公司为国内规模最大的半导体设备龙头，近年来业绩持续高增长。公司产品包括半导体、真空及新能源装备等，覆盖IC、功率器件、新型显示、光伏和锂电等领域。2016-2020年营收和归母净利润CAGR分别为39%和55%。2021年H1，公司预计实现营收32.65-39.19亿元，实现归母净利润2.76-3.31亿元，同比增幅均为50-80%，维持高增长态势，结合一季度存货和预收款项的显著增长情况，可以判断公司当前在手订单情况较为充裕；同时公司研发投入占比处于行业领先，2020年占营收比重达27%，近五年均维持在这一水平，从而树立了较为坚固的技术壁垒。 半导体设备行业受益于晶圆产线建设和国产替代进程。当前步入新一轮半导体行业景气周期，但与庞大的市场需求不相匹配的是，当前我国半导体设备国产化率整体较低，国产替代市场空间广阔，同时设备行业处于产业链上游，具备卖铲人效应，业绩兑现性相对较强。公司深耕的刻蚀、薄膜沉积设备在IC设备支出中占比近半，目前已顺利跻身中芯国际、长江存储等供应链，未来将继续充分受益于设备国产替代进程。 盈利预测和投资建议：我们预计公司2021-2023年实现营收86.48、117.81和155.69亿元，同比增长43%、36%和32%，实现归母净利润8、10.64和14.46亿元，同比增长49%、33%和36%，EPS分别为1.61、2.14和2.91元/股，对应PS为19、14和10倍。我们选取同行业可比公司进行比较得知，2021年可比公司PS均值约27倍，我们认为公司为半导体设备龙头，同时其核心产品如刻蚀机、薄膜沉积设备在产业链中具有较高价值量，因此可享有一定的估值溢价，给予“推荐”评级。 风险提示：半导体行业景气度波动，原材料价格波动，公司产能释放不及预期，公司业绩低于预期，新冠疫情持续蔓延，贸易摩擦加剧，国内外经济复苏低于预期，国内外二级市场系统性风险。