海通证券股份有限公司关于合肥芯碁微电子装备股份有限公司 向特定对象发行限售股上市流通的核查意见 海通证券股份有限公司(以下简称“海通证券”或“保荐机构”)作为合肥 芯碁微电子装备股份有限公司(以下简称“芯碁微装”或“公司”)首次公开发 行股票并上市以及 2022 年度向特定对象发行 A 股股票的持续督导保荐机构,根 据《证券发行上市保荐业务管理办法》《上海证券交易所科创板股票上市规则》 《上海证券交易所科创板上市公司自律监管指引第 1 号——规范运作》等有关规 定,对芯碁微装 2022 年度向特定对象发行限售股上市流通的事项进行了核查,具 体情况如下: 一、本次限售股上市类型 本次限售股上市类型为合肥芯碁微电子装备股份有限公司(以下简称“公 司”或“芯碁微装”)向特定对象发行限售股。 (一) 股份发行核准情况 2023 年 3 月 15 日,公司收到中国证监会出具的《关于同意合肥芯碁微电 子装备股份有限公司向特定对象发行股票注册的批复》(证监许可[2023]563 号),同意公司向特定对象发行 A 股股票的注册申请。公司本次向特定对象发 行股票总数量为 10,497,245 股,募集资金总额为人民币 797,685,647.55 元。 (二) 股份登记情况 公司本次向特定对象发行的 10,497,245 股股份已于 2023 年 8 月 4 日在中国 证券登记结算有限责任公司上海分公司办理完毕股份登记手续。 (三) 限售期安排 本次向特定对象发行股份自发行结束之日起六个月内不得转让,发行新增股 份在限售期满的次一交易日在上海证券交易所科创板上市交易,即本次限售股上 市流通日期为 2024 年 2 月 5 日。 二、本次上市流通的限售股形成后至今公司股本数量变化情况 1 本次向特定对象发行的新股登记完成后,公司增加 10,497,245 股有限售 条件流通股,公司总股本由 120,800,000 股增加至 131,297,245 股。 公司 2022 年限制性股票激励计划首次授予部分第一个归属期已完成归属, 本次限制性股票归属新增的股份数量为 121,841 股,本次变更后,公司总股本 由 131,297,245 股增加至 131,419,086 股。 三、本次上市流通的限售股的有关承诺 本次上市流通的限售股属于向特定对象发行股份,认购对象均承诺认购 所获的股份自发行结束之日起 6 个月内不得转让。 除上述承诺外,本次申请上市流通的限售股股东无其他特别承诺。截至 本公告披露日,本次申请上市流通的限售股股东均严格履行了上述承诺,不 存在相关承诺未履行影响本次限售股上市流通的情况。 四、本次上市流通的限售股情况 (一)本次限售股上市流通的数量为 10,497,245 股,占公司总股本的 7.99%。 (二)本次限售股上市流通日期为 2024 年 2 月 5 日 (三)限售股上市流通明细清单: 持有限售股 持有限售股占公司 本次上市流通 剩余限售股 序号 股东名称 数量(股) 总股本比例(%) 数量(股) 数量(股) 1 诺德基金管理有限公司 4,035,877 3.07 4,035,877 0 国泰君安资产管理(亚洲) 2 1,000,131 0.76 1,000,131 0 有限公司 安徽中安高质量发展壹号股 3 权投资合伙企业(有限合 921,173 0.70 921,173 0 伙) 汇添富基金管理股份有限公 4 789,577 0.60 789,577 0 司 5 UBS AG 592,183 0.45 592,183 0 招商证券资产管理有限公司- 6 招商银行-招商资管智增专享 394,788 0.30 394,788 0 1 号集合资产管理计划 7 吴秀芳 394,788 0.30 394,788 0 8 烟台山高致远私募(投资) 394,788 0.30 394,788 2 基金合伙企业(有限合伙) 9 郭伟松 394,788 0.30 394,788 0 华泰资产管理有限公司-华泰 10 优逸五号混合型养老金产品- 394,788 0.30 394,788 0 中国银行股份有限公司 华泰资产管理有限公司-广州 11 农商行-华泰资产价值优选资 394,788 0.30 394,788 0 产管理产品 华泰资产管理有限公司-优选 12 三号股票型养老金产品-中国 394,788 0.30 394,788 0 工商银行股份有限公司 江西中文传媒蓝海国际投资 13 394,788 0.30 394,788 0 有限公司 合计 10,497,245 7.99 10,497,245 0 (四)限售股上市流通情况表: 序号 限售股类型 本次上市流通股份数量(股) 限售期(月) 1 向特定对象发行 10,497,245 6 合计 10,497,245 - 五、本次股本变动结构表 本次变动前 本次变动股份 本次变动后 股份类型 股份数量(股 数量(股) 股份数量(股 比例(%) 比例(%) ) ) 有限售条件股份 61,704,735 46.95 -10,497,245 51,207,490 38.97 无限售条件股份 69,714,351 53.05 10,497,245 80,211,596 61.03 股份总数 131,419,086 100.00% - 131,419,086 100.00% 六、保荐机构核查意见 经核查,保荐机构认为: 芯碁微装本次限售股上市流通符合《证券发行上市保荐业务管理办法》 《上海证券交易所科创板股票上市规则》等相关法律法规及规范性文件的规 定;本次限售股股东均已严格履行了相关承诺;本次解除限售股份数量、上 市流通时间等均符合有关法律、行政法规、部门规章、有关规则和股东承诺; 芯碁微装关于本次限售股份上市流通的信息披露真实、准确、完整。 综上所述,保荐机构对芯碁微装本次向特定对象发行限售股上市流通事 3 项无异议。 (以下无正文) 4 (本页无正文,为《海通证券股份有限公司关于合肥芯碁微电子装备股份有限 公司向特定对象发行限售股上市流通的核查意见》之签字盖章页) 保荐代表人: 林剑辉 周磊 海通证券股份有限公司 年 月 日 5