事件：公司发布 2023年半年度报告，2023年 H1公司实现营收 13.44亿元，同比增长 42.55%；归母净利润 1.50亿元，同比增长 183.54%；扣非净利润0.75亿元，同比增长 66.10%。分季度看，2023年 Q2实现营收 9.34亿元，同比增长 60.71%，环比增长 127.26%；归母净利润 1.39亿元，同比增长233.50%，环比增长 1143.49%；扣非净利润 0.67亿元，同比增长 61.81%，环比增长 813.89%。 23年 H1业绩表现亮眼，在手订单较为充沛：2023年 H1，公司所处下游行业市场规模扩大，市场渗透率快速提升，拉动公司营收实现高增长，同时公司运营效率和产品毛利不断提升，净利润实现大幅增长。23年 H1公司毛利率为 28.38%，同比+2.20pcts；净利率为 12.42%，同比+6.76pcts。Q2毛利率为 27.08%，同比-0.27pcts，环比-4.27pcts；净利率为 16.28%，同比+9.13pcts，环比+12.64pcts，公司 H1盈利能力同比显著提升。费用方面，23年 H1公 司 销 售 、 管 理 、 研 发 、 财 务 费 用 率 分 别 为2.27%/9.83%/6.25%/0.94%，同比变动分别为 0.32/-2.14/1.54/0.50pcts。 23年 H1研发费用为 0.84亿元，同比增长 88.94%，主要系公司在业务范围拓展、新技术研发、新产品开发等方面研发投入的物料消耗增加及职工薪酬增加所致。23年 H1新签合同为 35.9亿元，同比增长 78.6%，其中来自于半导体行业和光伏行业的新签合同分别同比增长 77%和 179%；截至 H1末的在手合同 56.3亿，同比增长 73.8%，预计公司在手订单较为充沛，有望支撑业绩实现持续增长。 打造平台式气体业务模式，产能放量有望加速业务成长：公司向下游客户销售电子特种气体、电子大宗气和电子先进材料等工艺介质，已具备合成、提纯、混配、充装、分析、检测和供应等核心能力。公司致力于打造平台式的气体业务模式，不断提高气体和先进材料占公司整体业务的比重。2023年H1气体业务收入同比增长 42%，高于市场的平均增速，毛利率持续改善。 公司 2022年和 2023年开展了多个气体和先进材料生产基地投建项目，其中“合肥高纯氢气项目”、“潍坊高纯大宗项目”、“丽水大宗气、混合气、特种气体项目、以及铜陵电子材料等项目将分别于 2023年下半年到 2024年底逐步落成投产。随着扩产项目的逐步落地，公司气体业务的增长有望加速。 电子工艺设备市占率持续提升，国产化前驱体产品市场空间广阔：当前国内整体的半导体设备国产化率依然处于较低的水平，美国制裁有望加速国内半导体设备国产化进程。公司开发的“泛半导体工艺设备子系统”业务，较早进入工艺设备的上游国产替代行列，产品已经逐步被国产工艺设备头部厂商中微、北方华创、拓荆、晶盛等采用，市场占有率不断提升。半导体前驱体是半导体薄膜沉积工艺的核心制造材料，主要应用于气相沉积(包括 PVD、CVD 和 ALD)以形成符合半导体制造要求的各类薄膜层；随着 ALD 技术发展，前驱体材料的应用场景愈发广泛。公司在铜陵电子材料生产基地投建的前驱体制造基地，将覆盖 20余种前驱体产品，涉及硅基、金属基、High-K 和 Low-K四大品类，目前正在开始小批量客户导入，预计 2024年逐步达到量产。半导体前驱体是壁垒较高的先进材料，国产化率低，随着中国半导体制造产能的持续提升，国产化前驱体产品市场前景较为广阔，有望为公司贡献营收增长新动能。 上调盈利预测，维持“增持”评级：公司依托系统和装备类固定资产投资（CAPEX）业务，积极开拓服务运营类（OPEX）业务，向客户提供电子气体化学品和 MRO 服务。受益于半导体、光伏行业大规模扩产，公司 Capex 业务有望持续快速发展。此外，公司积极布局电子气体、MRO 等 OPEX 业务，有望打开公司业绩天花板。预计公司 2023-2025年归母净利润分别为 3.97亿元、5.69亿元、7.60亿元，EPS 分别为 1.42、2.04、2.73元，PE 分别为24X、17X、13X，维持“增持”评级。 风险提示：宏观经济波动风险；国产化需求不及预期；产能扩张不及预期； 下游市场需求不及预期。

中枢CAPEX业务为基，OPEX业务接力成长。公司是高纯工艺介质体系的国内领航者，致力于为客户提供制程关键系统与设备、关键材料和专业服务的三位一体方案。通过长期的研发与投入，公司不断增强技术水平及客户粘性，长期服务于中芯国际、长江存储、京东方、通威、三安等头部客户。目前，公司的中枢CAPEX业务（工艺介质供应系统、设备、模块与组件）已达到国内领先水平，公司以此为基石，快速衍生扩张OPEX业务版图（气体业务及专业服务），并着力打造立体综合的一体化业务模式。 半导体/光伏/生物医药空间广阔，工艺介质设备与下游产业共同成长。工艺介质供应系统是核心工艺设备的气体、液体输送系统，是提高生产效率和产品质量的关键，广泛应用于泛半导体、光纤通信、医药制造等行业。其中，半导体、光伏和生物医药领域增势迅猛。受益于下游领域国产化进程提速和需求的逐步释放，工艺介质系统增长动能充足。 布局GasBox切入半导体零部件领域，国产替代厚积薄发。GasBox为干法泛半导体设备内部的气体供应组件，是重要的半导体零部件。 因GasBox主要应用于易燃易爆气体与毒性腐蚀性气体供应环节，因此具有较高技术门槛和性能要求。当下，GasBox仍高度依赖进口，其国际供应商在国内的市占率达到90%以上，随着国际制裁层层加码，半导体零部件国产替代诉求愈发强烈。公司深耕气体输送系统多年，具备切入GasBox领域的先发优势。目前，公司子公司鸿舸半导体的GasBox业务已获得国内头部工艺设备商的广泛认证，且上海临港工厂已全面投产，GasBox业务有望乘风而起。 战略综合布局OPEX业务，气体业务横向拓展长期蓄能。在Opex业务板块，电子特气和电子大宗气双轮驱动叠加MRO和Recycle业务的全面配合，为公司的持续发展不断增添新动能。经过多年技术积累，公司已具备合成、提纯、混配、充装等核心能力，实现了电子特气砷烷、磷烷的自研及规模化落地，是国内为数不多的能稳定量产该类特气的企业之一。依托电子特气领域的领先技术，公司电子气体业务进一步延展至电子大宗气，正稳步成为电子气体业务综合供应商和服务商。目前，公司气体业务募投项目潍坊高纯大宗气、合肥高纯氢气项目正稳定推进，随着募投产能的加速落地，公司OPEX业务有望打开全新增长空间。盈利预测与投资建议：预计公司2023-2025年营业收入分别为38.72/53.02/69.18亿元，同比增长43%/37%/30%。归母净利润分别为3.80/5.24/6.97亿元，同比增长47%/38%/33%。当前股价对应市盈率28.3/20.5/15.4倍。我们给予公司2023年40倍估值，目标价格为54.76元，给予“买入”评级。 风险提示：宏观经济不及预期风险，行业竞争加剧风险，新业务开展不及预期的风险，原材料采购风险，地缘政治风险。

公司于 2023年 7月 4日发布关于 2021年、2021年第二期股票期权激励计划 2023年第二季度自主行权结果暨股份变动公告。公司 2021年、2021年第二期股票期权激励计划 2023年第二季度合计行权且完成登记的股票上市流通数量为 2,988,172股，本次行权后新增股份均为无限售条件流通股。 公司股权激励授予核心人才，彰显营收稳步增长决心。公司以简易程序向特定对象发行的 9,437,854股于 2023年 5月 4日上市流通。公司本次采用自主行权模式行权，可行权人数为 10人，截至2023年 6月 30日，共 10人参与行权。2023年第二季度累计行权且完成登记数量为 2,988,172股，获得募集资金 60,304,196.44元，该项募集资金将用于补充公司流动资金，新增股份均为无限售条件流通股。 发行可转债新建核心材料和气体项目产能，项目建设和发行申报有序推进中。公司长期坚持“装备、材料、服务”三位一体的业务定位，依托 CAPEX 拓展 OPEX 业务，不断提升公司综合服务能力。从行业来看，半导体、光伏、生物医药等行业在高科技领域的快速发展以及国产替代的大背景下将持续具备不错的发展空间，公司今年新签合同的趋势依然保持增长。公司 CAPEX 业务仍将是公司营收的主要部分，OPEX 业务中的气体和先进材料业务随着产能逐步落地将稳步上升，同时，随着客户固定资产投资项目逐步投入运营后，OPEX 市场将进一步提升。 我们维持盈利预期，预计公司 23~25年分别实现归母净利润 3.89（+50%）、5.44（+40%）、7.34（+35%）亿元，对应当前 EPS 分别为 1.41元、1.98元、2.67元，对应当前 PE 分别为 31、22、16倍。维持“买入”评级。 原材料供应的风险；产品技术升级和迭代的风险；下游需求不及预期的风险；产能消化不及预期的风险；限售股解禁的风险。

公司主营业务包括固定资产投资（CAPEX）业务和服务运营类（OPEX）业务，CAPEX业务主要包含电子工艺设备和生物制药设备，OPEX业务主要分为电子气体和MRO（快速响应、设备维保和系统运营）服务，下游主要覆盖泛半导体和生物医药等领域。 工艺介质设备市场境外龙头占主导地位，大陆供应商加速崛起。 据我们测算，2024年中国集成电路行业工艺介质供应系统市场空间将从2020年的19亿美元增长至26亿美元，期间复合增速为8.87%。我们认为公司未来在工艺介质设备市场保持高增长的原因：1）近年来公司合同负债持续增长，1Q23公司合同负债规模达14.25亿元，创历史新高；2）存货中合同履约成本大幅上升，22年公司平均合同履约成本为9.68亿元（同比+41.10%），公司在手订单饱满；3）下游客户扩产未受行业不景气影响；4）1Q23，大陆半导体设备商仍保持业绩相对高增长，例如北方华创和中微公司1Q23营收分别同比增长81.26%和28.86%。 下游行业发展带动电子气体需求增长，公司气体业务加速推进。 根据亿渡数据，2021年中国工业气体市场规模为1798亿元，预计2026年中国工业气体市场规模将达2842亿元，期间复合增速为9.59%。OPEX业务回款速度快、资金压力小，下游客户与CAPEX业务客户高度重叠。公司不断拓宽气体产品矩阵，MRO助力成长，预计OPEX业务23~25年增速分别为71%/46%/43%。 发行可转债扩充核心材料和生物医药设备产能，彰显公司长期发展信心。23年5月公司公告拟发行可转债项目募集资金不超过11.5亿元，进一步扩充铜陵和丽水电子特气项目的产能以及建设苏州生物医药核心材料及装备研发生产基地项目。 预测23~25年公司实现营收38.14/50.17/64.91亿元，分别同比+41.02%/+31.55%/+29.36%，对应EPS为1.41/1.98/2.67元。 考虑到公司设备零组件国产替代定位稀缺性，给予公司2023年30xPE，对应目标价57.6元/股，首次覆盖，给予“买入”评级。 原材料供应的风险；产品技术升级和迭代的风险；下游需求不及预期的风险；产能消化不及预期的风险；限售股解禁的风险。

事件：公司4月25日发布2022年年度报告及2023年一季报，2022年实现营收27.05亿元，同比增长47.26%；归母净利润2.59亿元，同比增长53.61%；扣非净利润2.14亿元，同比增长55.87%。2023年Q1实现营收4.11亿元，同比增长13.42%，环比下降54.39%；归母净利润1114.90万元，同比下降0.97%，环比下降90.82%；扣非净利润735.04万元，同比增长119.11%，环比下降91.56%。 一季度营收稳定增长，新签订单充沛保障业绩成长：2022年，公司营收、利润均再创新高，主要原因系公司市场竞争力不断增强，销售收入规模增长，同时公司运营能力持续增强。2023年Q1营收增速有所放缓，净利润小幅下降，扣非净利润同比高增主要系主营业务增长以及坏账计提减少所致。公司2022年毛利率为27.46%，同比提升1.29pct；净利率为9.66%，同比提升0.51pct。2023年Q1毛利率为31.35%，同比提升7.07pct，环比提升4.22pct；净利率为3.64%，同比提升0.35pct，环比下降9.97pct。费用方面，Q1销售、管理、研发、财务费用率分别为2.53%/15.90%/8.34%/1.35%，同比变动分别为1.23/0.72/3.87/1.38pct。公司2022年实现新签合同41.34亿元，同比增长52.5%；2023年Q1实现新签订单14.79亿元，同比增长25.9%，新签订单持续增长，有望助力公司业绩稳步提升。 OPEX业务实现快速增长，气体业务产能扩张稳步推进：公司近年发展主要得益于下游市场固定资产投资的迅猛增长，随着客户新建产能逐渐投产，滞后于资本开支(Capex)的运营开支(Opex)将逐渐上升，成为驱动公司业务持续成长的强劲动力。Opex中的气体业务实施“双轮驱动”战略：一方面为砷烷、磷烷、混合气等自研自产电子特气业务扩大产能，加快铜陵电子特气项目建设；另一方面积极布局大宗气体业务，通过定增等方式推动潍坊高纯大宗气项目、合肥高纯氢气项目的建设，潍坊项目正在土建过程中，已完成核心设备采购，预计2023年中完工；合肥项目已开始土建并完成核心设备的采购，预计2023年第三到第四季度完工。公司持续丰富公司的气体产品品类，提高气体产能和供应能力，使公司的综合服务优势得到进一步夯实提高，稳步成为电子气体业务综合供应商和服务商。 半导体设备国产替代需求旺盛，GASBOX有望快速放量：当前国内整体的半导体设备国产化率依然处于较低的水平，美国制裁有望加速国内半导体设备国产化进程。GASBOX是一种在半导体工艺设备侧的模组化气体供应系统，当前GASBOX的国际供应商在国内的市场占有率仍在90%以上，国产替代空间较大。公司GASBOX包括VCR型及SurfaceMount型，适用于8-12英寸集成电路、平板显示、光伏太阳能、光纤及微电子等行业。公司产品已经向国内头部半导体设备厂商（北方华创、拓荆、中微、晶盛等）和光伏电池片工艺设备厂商（迈为等）批量供货，新签订单快速放量，有望助力公司长期业绩增长。 维持“增持”评级：公司依托系统和装备类固定资产投资（CAPEX）业务，积极开拓服务运营类（OPEX）业务，向客户提供电子气体化学品和MRO服务。受益于半导体、光伏行业大规模扩产，公司Capex业务有望持续快速发展。此外，公司积极布局电子气体、MRO等OPEX业务，有望打开公司业绩天花板。预计公司2023-2025年归母净利润分别为3.73亿元、5.20亿元、6.73亿元，EPS分别为1.36、1.89、2.45元，PE分别为31X、22X、17X，维持“增持”评级。 风险提示：宏观经济波动风险；国产化需求不及预期；产能扩张不及预期；下游市场需求不及预期。

事件：公司发布2022 年年报及2023 年一季报，2022 年公司实现营业收入27.05亿元，YoY+47.26%；归母净利润2.59 亿元，YoY+53.61%。2023 年第一季度实现营业收入4.11 亿元，YoY+13.42%；归母净利润0.11 亿元，YoY-0.97%。 集成电路业务大幅增长，订单旺盛奠定高增基础。2022 年公司毛利率、净利率分别为27.46%、9.66%，分别同比+1.29pct、+0.51pct。公司毛利率明显提升，净利率提升幅度较小，主要系公司研发费用大幅提升等因素所致。分下游行业来看，2022 年公司来自于集成电路、光伏、生物医药领域的营业收入分别为10.76 亿元、7.90 亿元、3.77 亿元，分别同比增长131.9%、24.5%、102.3%，集成电路行业收入大幅增长。订单方面，2022 年公司实现新签合同41.34 亿元，同比增长52.5%；2023 年Q1 实现新签订单14.79 亿元，同比增长25.9%。此外，2023 年Q1 末公司合同负债14.25 亿元，较22 年末提升28.3%，侧面印证公司在手订单充足，为公司2023 年全年业绩高速增长奠定基础。 OPEX 业务快速增长，气体项目逐步释放产能。公司在保持工艺介质供应系统业务发展的基础上持续加强OPEX 业务的拓展，包括气体、湿化学品、先进材料、MRO 等业务。2022 年公司电子气体、MRO 业务分别实现营业收入2.43 亿元、2.15 亿元，分别同比+38.1%、+14.5%，公司OPEX 业务实现较快增长。公司铜陵电子特气项目、潍坊大宗气项目以及合肥高纯氢气项目都在稳步推进实施并将于2023 年下半年逐步投产，有望在2023、2024 年为公司贡献业绩弹性。 GASBOX 订单放量，国产替代市场广阔。2022 年，公司GASBOX 业务子公司鸿舸半导体实现净利润812.65 万元，同比顺利实现扭亏为盈。2022 年鸿舸半导体获得了国内头部工艺设备商的广泛认证，新签订单迅速放量。目前公司GASBOX产品适用于8-12 英寸集成电路、平板显示、光伏太阳能、光纤及微电子等行业，产品已向国内头部半导体设备（例如北方华创、拓荆、中微、晶盛等）和光伏电池片工艺设备厂商（例如迈为等）批量供货。目前GAS BOX 的国际供应商在国内的市场占有率依然在90%以上，国产替代空间广阔，公司目前以更稳定的供应、更专业的设计、更快速的响应、更专业的服务等优势位于国内供应商的首位。 盈利预测：预计2023-2025 年归母净利润3.9/5.6/7.1 亿元，维持“买入”评级。 风险提示：需求增长不及预期的风险，技术升级迭代风险，原材料采购风险，行业竞争加剧风险。

业绩高速增长，在手订单充足。目前公司主要业务分为制程关键系统与装备、核心材料和专业服务三大类，致力于服务集成电路、太阳能光伏、平板显示、半导体照明、光纤制造和生物医药等高科技产业。近年来，公司业绩高速增长，2021年公司营业收入、归母净利润分别为18.37亿元、1.68亿元，2017-2021年CAGR分别达到27.0%、53.3%。截止到2022年9月30日，公司在手订单为31.09亿元，比上年同期增长63.7%，公司在手订单充足。 工艺介质系统与下游产业共同成长。随着光伏电池片、集成电路制造等产业发展和国内供应商竞争力的加强，预计工艺介质系统市场稳定增长。公司是行业内少数能够全方位覆盖电子工艺全流程服务的综合立体业务创新企业，在本土供应商中的市场份额具有优势地位。国产替代+下游平稳发展，公司成长空间广阔。 GasBox国产替代市场广阔。目前复杂的半导体设备通用模块GasBox主要由国外超科林、Edwards等厂商所掌控，随着国内半导体设备市场的发展壮大，以及本土企业对产业链国产化需求的提升，高端半导体设备GasBox国产替代空间广阔。公司通过子公司鸿舸半导体布局GasBox市场并实现快速放量，根据公司2022年8月披露的数据，鸿舸半导体成立1年多的时间里已经得到3亿的订单，未来成长空间广阔。 战略布局OPEX业务，MRO+电子气体业务打开第二成长极。公司在保持工艺介质供应系统业务发展的基础上持续加强OPEX业务的拓展，包括气体、MRO等。 在开展CAPEX业务过程中对客户工艺的深度了解，为公司积极开拓OPEX业务的战略实施带来先天优势。①MRO：系针对客户已建成的电子工艺设备、生物制药设备提供后续配套服务，目前公司已经具备为客户提供MRO一站式服务的综合能力。②电子气体：公司是国内为数不多能稳定量产电子级砷烷、磷烷的企业之一，此外公司又延伸开展了电子大宗气业务，稳步成为电子气体业务综合供应商和服务商。 投资建议：预计正帆科技2022-2024年净利润分别为2.58亿元、3.76亿元、5.62亿元。给予公司2023年40XPE，首次覆盖给予“买入”评级。 风险提示：需求增长不及预期的风险，技术升级迭代风险，原材料采购风险，行业竞争加剧风险。

正帆科技10月30日公告，2022年前三季度营收18.04亿元，同比增长46.04%；归母净利润1.37亿元，同比增长27.67%。 三季度业绩公司增长，新增订单饱满公司业绩增长确定公司业绩增长较快。上半年受到上海疫情封控影响，增速有所放缓，Q3开始公司产品加速交付。2022年第三季度营收8.61亿元，同比增长92.44%；归母净利润8436.39万元，同比增长58.33%。2022年前三季度营收18.04亿，其中集成电路板块7.1亿，光伏4.67亿，生物医药2.3亿，平板显示1.06亿。2022年Q3单季度集成电路、光伏收入分别为3.9亿元、2.47亿，单季度营业收入均超过了上半年的营业收入。2022年三季报公司期末在手订单31.1亿，同比增长63.7%。其中，集成电路行业在手订单14.8亿元，同比+97.8%；光伏行业在手订单为7.2亿元，同比+80.4%。集成电路和光伏行业订单高速增长，行业景气度高。2022年三季报公司合同负债9.9亿元，同比增长35.1%；存货规模17.8亿元，同比增长73.1%，库存原材料7亿，增长超过191%。公司在手订单高速增长，存货合同负债同样高速增长，表明订单需求旺盛，公司积极备货以应对未来生产高峰。 公司毛利率稳中有升，研发支出增长近90%2022年三季报公司毛利率27.62%,同比增长0.9pct。2022年三季报公司净利率7.68%，同比下降1.02pct。主要原因是公司研发投入继续加大，四项费用率较去年同期小幅上涨。2022年三季报公司研发费用0.92亿，同比增长89.82%，研发费用率5.08%，同比上升1.17pct。2022年三季报公司加权ROE为7.18%，同比上升1.06pct。 扎根泛半导体行业，从主业向电子气体、半导体零部件延伸产业链即将见效公司向客户提供“关键系统、核心材料和专业服务”三位一体的一站式制程关键系统综合解决方案，主要产品包括电子工艺设备、生物制药设备、电子气体化学品和配套的MRO服务，下游客户包括了集成电路、光伏、平板显示、半导体照明、光纤制造和生物医药等六大高科技产业。公司扎根泛半导体高纯工艺系统，积极从高纯工艺系统设备向高纯电子 气体、半导体设备零部件等产业上下游拓展，并即将取得明显效益。公司构成泛半导体零部件+工艺设备+电子气体三位一体业务格局，协同效益良好。电子气体业务上公司是国内为数不多能稳定量产电子级砷烷、磷烷的企业之一。公司通过在现有自研自产和混配电子特种气体的能力以及逐步投入电子大宗气的生产供应能力的基础上，稳步成为电子气体业务综合供应商和服务商。2023年开始，电子气体业务有望显著放量，在主营业务占比快速提升。子公司鸿舸是正帆围绕半导体客户需求衍生的新业务，主要为下游客户（半导体行业主工艺设备厂商）提供GasBox等配套子系统业务。据不完全统计中国企业仅鸿舸和富创精密具备模组供应能力，产业基本被国外供应商（如超科林、富士金等）垄断。鸿舸上海临港工厂今年有望全面投产。明年开始贡献营业收入。半导体零部件国产化需求旺盛，市场空间较大，公司卡位精准，具有良好的增长潜力。 盈利预测与估值鉴于公司是国内泛半导体高纯工艺设备系统龙头企业，行业集中度低，国产替代空间大，此外公司积极向产业上下游半导体设备零部件、电子气体延伸拓展，明年开始气体和半导体零部件业务开始放量，各业务产业协同和成长性良好。我们预测公司2022年-2024年营业收入分别为26.74亿、36.96亿、48.56亿，2022年-2024年归母净利润分别为2.32亿、3.68亿、5.19亿，对应的PE分别为47.93X、30.19X、21.41X，首次覆盖，给予“增持”评级。风险提示：1：泛半导体行业需求不及预期；2：行业竞争加剧，毛利率下滑；3：电子气体、半导体零件等新业务拓展不及预期。

正帆科技10 月30 日公告，2022 年前三季度营收18.04 亿元，同比增长46.04%；归母净利润1.37 亿元，同比增长27.67%。 三季度业绩公司增长，新增订单饱满公司业绩增长确定公司业绩增长较快。上半年受到上海疫情封控影响，增速有所放缓，Q3 开始公司产品加速交付。2022 年第三季度营收8.61 亿元，同比增长92.44%；归母净利润8436.39 万元，同比增长58.33%。 2022 年前三季度营收 18.04 亿，其中集成电路板块 7.1 亿，光伏 4.67亿，生物医药 2.3 亿，平板显示 1.06 亿。2022 年Q3 单季度集成电路、光伏收入分别为3.9 亿元、2.47 亿，单季度营业收入均超过了上半年的营业收入。 2022 年三季报公司期末在手订单31.1 亿，同比增长63.7%。其中，集成电路行业在手订单14.8 亿元，同比+97.8%；光伏行业在手订单为7.2 亿元，同比+80.4%。集成电路和光伏行业订单高速增长，行业景气度高。 2022 年三季报公司合同负债9.9 亿元，同比增长35.1%；存货规模17.8 亿元，同比增长73.1%，库存原材料7 亿，增长超过191%。 公司在手订单高速增长，存货合同负债同样高速增长，表明订单需求旺盛，公司积极备货以应对未来生产高峰。 公司毛利率稳中有升，研发支出增长近90%2022 年三季报公司毛利率27.62%,同比增长0.9pct。 2022 年三季报公司净利率7.68%，同比下降1.02pct。主要原因是公司研发投入继续加大，四项费用率较去年同期小幅上涨。2022 年三季报公司研发费用0.92 亿，同比增长89.82%，研发费用率5.08%，同比上升1.17pct。 2022 年三季报公司加权ROE 为7.18%，同比上升1.06pct。 扎根泛半导体行业，从主业向电子气体、半导体零部件延伸产业链即将见效公司向客户提供“关键系统、核心材料和专业服务”三位一体的一站式制程关键系统综合解决方案，主要产品包括电子工艺设备、生物制药设备、电子气体化学品和配套的 MRO 服务，下游客户包括了集成电路、光伏、平板显示、半导体照明、光纤制造和生物医药等六大高科技产业。 公司扎根泛半导体高纯工艺系统，积极从高纯工艺系统设备向高纯电子气体、半导体设备零部件等产业上下游拓展，并即将取得明显效益。公司构成泛半导体零部件+工艺设备+电子气体三位一体业务格局，协同效益良好。 电子气体业务上公司是国内为数不多能稳定量产电子级砷烷、磷烷的企业之一。公司通过在现有自研自产和混配电子特种气体的能力以及逐步投入电子大宗气的生产供应能力的基础上，稳步成为电子气体业务综合供应商和服务商。2023 年开始，电子气体业务有望显著放量，在主营业务占比快速提升。 子公司鸿舸是正帆围绕半导体客户需求衍生的新业务，主要为下游客户（半导体行业主工艺设备厂商）提供GasBox 等配套子系统业务。据不完全统计中国企业仅鸿舸和富创精密具备模组供应能力，产业基本被国外供应商（如超科林、富士金等）垄断。鸿舸上海临港工厂今年有望全面投产。 明年开始贡献营业收入。半导体零部件国产化需求旺盛，市场空间较大，公司卡位精准，具有良好的增长潜力。 盈利预测与估值鉴于公司是国内泛半导体高纯工艺设备系统龙头企业，行业集中度低，国产替代空间大，此外公司积极向产业上下游半导体设备零部件、电子气体延伸拓展，明年开始气体和半导体零部件业务开始放量，各业务产业协同和成长性良好。我们预测公司2022 年-2024 年营业收入分别为26.74 亿、36.96亿、48.56 亿， 2022 年-2024 年归母净利润分别为2.32 亿、3.68 亿、5.19亿，对应的PE 分别为47.93X、30.19X、21.41X，首次覆盖，给予“增持”评级。 风险提示：1：泛半导体行业需求不及预期；2：行业竞争加剧，毛利率下滑；3：电子气体、半导体零件等新业务拓展不及预期。

公司披露2022 年三季报。前三季度，公司实现营业收入18.0 亿元，同比+46.0%；归母净利润1.4 亿元，同比+27.7%；扣非归母净利润1.3 亿元，同比+37.9%。其中，22Q3 实现营业收入8.6 亿元，同比+92.4%，环比+48.2%；归母净利润0.8 亿元，同比+58.3%；扣非归母净利润0.8 亿元，同比+93.0%。 事件点评Q3 产品交付和收入确认加快。受疫情影响，公司Q2 收入同比下滑5.7%，Q3 公司经营复苏、收入同比接近翻番，带动前三季度业绩增长。按照下游行业划分，前三季度，IC/光伏/生物医药收入居前，分别为7.1 亿元/4.67 亿元/2 亿元；Q3 单季，IC/光伏/生物医药分别实现收入3.9 亿元/2.47 亿元/0.37亿元，IC 和光伏业务收入单季超过上半年金额。前三季度，公司毛利率/净利率分别为27.6%/7.7%，同比分别+0.9pct/-1.0pct；期间费用率合计18.1%，同比+1.4pct，主要是研发费用率提升所致，研发投入0.9 亿元/yoy+89.8%，研发费用率5.1%/yoy+1.2pct。 公司在手订单饱满。公司披露了在手订单情况，截止三季末，公司在手订单31.1 亿元/yoy+63.7%，其中，IC(集成电路)行业在手订单14.8 亿元/yoy+97.8%，光伏行业在手订单为7.2 亿元/yoy+80.4%。从财务指标来看，截至三季末，公司合同负债9.9 亿元，同比+35.1%，较年初+37.1%；存货规模17.8 亿元，同比+73.1%，较年初+67.6%。IC、光伏等下游行业仍具备较高的景气度，看好公司业务稳步增长。 持续推进气体业务布局。公司自研的特气包括砷烷、磷烷已成功实现了国产替代，此外，公司拟定增募资1.83 亿元，拓展气体业务布局，通过合肥高纯氢气项目和潍坊高纯大宗项目扩大产品面及服务半径。合肥高纯氢气项目主要涉及高纯氢的制备产能，可配套京东方、惠科集团、三安光电等客户对电子气体的需求；潍坊高纯大宗项目主要涉及常用大宗气体，包括高纯氧气、氮气、氩气等，可应用于机械加工、钢铁冶炼等传统工业，同时在电子及半导体领域也具备较大市场需求。公司有望成为电子气体业务综合供应商和服务商。 零部件业务空间广阔。子公司鸿舸向泛半导体主工艺设备制造商提供通用模块，进口替代空间广阔。据公司，Gas Box 市场规模大概在50 亿人民币左右，且还在继续增长。自2021 年成立以来，鸿舸已经拿到3 亿订单，作为大陆Gas Box 的两家供应商之一，未来还有很大成长空间。 盈利预测、估值分析和投资建议：预计公司2022-2024 年归母净利润分别为2.6/3.7/5.2 亿元，同比分别增长51.4%/46.5%/38.7%，对应EPS 分别为0.95/1.39/1.93 元，对应于11 月3 日收盘价48.22 元，PE 分别为50.7/34.6/25.0倍。首次覆盖，给予“买入-A”的投资评级。 风险提示：下游扩产进度不及预期；市场拓展不及预期；募投项目进展不及预期

事件：2022 年10 月30 日公司发布第三季度业绩报告，2022 前三季度公司营收18.04 亿元，同比增长46.04%；归母净利润1.37 亿元，同比增长27.67%；扣非净利润1.27 亿元，同比增长37.87%。公司2022 年Q3 营收8.61 亿元，同比增长92.44%，环比增长48.19%；归母净利润0.84 亿元，同比增长58.33%，环比增长95.24%；扣非净利润0.82 亿元，同比增长93.01%，环比增长98.34%。 Q3 业绩创单季历史新高，在手订单饱满：公司2022 年Q3 营收8.61 亿元，同比增长92.44%，环比增长48.19%；归母净利润0.84 亿元，同比增长58.33%，环比增长95.24%；主要原因为：1.2022Q2 公司业务受疫情影响较大，相关订单在Q3 加快交付并确认收入2.受益于国内晶圆厂和光伏厂家持续扩产，公司工艺介质系统需求旺盛。截至2022Q3，公司存货和合同负债分别为17.80 亿元、9.89 亿元，分别同比增长73.10%、35.11%。 在手订单饱满有望支撑公司未来收入较快增长。 定增募投项目加码气体业务，扩大产品服务半径。公司定增拟募资2.4 亿元，用于1.年产1260 万立方氢气及30 万瓶罐装特种气体的合肥高纯氢气项目，建设周期初步规划为12 个月；2.年产2.13 亿立方米（氧、氮、氩）产品的潍坊高纯大宗气体项目，项目的建设周期初步规划为18 个月。公司布局合肥、山东潍坊等关键区域，有利于增加公司的业务辐射范围，与公司现有产品、服务产生协同效应，加快研发成果转化，助力关键系统国产化。 美国制裁加强半导体设备出口管控，国内半导体设备及零部件国产化进程加速：10 月7 日，美商务部出台半导体限制新相关细则，限制向中国大陆的半导体厂商，提供用于制造16 纳米或14 纳米及以下逻辑芯片，18纳米及以下的DRAM 存储芯片，以及128 层或已上的NAND 闪存芯片工具，并新增31 家中国企业进入UVL 清单。目前国内整体的半导体设备国产化率依然处于较低的水平，美国的制裁有望加速国内半导体设备国产化进程。此外，国内大陆晶圆厂持续扩产，公司工艺介质系统与国内主流晶圆厂深度绑定，未来将持续受益于晶圆厂扩产需求，推动业绩持续快速增长。 首次覆盖，给予“买入”评级：公司向客户提供“关键系统、核心材料和专业服务”三位一体的一站式制程关键系统综合解决方案，主要产品包括电子工艺设备、生物制药设备、电子气体化学品和配套的 MRO 服务，下游客户包括了集成电路、光伏、平板显示、半导体照明、光纤制造和生物医药等六大高科技产业。公司依托系统和装备类固定资产投资（CAPEX）业务，积极开拓服务运营类（OPEX）业务，向客户提供电子气体化学品和MRO [维护（Maiteace）、维修（Repair）、运营（Operatio）业务]服务。受益于半导体、光伏行业大规模扩产，公司Capex 业务有望稳步增长。此外，公司积极布局电子气体、MRO 等 OPEX 业务，有望打开公司业绩天花板。我们预计2022-2024 年公司归母净利润分别为2.28 亿元、3.64亿元、5.19 亿元，EPS 分别为0.89 元、1.42 元、2.02 元，对应PE 分别为47X、29X、21X。 风险提示：晶圆厂扩产不及预期，客户拓展不及预期，疫情影响超预期，产能扩张不及预期。

CAPEX和OPEX业务并举，业绩持续快速增长 公司是国内领先的工艺介质供应系统商，专业从事电子工艺设备、生物制药设备、电子气体和MRO服务，并拓展半导体零部件Gas Box业务，客户群体覆盖中芯国际、长江存储、合肥长鑫、华虹宏力、通威、隆基、晶澳、恒瑞医药等多领域头部客户，业绩实现了快速增长。1）收入端：受益半导体&光伏行业大规模扩产需求，2021年公司营收达到18.37亿元，2016-2021年CAGR为26%，稳健增长。2）利润端：2021年公司归母净利润为1.68亿元，2016-2021年CAGR达到52%，明显高于同期收入端增速，反映出盈利能力明显提升。2017-2021年公司扣非销售净利率分别为3.77%、5.53%、6.40%、6.71%、7.48%，真实盈利水平持续提升。 工艺介质系统：下游投资拉动行业需求，仍有较大成长空间 受益于集成电路、光伏等行业旺盛的扩产需求，工艺介质系统需求有望维持高位。若仅考虑半导体行业，我们预估2021年中国大陆工艺介质系统市场规模为144亿元，2023年有望达到206亿元。若再考虑到光伏等行业需求，我们判断2021年工艺介质系统市场规模将突破200亿元。在本土企业中，公司和至纯科技较为领先，2021年公司电子工艺设备实现收入12.83亿元，至纯科技高纯工艺系统收入10.78亿元，我们判断2021年二者在本土市占率均不足10%，行业集中度较低，成长空间依旧较大。 半导体设备零部件：Gas Box市场需求旺盛，公司有望快速放量 气柜模组（Gas Box）为干法泛半导体设备内部的模组化气体供应系统。若仅考虑半导体设备需求，我们预估2021年全球和中国大陆Gas Box市场规模分别为163和47亿元，2023年有望达到192和67亿元。若再考虑光伏、面板显示等行业需求，我们判断2021年中国大陆Gas Box市场规模将超过100亿元。Gas Box仍高度依赖进口，在全球供应链紧张、贸易摩擦的背景下，国产半导体设备商对零部件国产替代诉求愈发强烈。公司深耕气体输送系统多年，设备外输送系统与设备内部气体系统底层技术互通，具备切入Gas Box领域的先发优势。公司正在积极对接半导体&光伏设备客户，部分客户已批量采购，有望进入快速放量阶段。 OPEX：战略发展重点，材料&服务业务打开成长空间 展望未来，考虑到泛半导体行业的周期性，在未来下游扩产增速放缓背景下，与存量产线直接相关的OPEX业务的战略重要性将愈发凸显，公司正在材料、服务端积极布局。1）电子气体：分为电子特气和电子大宗气两大类，我们预计2022年我国电子气体市场规模将达308亿元。公司在电子特气领域已形成较强市场竞争力，是国内为数不多能稳定量产电子级砷烷、磷烷的企业之一。2022年公司募投项目重点布局电子大宗气，实现产品和区域覆盖度的拓展，进一步打开成长空间。2）MRO：即维护、维修、运营，主要针对已向客户交付使用的电子工艺设备、生物制药设备提供后续配套服务。公司为本土少数具备MRO一站式服务的综合能力的企业，2021年MRO业务收入占比仍仅为10.21%，后续成长空间较大。 盈利预测与投资评级：受益于半导体&光伏行业大规模扩产需求，我们预计2022-2024年公司归母净利润分别为2.21、4.00和5.73亿元，当前市值对应动态PE为36、20和14倍。基于公司较为突出的成长性，首次覆盖，给予“增持”评级。 风险提示：下游资本开支下滑、市场竞争加剧、新业务开展不及预期等。

事件：公司发布定增预案，拟以19.39 元/股的价格向特定对象发行1237.75万股，募资2.4亿元，用于①年产1260 万立方氢气及30万瓶罐装特种气体的合肥高纯氢气项目，建设周期初步规划为12个月；②潍坊高纯大宗项目，项目的建设周期初步规划为18个月；以及③补充流动资金。 点评：定增项目加码CAPEX向OPEX快速拓展，大宗及特种气体全面布局下，装备+材料+服务综合实力可望再添引擎。本次募投项目所拓展的高纯氢伴随燃料电池产业的发展，将拥有广阔的市场空间，大宗气品类也有望深度受益半导体高速成长带来的工艺设备需要。此次定增将夯实公司电子气体板块的业务布局，满足客户同时对多品类气体品种及服务的需求；布局山东潍坊等关键区域，有利于增强公司产品的辐射范围及影响力。其后伴随产能释放+品类扩充+应用领域扩展，公司业务发展持续向好。 业绩增速亮眼，2022年3 月底公司在手合同超30亿，同比增长约92%。2022Q1实现营业收入3.62亿元，同比增长110.62%，实现归母净利润0.11亿元，同比增长1216.36%。我们预计22/23年公司净利润增速维持50%左右。2022Q2，公司克服上海疫情不利影响保持基本生产，6月工厂全面复工复产，逐步恢复全部产能。 1.深耕工艺介质供应系统的研发设计，以综合立体业务模式确立市场地位 作为国内工艺介质供应系统先行者，公司部分自研高纯电子特种气体已实现国产替代，并延伸开展电子大宗气业务，深耕工艺介质系统设计开发，已形成介质供应系统微污染控制、流体系统设计与模拟仿真、生命安全保障与工艺监控、高纯材料合成与分离提纯、材料成分分析与痕量检测、关键工艺材料再生与循环六大核心技术。目前正在寻找现场制气机会，积极发展园区客户，气体业务项目有序推进。 2.全链条产品服务+技术水平=高客户粘性 公司工艺标准水平高，可以满足如集成电路等高价值市场的纯度、控制、安全要求。纯度控制方面，公司设备可以较好满足集成电路客户工艺标准，远超国家标准。与优质客户深度绑定，定增项目加码CAPEX向OPEX快速拓展。公司在泛半导体、光纤通信、医药制造等领域积累了强大的客户资源，客户包括中芯国际、长江存储、京东方、三安光电、亨通光电、恒瑞医药、SK 海力士、德州仪器等国内外优质客户。客户系统和装备投入运营后，开拓服务运营及特种气体业务市场的潜力较大，本次定增项目涉及的高纯氢气是泛半导体工艺中的关键原材料，可配套京东方、惠科集团、三安光电等长期合作客户对电子气体的需求。公司目前已具备高纯氮气、高纯氢气等泛半导体行业大宗气供应能力及砷烷、磷烷特种气体的国产替代能力，其预计未来的OPEX市场会或超过CAPEX 市场。 3.下游应用市场多点开花，主要业务领域均有较大增长空间。 集成电路军备式扩产保障核心板块增长动能，光伏电池迎扩产高潮，生物制药板块加速上扬。公司一季度在手订单同比增加约92%，以集成电路、光伏和生物医药行业为主，一季度集成电路和光伏的营收贡献较高。公司电子工艺设备及气体业务有望受益光伏扩产，根据索比光伏网不完全统计，2022年第一季度光伏行业硅料、硅片、电池片和组件环节的拟扩产规模达62万吨、72.5GW、66.8GW和68.5GW（不含远期规划）。 生物制药板块或加码主工艺设备，预期有助开启稳定的第二增长曲线。公司的生物制药设备是为医药制造产业提供符合中国及欧美各国药典及GMP 标准的洁净流体工艺系统，从单元装备到系统集成服务，助力抗体蛋白等生物药、疫苗、细胞与基因之治疗、体外诊断技术研发及产业化。看好公司强大客户资源+二十年行业深耕+生物医药为国家级战略新兴产业发展的历史机遇，2022年3 月底公司在手合同超过30 亿，生物医药占比约11%，未来公司或向主工艺设备方向拓展业务，公司预期将保持良好增速，开启第二增长曲线。 4.高壁垒GAS BOX赛道业务增速亮眼，国产替代催化推动第二增长曲线快速上扬。公司围绕客户的需求衍生半导体工艺设备配套供应系统，主要产品为GAS BOX，GAS BOX是一种在半导体设备侧的模组化气体供应系统，在为设备制程精密供气的同时还需要防止毒气、可燃气的泄漏，具体包含气动阀、阻绝阀、逆止阀、流量调节阀、垫片、镀银螺帽/螺丝等组件，因其有较高的安全气密性、耐蚀性、小型化和精密性要求，故具有较高的技术门槛和行业壁垒。公司的GAS BOX产品目前已较多运用于光伏行业，并正在进行IC行业设备认证，布局子公司鸿舸半导体专注于关键模块业务与配套装备业务能力提升，有力促进关键系统国产化率。 5.关注人才队伍建设，加大研发投入提升核心竞争力 公司在2021年内实施了两次股票期权激励计划，3月向55名激励对象授予1828万份股票期权，21年12月向10名激励对象授予922万份股票期权，覆盖了公司大部分中高层管理人员、技术和业务骨干。2021年研发投入同比增长49.02%，营收占比4.26%，提升核心竞争力。 投资建议：公司客户订单需求强劲，成本营运管控有效，预计公司2022/2023/2024年净利润2.67/3.98/5.48亿元，选取主营半导体材料、关键部件的江丰电子、华亚智能、新莱应材及至纯科技为参照，给予公司2023年38倍PE，对应目标价格为59元/股。维持公司“买入”评级。 风险提示：下游产品销量不及预期、产能建设不及预期、原材料价格波动、近期股价波动较大、定增事项能否获得上交所审核通过或证监会同意注册，以及最终取得审核通过或同意注册的时间，均存在不确定性

1.工艺介质系统先行者，深耕工艺介质供应系统的研发设计，以综合立体业务模式确立市场地位 作为国内工艺介质供应系统先行者，深耕工艺介质系统设计开发。正帆科技于工艺介质供应系统中深耕十数载，与国内工艺介质供应系统行业共同发展，并参与制定了一系列国家工艺标准和行业工艺标准。 多年深耕自主研发，形成六大核心技术。公司经过长期的研发与投入形成了六大核心技术，分别为介质供应系统微污染控制、流体系统设计与模拟仿真、生命安全保障与工艺监控、高纯材料合成与分离提纯、材料成分分析与痕量检测、关键工艺材料再生与循环。 2.全链条产品服务+技术水平=高客户粘性 以高客户粘性占领高壁垒市场板块，做高价值市场的“守门员”。在高价值、高壁垒的市场中，正帆科技独具竞争优势，通过高客户粘性实现对高价值市场的占领。原因有三：一是历史悠久，具有良好客户口碑；二是形成了全链条的解决方案；三是技术实力满足高价值市场的工艺标准要求。 打造立体综合业务模式，CAPEX 业务为基础，衍生OPEX 业务。围绕下游企业核心工艺流程，公司提供高标准的工艺介质及工艺环境解决方案。同时公司以CAPEX业务为基础，打造设备、材料、服务三位一体的立体综合业务模式，覆盖了客户在工艺介质供应方面的需求点。 公司工艺标准水平高，可以满足如集成电路等高价值市场的纯度、控制、安全要求。例如在纯度控制方面，公司设备可以较好地满足集成电路客户的工艺标准，远超过国家标准。 公司与优质客户深度绑定，携手并进。公司在泛半导体、光纤通信、医药制造等领域积累了强大的客户资源，客户包括中芯国际、长江存储、京东方、三安光电、亨通光电、恒瑞医药、SK 海力士、德州仪器等国内外优质客户。 3.下游应用市场多点开花，集成电路军备式扩产有助开启第二轮增长曲线 终端应用市场需求旺盛。近年来，公司业务的主要应用领域集成电路、光伏和医药制造行业均有较稳健增长，甚至未来有较大的增长空间。 大陆半导体制造军备式扩产利好工艺介质供应系统业务。在缺芯和中美贸易战的综合影响下，大陆半导体制造进入军备式扩产，将带动正帆科技的业务订单高速起量。 投资建议：预计公司2021/2022/2023年净利分别达到1.80/2.56/3.61亿元，对应EPS0.70/1.00/1.41元/股。可比公司方面，选取至纯科技、金宏气体作为可比公司，2022年对应的平均PE倍数为32.08倍；对应2022年净利2.56亿元，EPS 1.00元/股，2022年目标价格31.97元/股，首次覆盖给予买入评级。 风险提示：新冠疫情加重风险，市场竞争激烈风险，原材料采购风险，应收账款无法及时收回的风险