海通证券股份有限公司关于合肥芯碁微电子装备股份有限公司

           首次公开发行部分限售股上市流通的核查意见

    海通证券股份有限公司（以下简称“海通证券”或“保荐机构”）作为
合肥芯碁微电子装备股份有限公司（以下简称“芯碁微装”或“公司”）首
次公开发行股票并上市以及 2022 年度向特定对象发行 A 股股票的持续督导保
荐机构，根据《证券发行上市保荐业务管理办法》《上海证券交易所科创板
股票上市规则》《上海证券交易所科创板上市公司自律监管指引第 1 号——
规范运作》等有关规定，对芯碁微装首次公开发行部分限售股上市流通的事
项进行了核查，具体情况如下：

  一、本次限售股上市类型

    根据中国证券监督管理委员会于 2021 年 2 月 1 日出具的《关于同意合肥
芯碁微电子装备股份有限公司首次公开发行股票注册的批复》（证监许可
〔2021〕350 号），合肥芯碁微电子装备股份有限公司（以下简称“芯碁微装”
或“公司”）获准向社会公开发行人民币普通股 30,202,448 股，并于 2021 年 4
月 1 日在上海证券交易所科创板上市。公司首次公开发行股票完成后，总股
本为 120,800,000 股，其中有限售条件流通股为 96,244,929 股，占公司发行后
总股本的 79.67%，无限售条件流通股为 24,555,071 股，占公司发行后总股本
20.33%。

    本次上市流通的限售股为公司首次公开发行部分限售股,涉及限售股股东
数量 4 名，为公司控股股东、实际控制人、董事长程卓及其控制的企业，限
售期为自公司股票上市之日起 36 个月，该部分限售股股东对应的股份数量为
51,207,490 股，占公司股本总数的 38.97%，该部分限售股将于 2024 年 4 月 1
日起上市流通。

  二、本次上市流通的限售股形成后至今公司股本数量变化情况

    2023 年 8 月 4 日，公司向特定对象发行的 10,497,245 股股份在中国证券
登记结算有限责任公司上海分公司办理完毕股份登记，公司总股本由
120,800,000 股增加至 131,297,245 股。

                                   1
    公司 2022 年限制性股票激励计划首次授予部分第一期归属股票 121,841
股于 2023 年 9 月 13 日上市流通。本次限制性股票归属后，公司总股本由
131,297,245 股增加至 131,419,086 股。

    三、本次上市流通的限售股的有关承诺

    本次限售股上市流通的有关股东承诺具体如下：

    （一）控股股东、实际控制人、董事长程卓承诺：

    1、自公司股票上市之日起 36 个月内，不转让或者委托他人管理本人直
接和间接持有的公司首次公开发行上市前已发行的股份，也不由公司回购该
部分股份。

    2、在本人担任公司董事、监事或高级管理人员期间，每年转让的股份不
超过本人直接或间接持有公司股份总数的 25%，在离职后 6 个月内不转让本
人直接或者间接持有的公司股份。

    3、本人所持公司股票在上述股份锁定期限届满后 2 年内减持的，减持价
格不低于发行价（若公司在首次公开发行上市后至本人减持期间发生派发股
利、送红股、转增股本等除息、除权行为，发行价将作相应调整）；若公司
首次公开发行上市后 6 个月内股票价格连续 20 个交易日的收盘价均低于发行
价，或者公司首次公开发行上市后 6 个月期末收盘价低于发行价（若公司在
首次公开发行上市后 6 个月内发生派发股利、送红股、转增股本等除息、除
权行为，收盘价格将作相应调整），本人直接、间接所持公司股份的锁定期
在原有锁定期限的基础上自动延长 6 个月。

    （二）实际控制人、控股股东程卓控制的合肥亚歌半导体科技合伙企业
（有限合伙）、合肥纳光刻企业管理咨询合伙企业（有限合伙）、合肥合光
刻企业管理咨询合伙企业（有限合伙）分别承诺：

    1、自公司股票上市之日起 36 个月内，不转让或者委托他人管理本企业
直接和间接持有的公司首次公开发行上市前已发行的股份，也不由公司回购
该部分股份。



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              2、本企业所持公司股票在上述股份锁定期限届满后 2 年内减持的，减持
       价格不低于发行价（若公司在首次公开发行上市后至本单位减持期间发生派
       发股利、送红股、转增股本等除息、除权行为，发行价将作相应调整）；若
       公司首次公开发行上市后 6 个月内股票价格连续 20 个交易日的收盘价均低于
       发行价，或者公司首次公开发行上市后 6 个月期末收盘价低于发行价（若公
       司在首次公开发行上市后 6 个月内发生派发股利、送红股、转增股本等除息、
       除权行为，收盘价格将作相应调整），本企业直接、间接所持公司股份的锁
       定期在原有锁定期限的基础上自动延长 6 个月。

              截至本核查意见出具日，前述股东均严格履行了相应的承诺事项，不存
       在承诺未履行从而影响本次限售股上市流通的情况。

              四、控股股东及其关联方资金占用情况

              公司不存在控股股东及其关联方占用资金情况。

              五、本次上市流通的限售股情况

              （一）本次限售股上市流通的数量为 51,207,490 股，占公司总股本的
       38.97%。

              （二）本次限售股上市流通日期为 2024 年 4 月 1 日

              （三）限售股上市流通明细清单：

序号                              持有限售股数     持有限售股占公司 本次上市流通 剩余限售股
                股东名称
                                    量（股）       总股本比例（%） 数量（股） 数量（股）
 1               程卓                36,787,490               27.99     36,787,490        0
 2       合肥亚歌半导体科技合伙
                                     12,600,000                9.59     12,600,000        0
         企业（有限合伙）
 3       合肥纳光刻企业管理咨询
                                       995,500                 0.76       995,500         0
         合伙企业（有限合伙）
 4       合肥合光刻企业管理咨询
                                       824,500                 0.63       824,500         0
         合伙企业（有限合伙）
               合计                   51,207,490               38.97   51,207,490         0


              （四）限售股上市流通情况表：

       序号       限售股类型         本次上市流通数量（股）             限售期（月）



                                             3
  1       首发限售股            51,207,490                 36
         合计                   51,207,490                  -


      六、保荐机构核查意见

      经核查，保荐机构认为：

      芯碁微装本次限售股上市流通符合《证券发行上市保荐业务管理办法》
 《上海证券交易所科创板股票上市规则》等相关法律法规及规范性文件的规
 定；本次限售股股东均已严格履行了相关承诺；本次解除限售股份数量、上
 市流通时间等均符合有关法律、行政法规、部门规章、有关规则和股东承诺；
 芯碁微装关于本次限售股份上市流通的信息披露真实、准确、完整。

      综上所述，保荐机构对芯碁微装本次首次公开发行部分限售股上市流通
 事项无异议。

（以下无正文）




                                 4
（本页无正文，为《海通证券股份有限公司关于合肥芯碁微电子装备股份有限
公司首次公开发行部分限售股上市流通的核查意见》之签字盖章页）




保荐代表人：


                         林剑辉            周磊




                                                  海通证券股份有限公司

                                                           年   月   日




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