芯源微电子设备股份有限公司
使用部分闲置募集资金暂时补充流动资金的核查意见
中国国际金融股份有限公司（以下简称“中金公司”或“保荐机构”）作为
沈阳芯源微电子设备股份有限公司（以下简称“芯源微”或“公司”）2021 年度
向特定对象发行 A 股股票项目的保荐机构，承接了公司首次公开发行股票并上
市的保荐机构国信证券股份有限公司的持续督导工作，根据《证券发行上市保荐
业务管理办法》《上海证券交易所科创板股票上市规则》《上市公司监管指引第
2 号——上市公司募集资金管理和使用的监管要求》和《上海证券交易所科创板
上市公司自律监管指引第 1 号——规范运作》等有关规定，对芯源微使用部分闲
置募集资金暂时补充流动资金的事项进行了核查，核查情况如下：
一、募集资金基本情况
经中国证券监督管理委员会（以下简称“中国证监会”）《关于同意沈阳芯
源微电子设备股份有限公司首次公开发行股票注册的批复》（证监许可〔2019〕
2335 号）同意注册，公司向社会公开发行人民币普通股（A 股）21,000,000 股，
每股面值为人民币 1 元，每股发行价为人民币 26.97 元，募集资金总额为
566,370,000.00 元，扣除发行费用 60,625,896.22 元（不含增值税）后，实际募集
资金净额为 505,744,103.78 元。以上募集资金已于 2019 年 12 月 10 日到位，募
集资金到位情况已经容诚会计师事务所（特殊普通合伙）审验并出具会验字
[2019]8294 号《验资报告》。公司已对募集资金进行了专户存储，并与保荐机构、
存放募集资金的商业银行签署了《募集资金专户存储三方监管协议》。
二、募集资金使用情况
截至 2023 年 6 月 30 日，公司首次公开发行股票募集资金专用账户余额合计
为 4,340,833.29 元。公司募集资金使用情况具体如下：
单位：人民币元
项目 金额
募集资金净额 505,744,103.78
减：截至 2023 年 6 月 30 日直接对募集资金项目投入 387,316,021.56
其中：高端晶圆处理设备产业化项目 248,133,621.56
高端晶圆处理设备研发中心项目 139,182,400.00
减：截至 2023 年 6 月 30 日使用闲置资金永久补充流动资金 76,600,000.00
减：截至 2023 年 6 月 30 日使用闲置资金暂时补充流动资金 190,000,000.00
减：截至 2023 年 6 月 30 日节余募集资金补流 9,284,650.48
加：截至 2023 年 6 月 30 日募集资金理财收益 11,579,663.95
加：截至 2023 年 6 月 30 日募集资金利息收入扣除手续费净额 10,217,737.60
加：截至 2023 年 6 月 30 日归还闲置资金暂时补充流动资金 140,000,000.00
截至 2023 年 6 月 30 日募集资金余额 4,340,833.29
三、前次使用部分闲置募集资金暂时补充流动资金的情况
2020 年 7 月 2 日，公司召开第一届董事会第十七次会议、第一届监事会第
八次会议，审议通过了《关于使用闲置募集资金暂时补充流动资金的议案》，同
意公司使用不超过人民币 8,000.00 万元闲置募集资金暂时补充流动资金，单次补
充流动资金时间不得超过 12 个月，以满足公司后续发展的实际需求。2021 年 6
月 30 日，公司已将上述 8,000.00 万元用于暂时补充流动资金的募集资金提前悉
数归还至募集资金专户。
2021 年 7 月 2 日，公司召开第一届董事会第二十七次会议、第一届监事会
第十七次会议，审议通过了《关于使用闲置募集资金暂时补充流动资金的议案》，
同意公司在确保不影响募集资金投资项目实施及募集资金使用的情况下，将不超
过人民币 15,000.00 万元闲置募集资金暂时补充流动资金，使用期限自公司董事
会审议通过之日起不超过 12 个月，以满足公司流动资金需求，提高募集资金使
用效率，降低公司财务成本。公司在规定期限内实际使用了人民币 6,000.00 万元
闲置募集资金暂时补充流动资金，并对资金进行了合理的安排与使用，没有影响
募集资金投资项目建设进度的正常进行。截至 2022 年 6 月 30 日，公司已将上述
临时补充流动资金的人民币 6,000 万元闲置募集资金全部归还至募集资金专用账
户。
2022 年 8 月 25 日，公司召开第二届董事会第五次会议、第二届监事会第五
次会议，审议通过了《关于使用部分闲置募集资金暂时补充流动资金的议案》，
同意公司使用不超过人民币 5,800.00 万元闲置募集资金暂时补充流动资金，单次
补充流动资金时间不得超过 12 个月，以满足公司后续发展的实际需求。公司在
规定期限内实际使用了人民币 5,000.00 万元闲置募集资金暂时补充流动资金，并
对资金进行了合理的安排与使用，没有影响募集资金投资项目建设进度的正常进
行。截至 2023 年 8 月 24 日，公司已将上述临时补充流动资金的人民币 5,000.00
万元闲置募集资金全部归还至募集资金专用账户。
四、本次使用部分闲置募集资金暂时补充流动资金的情况
根据公司募集资金投资项目使用进度安排，预计在未来 12 个月内将有不低
于人民币 5,400.00 万元的募集资金暂时闲置。
为了提高募集资金的使用效率，降低财务费用支出，本着公司利益最大化的
原则，根据中国证监会《上市公司监管指引第 2 号——上市公司募集资金管理和
使用的监管要求》、上海证券交易所《上海证券交易所科创板上市公司自律监管
指引第 1 号——规范运作》等有关规定，在保证募集资金投资项目建设的资金需
求以及项目正常进行的前提下，公司拟使用不超过人民币 5,400 万元闲置募集资
金暂时补充流动资金，使用期限自公司董事会审议通过之日起不超过 12 个月。
公司将随时根据募投项目的进展及需求情况及时归还至募集资金专用账户。
本次使用部分闲置募集资金暂时补充流动资金仅用于公司的业务拓展、日常
经营等与主营业务相关的生产经营使用，不会通过直接或间接的安排用于新股配
售、申购，或用于股票及其衍生品种、可转债等交易，不会变相改变募集资金用
途，不会影响募集资金投资计划的正常进行，符合公司实际经营发展的需要，符
合全体股东的利益。
五、公司履行的相关审议程序
2023 年 8 月 28 日，公司第二届董事会第十六次会议、第二届监事会第十五
次会议审议通过《关于使用部分闲置募集资金暂时补充流动资金的议案》，同意
公司在确保不影响募集资金投资项目实施及募集资金使用的情况下，将不超过人
民币 5,400.00 万元闲置募集资金暂时补充流动资金，使用期限自公司董事会审议
通过之日起不超过 12 个月。
公司独立董事对上述使用部分闲置募集资金暂时补充流动资金的议案发表
了明确同意的独立意见。
六、独立董事及监事会意见
（一）独立董事意见
独立董事认为：公司本次使用部分闲置募集资金暂时补充流动资金，有利于
解决公司暂时的流动资金需求，提高募集资金使用效率，降低公司财务成本，提
升公司经营效益，符合公司及全体股东的利益。公司本次使用部分闲置募集资金
暂时补充流动资金，仅限于用于公司的业务拓展、日常经营等与主营业务相关的
生产经营使用，不直接或间接安排用于新股配售、申购，或用于股票及其衍生品
种、可转债等交易，不与募集资金投资项目的实施计划相抵触，不影响募集资金
投资计划的正常进行，不存在变相改变募集资金投向和损害股东利益的情形。
综上，独立董事同意公司本次使用不超过人民币 5,400.00 万元闲置募集资金
暂时补充流动资金事项。
（二）监事会意见
监事会认为：公司本次使用部分闲置募集资金暂时补充流动资金，可以满足
公司生产经营对资金的需求，有利于提高募集资金使用效率，降低公司财务成本，
符合公司及全体股东的利益，符合《上市公司监管指引第 2 号—上市公司募集资
金管理和使用的监管要求》《上海证券交易所科创板上市公司自律监管指引第 1
号——规范运作》等相关法律、法规、规章及其他规范性文件的规定，不会直接
或间接地安排用于新股配售、申购，或用于股票及其衍生品种、可转债等交易，
不会变相改变募集资金用途，不会影响募集资金投资计划的正常进行。
综上，同意公司本次使用不超过人民币 5,400.00 万元闲置募集资金暂时补充
流动资金事项。
七、保荐机构核查意见
经核查，保荐机构认为：公司本次使用部分闲置募集资金暂时补充流动资金
经公司董事会、监事会审议通过，公司独立董事发表了明确同意意见，已履行了
必要的决策程序，符合相关法律、法规和规范性文件中关于募集资金使用决策程
序的规定。公司使用部分闲置募集资金暂时补充流动资金，有利于提高募集资金
使用效率，降低公司财务成本，满足公司业务发展需求，不会影响公司募集资金
投资项目的正常开展，不存在变相改变募集资金投向的情形。
综上，保荐机构对公司本次使用部分闲置募集资金暂时补充流动资金的事项
无异议。
（以下无正文）
