| 名称 | 收入 | 占比 | 同比 |
| 制程关键系统 | 2836.15 | 57.69% | -- |
| 半导体设备零组件 | 855.77 | 17.41% | -- |
| 气体和先进材料 | 678.73 | 13.81% | 25.07% |
| 专业运维管理服务 | 544.22 | 11.07% | -- |
| 其他（补充） | 1.56 | 0.03% | 62.60% |
| 日期 | 变动人 | 均价 | 变动股数 |
| 20251203 | 史可成 | 21.30 | +42.14万 |
| 20251202 | 史可成 | 21.30 | +70.06万 |
| 20251126 | 黄勇 | 28.71 | -60.00万 |
| 20251126 | 周明峥 | 28.68 | -60.00万 |
| 20251125 | 黄勇 | 29.07 | -100.00万 |
| 成交价 | 平均溢价 | 成交量(万股) | 日期 |
| 33.37 | 2.58% | 30.18 | 2026-02-06 |
| 32.89 | 1.11% | 72.95 | 2026-02-06 |
| 33.22 | 0.09% | 15.35 | 2026-02-04 |
| 33.20 | -1.13% | 60.83 | 2026-02-03 |
| 40.06 | -0.99% | 53.75 | 2023-12-13 |
| 融买(万) | 融卖(手) | 总余额(万) | 收盘价 | 日期 |
| 1610 | 0 | 77900 | 32.66 | 2026-04-30 |
| 3207 | 0 | 79000 | 32.61 | 2026-04-29 |
| 3385 | 97 | 80400 | 33.50 | 2026-04-28 |
| 4074 | 2 | 80100 | 33.40 | 2026-04-27 |
| 1790 | 3 | 79500 | 32.28 | 2026-04-24 |
| 2473 | 0 | 80600 | 32.13 | 2026-04-23 |
| 3206 | 21 | 81700 | 32.73 | 2026-04-22 |
| 2623 | 24 | 82000 | 31.97 | 2026-04-21 |
| 5991 | 8 | 83100 | 31.68 | 2026-04-20 |
| 3674 | 2 | 82400 | 32.60 | 2026-04-17 |