维持“增持”评级，下调目标价至13.09元。2023年实现营收39.8亿元（YoY+44.6%），主要原因为竞争加剧，以及公司计提了0.6亿元应收账款和合同资产减值准备，实现扣非归母净利润2.1亿元（YoY-10.97%），业绩不及预期。半导体企业扩产密集释放需求，而洁净室厂商提升产能速度较快导致竞争加剧，毛利率将在2024年继续承压，下调2024-2025年EPS为0.52（-0.14）/0.66（-0.23）元，新增2026年EPS为0.84元。参考可比公司以及公司获取订单能力较强，给予2024年25xPE，下调目标价至13.09元，维持“增持”评级。 2024Q1订单集中确认改善业绩，但行业激烈竞争持续压降毛利率。 公司2023H1在手订单为29亿元，洁净室订单收入确认周期为6-12个月，2024Q1订单集中确认，实现营收11.45亿元（YoY+111.1%）。 2024Q1公司毛利率降至9.6%（YoY-5.3pct），对公司利润表现造成影响，实现扣非归母净利润0.51亿元（YoY-33%）。 公司作为内资洁净室企业获单能力较强，在手订单充足。公司作为洁净室行业头部企业中唯一内资背景的企业，在半导体行业国产替代的背景下获单能力较强，2023年底在手订单28.7亿元（YoY+57.9%），其中半导体产业占比78.1%，在手订单逐步确认将持续贡献营收。 洁净室行业快速扩产，低毛利率情况将延续。洁净室行业是轻资产行业，主要通过增加团队规模实现扩产，2023年行业CR3员工数量同比增长13%，我们认为2024年行业将保持激烈竞争；其中公司员工数量同比增长了21%，毛利率表现仍会受到搞人力成本的不利影响。 风险提示：应收账款回收进展不及预期；订单获取不及预期。

维持“增持”评级，下调目标价至62.28元。2023年实现营收15亿元（YoY-16.8%），主要原因为特气价格下降，实现扣非归母净利润1.61亿元（YoY-20%），业绩不及预期。景气回暖及订单仍需等待，下调2024-2025年EPS为1.73（-0.68）/2.34（-0.82）元，新增2026年EPS为3.04元。参考可比公司以及公司顺利拓展海外业务，给予2024年36xPE，下调目标价至62.28元，维持“增持”评级。 2024Q1国内营收占比提升对冲半导体行业景气度不及预期影响。公司2024Q1实现营收3.33亿元（-7.3%），主要是半导体行业景气度恢复不及预期影响了海外大客户落单节奏所致。国内业务毛利率较海外业务高4-8pct，占比提升推动整体毛利率增至33.04%（YoY+2.79pct），2024Q1实现扣非归母净利润0.44亿元（YoY+12.44%），符合预期。 扩大营收是公司经营的关键，新增特气品类和拓展海外市场两大举措将在2024H2兑现业绩。净利率逐渐改善，公司需增加营收以扩张利润规模：1）持续增加品类，2023年公司推出了C4F6等4款电子级产品，锗烷通过了三星的5nm制程认证，并将乙硅烷作为切入点开发硅基系列产品；2）开拓海外市场，泰国现场制气项目增至3个，并购AIG后将海外销售模式转为直销，有望提升海外业务毛利率。 长期借款及转债增加利息费用，募投产能落地仍需时间。公司于2023年3月发行了6.46亿元可转债，同时长期借款增至2.35亿元，而募投项目建设周期为2年，期间产生的财务费用将影响净利润表现，我们测算全年利息费用约为0.3亿元。 风险提示：1）产能提升影响价格；2）电子特气新品导入不及预期。

23/24Q1受到短期费用增加影响，半导体设备导入提供新增量，同时激光器外售业务提供了短期业绩支撑。 投资要点： 维持“增持”评级，下调目标价至 27.9元。定制设备验收周期较长，营收确认收入节奏放缓，2023年实现扣非归母净利润 0.25亿元（YoY-51.13%），业绩略低于预期。考虑到巨量转移等高潜设备下游需求仍待观察，下调 2024-2025年 EPS 为 0.61（-0.6）/0.76（-1.04）元，新增 2026年 EPS 为 1.01元；公司皮秒等高端激光器外售收入占比提升改善毛利率，汽车设备顺利拓客，给予公司 2024年高于行业平均估值（42xPE）的 46xPE，下调目标价至 27.9元，维持“增持”评级。 销售/研发费用增长影响 Q1业绩，新业务将提供全年支撑。公司积极展业，2024Q1实现营收 1.16亿元（YoY+18.2%）；开发 IC 先进封装应用等新设备，销售及研发团队扩张，导致 Q1期间费用率提升至56%（+4pct），对业绩造成了短期影响，2024Q1扣非归母净利润-0.1亿元（YoY-540.11%）。考虑到高端激光器销售持续景气，电池除膜和钙钛矿激光设备收入将于年内集中确认，全年业绩受影响有限。 碳化硅、TGV/TMV 等新设备落地，将在 2024下半年释放利润。设备以旧换新政策催化更新迭代需求，公司 8英寸碳化硅晶锭切割、TGV 加工等新设备有望持续获单，同时考虑到激光设备 12个月左右的交付期，原有订单也将在下半年确认，新设备落地将改善业绩表现。 高端激光器外销规模提升对冲设备毛利率下降影响。飞秒等高端超快激光器销售收入同比增长 66%，推动激光器业务毛利率 达到48.58%（YoY+8.14pct），对冲了激光加工设备同比下降 4.21pct 的影响，在新设备收入确认之前，激光器业务将为公司提供业绩支撑。 风险提示：技术迭代影响产品销售；竞争加剧导致毛利率承压。