刻蚀设备收入增长 84%，公司新签订单增速均超 70%[Table_Summar y] 公司发布 2021半年报，实现营业收入 13.39亿元，同比增长 36.82%，归属于上市公司股东净利润 3.97亿元，同比增长 233.17%，归属于上市公司股东扣非净利润为 0.62亿元，同比增长 53.35%。EPS 为 0.74元/股，同比增长 236.36%。毛利率为 42.34%，比上年同期上升 8.42个百分点。 支撑评级的要点刻蚀设备销售带动营收高速增长。2021上半年，公司实现营业收入 13.39亿元，同比增长 36.82%，其中，刻蚀设备收入为 8.58亿元，同比增长83.79%；而 MOCVD 设备收入为 2.19亿元，同比下滑 10.08%。同时，根据Q1的业务数据推算，公司 Q2营业收入为 7.36亿元，环比增长 22.06%，同比增长 30.08%，公司的营收高速增长主要得益于刻蚀设备的销售收入增长，Q2刻蚀设备收入为 5.1亿元，环比增长 46.55%，同比增长 100.56%； 而 Q2的 MOCVD 收入为 0.86亿元，环比下滑 35.34%，同比下滑 48.93%。 毛利率改善致盈利能力大幅提升。2021上半年公司实现归母净利润 3.97亿元，同比增长 233.17%，其中 Q2归母净利润为 2.59亿元，环比增长87.81%，同比增长 178.82%。2021上半年公司毛利率为 42.34%，同比扩大8.42个百分点，分产品来看，刻蚀设备毛利率达 44.29%，MOCVD 设备毛利率 30.77%同比有明显上升。此外，2021上半年公司受到政府补助较上年同期增加约 1.44亿元，及公允价值变动收益 1.71亿元。 上半年新签订单金额同比增长超 70%。公司上半年新签订单金额达 18.89亿元，同比增长 70%以上，相当于 2020年全年营收的 83.11%，且有部分Mini-LED MOCVD 设备规模订单已进入最后签署阶段。鉴于公司的销售模式为以销定产，公司 2021上半年存货金额比 2020年末存货增长 34.63%，新增订单的转化收入将有力推动公司全年业绩保持高增长。 刻蚀工艺持续推进，研发转化进度加快。公司已开发出 5纳米以下刻蚀设备用于若干关键步骤的加工，并已获得行业领先客户的批量订单。2021年 6月公司 ICP 设备 Primo Nanova? 第 100台反应腔顺利交付，且双反应台 ICP 刻蚀设备 Primo Twin-Star? 也已经在客户端完成认证并收到国内领先客户的订单。公司正开发新一代刻蚀设备和包括更先进大马士革在内的刻蚀工艺，涵盖 5纳米以下更多刻蚀需求和更多不同关键应用的设备。 2021上半年公司的资本化研发投入比上期增长 90.73%，研发转化进度加快，公司产品的竞争优势将有力推动公司继续稳步增长。 估值鉴于公司新签订单额显著增长，mini-LED MOCVD 设备即将获得批量订单，盈利能力显著提升。预测 2021-23年公司净利润分别为 6.30/8.43/10.79亿元，维持买入评级。 评级面临的主要风险零部件供应紧缺致设备订单交付周期延长；权益工具投资的公允价值变动风险等。 投资摘

公司公布 2021年中报：2021H1共实现营收 52.3亿元，同比增长 51.2%，归母净利润 14.1亿元，同比增长 42.9%，扣非归母净利润 13.8亿元，同比增长 48.9%，经营净现金流 11.9亿元，同比增长 25.4%。 支撑评级的要点n 核心产品市场竞争力持续增强，泵阀业务上半年表现亮眼。受国内外工程机械需求持续火爆及公司产品市场份额提升持续的驱动，公司上半年业绩持续高增长，21H1实现营收 52.3亿元，同比增长 51.2%，归母净利润 14.1亿元，同比增长 42.9%，其中 Q2单季营收 23.7亿元，同比增长 13.6%，归母净利润 6.3亿元，同比小幅下滑 2.1%，据中国工程机械工业协会统计，21Q2挖掘机行业共实现销量 9.7万台，同比下滑 4.8%，在行业需求小幅下滑时公司营收仍保持两位数以上的增长，体现较强的抗周期波动能力。分产品看，上半年挖机油缸共销售 47.4万只，同比增长 44%，增速高于上半年挖掘机行业销量增速，市场份额进一步提升，实现营收 19.8亿元，同比增长 38%；非标油缸销量 7.9万只，同比增长 23%，实现营收 8.5亿元，同比增长 46%，公司积极拓展国内外新应用、新客户，使得非标油缸板块快速成长；液压泵阀产品竞争力不断提高，上半年市场表现亮眼，所有产线超负荷运转，中小挖和大挖市场份额进一步提升，60T+挖掘机用泵阀、8-70T 挖机电控系列泵阀在各主机厂实现小批量供货，非挖板块的高空作业车、水泥泵车和起重机领域国内业务规模也持续扩大，国外业务已通过装机验证，适用在海工、盾构、试验台等领域 V30G 系列工业泵及多领域应用的比例电磁阀也进行小批量试装，报告期共实现收入 21.2亿元，同比增长 78%； 铸件销量 4.3万吨，同比增长 66%，铸造二期年产能利用率快速提升，目前已达 100%。 n 加强新产品研发力度，原材料价格大幅上涨背景下持续保持高盈利能力。21年上半年在原材料价格大幅上行及工程机械终端产品价格下行的双重压力下，公司仍保持高盈利能力，体现公司较强的行业议价能力及成本管控能力，21H1年公司整体毛利率 41.0%，与去年同期大致持平，Q2单季毛利率与 Q1也基本持平。费用率方面，公司持续强化内部管理，信息化 及智能化稳步推进，产品单位成本、人均效率产出均有明显的改善，21H1期间费用率为 8.5%，同比提升 2.0pct，其中销售/管理/研发/财务费用率分别为 0.9%/2.2%/4.7%/0.8%，分别同比下降 0.7pct、下降 0.7pct、提升 1.5pct、提升 1.8pct，销售及管理费用率进一步下行，上半年公司加大了对新下游领域液压产品的研发力度，研发费用率同比增长明显，未来公司有望持续加高研发投入，而财务费用率大增主要系美元汇率下降造成汇兑损失增加所致。受期间费用率的短暂上行，公司上半年净利率小幅下滑，21H1净利率 27.0%，同比下降 1.6pct，21Q2净利率 26.5%，环比下降 1.0pct。另外，公司注重经营质量和风险管控，加强对销售货款的回笼，报告期内经营净现金流 11.9亿元，同比增长 25.4%，现金流水平再创历史最佳水平。 n 工程机械需求弱周期波动背景下公司可持续成长性突出，多元化产品布局及泵阀持续放量打开中长期成长空间。十四五期间宏观投资环境的趋稳及政府加强对经济的跨周期调节，工程机械行业需求预计呈现弱周期波动，在此背景下下公司未来可持续成长性突出：短中期主要依靠非标油缸、挖掘机泵阀、非标泵阀市场份额的大幅提升，长期依靠全球化的推进及工业泵阀的放量。短中期来看，多元化产品布局及市场份额提升有助于减少公司业绩对国内工程机械行业的周期波动，盾构机、海工海事、新能源等非标油缸上半年开始快速增长，目前市场份额还不高，未来还有一定的提升空间，近年来挖掘机泵阀业务持续放量，市场份额提升明显，未来 2-3年有望继续提升至挖掘机油缸相当的份额水平，非标泵阀下游应用领域广泛，市场空间与挖掘机泵阀相当，目前公司市场份额较低，上半年开始明显放量，未来成长空间广阔；长期来看，工业泵阀市场空间巨大，市场空间远大于工程机械领域，据工业液压全球龙头力士乐数据显示，19、20年其营收分别约 62、52亿欧，因此向工业液压领域拓展将大幅提升公司的成长空间，未来公司将通过持续的研发投入，在各工业细分领域逐渐实现国产替代，并通过“走出去”战略，将公司打造成全球领先的高端液压龙头企业。 估值n 预计公司 2021-2023年归母净利润分别至 29.3/34.0/38.2亿元，对应 EPS 为 2.24/2.61/2.93元/股，对应 PE 分别为 42.5/36.6/32.6倍，维持买入评级。 评级面临的主要风险n 行业竞争加剧，基建和地产投资不及预期，非标油缸拓展不及预期，液压泵阀产品拓展不及预期。

公司发布 2021年半年报，上半年实现营业收入 32.68亿元，同比增长 75.34%，实现归母净利润 5.01亿元，同比增长 119.70%。 支撑评级的要点锂电设备业务拉动收入快速增长，泰坦新动力经营改善。受益于新能源车产业链的高景气，2021年上半年，公司锂电池设备实现 23.19亿元，同比增长 94.74%，占总营收的 70.96%，为公司收入增长的主要动力。公司子公司泰坦动力扭亏为盈，经营有所改善，实现净利润 0.03亿元。上半年毛利率 38.15%，同比下降 2.1pct，主要是由于泰坦的毛利率还未恢复至最好水平，未来随着泰坦经营的进一步改善，毛利率有望提升；净利率 15.33%，同比上升 3.09pct。 上半年订单额创历年新高，深度绑定宁德时代享受扩产红利。报告期内，公司新签订单 92.35亿元（不含税），已接近 2020年的 110.6亿元（不含税），创历年新高，为公司未来业绩的快速增长提供了有力支撑。另外，截止 6月 30日，公司合同负债额达到 28.18亿元，同样达历史最高水平。根据公司此前公告，2021年以来共获得宁德时代 45.47亿元大额订单，占上半年总新签订单的 49.24%。公司深度绑定宁德时代优先享受 50%设备份额的协同效应，将助力公司在锂电池前中后段设备领域持续发力。 新能源汽车渗透率不断提升，公司将充分收益龙头电池厂商产能扩张。目前全球新能源汽车的渗透率快速提升，国内市场根据中汽协数据，2021年 7月份新能源车渗透率达到 14.5%，创历史新高；海外市场方面，拜登签署一项行政令将 2030年新车销量中的零排放汽车比例设定为 50%。在新能源车市场持续景气的背景下，锂电池厂商纷纷加速产能扩张以应对市场的快速发展，根据 CATL、LG 等产能规划，到 2025年全球动力电池产能将进入 TWh 时代。先导智能作为全球范围内领先的锂电池设备供应商，将充分收益与电池厂商的扩产。 非锂电业务多点开花，平台型布局逐步见效。目前公司除涵盖锂电外，还包括光伏、3C、智能物流等领域，各类业务均快速发展。报告期内，光伏智能设备实现收入 3.37亿元，同比增长 44.42%，占总营收的 10.33%，为公司收入增长的重要推力。长远看，平台化布局将扩大公司成长空间，各类业务的壮大也将平滑收入波动的周期。 估值考虑到公司订单额创新高，我们上调公司盈利预测，预计公司 2021-2023年实现营业收入 96.7/143.9/194.6亿元，净利润 14.1/22.5/33.4亿元，维持买入评级。 评级面临的主要风险客户扩产不及预期；产品和技术更新迭代受阻；新业务进展不急预期。

公司发布2021年中报，业绩符合预期；公司丝网印刷设备保持龙头地位，持续大力投入研发，HJT 进展积极并定增募资投入产能建设；维持买入评级。 支撑评级的要点2021H1盈利同比增长33%符合预期：公司发布2021年中报，上半年实现收入12.39亿元，同比增长32.07%，实现归属于上市公司股东的净利润2.52亿元，同比增长33.17%，扣非后盈利同比增长64.03%。公司业绩符合预告区间，符合我们和市场的预期。 盈利能力显著提升，经营现金流大幅转好：上半年公司在丝网印刷设备领域市场份额稳居前列，成套设备收入10.17亿元，同比增长53.97%，毛利率同比提升5.78个百分点至37.65%。受益于承兑托收增加等因素，上半年公司经营现金流净流入3.04亿元，同比去年同期净流出5,261万元大幅转好，其中2021Q2单季净流入1.93亿元，环比增长75.20%。 研发投入持续增长，HJT 设备进展积极：上半年公司研发投入1.31亿元，同比增长121.79%，占营业收入比例达到10.54%。公司积极推进HJT 高效电池产业化，在原有丝网印刷设备的基础上完善改进了HJT 丝网印刷设备，通过自主研发陆续突破核心工艺环节非晶硅薄膜沉积、TCO 膜沉积所需的PECVD 设备和PVD 设备，并通过参股子公司吸收引进日本YAC的制绒清洗技术，从而实现了HJT 设备整线供应能力。上半年公司取得的HJT 设备整线订单同比有所上升。 定增募资加码HJT 设备产能：公司同时公告，拟向特定对象发行A 股股票不超过3,093万股，募集资金不超过28.12亿元，投向异质结太阳能电池片设备产业化项目（23.12亿元）并补充流动资金，项目达产后可实现年产异质结PECVD、PVD 及自动化设备各40套。 估值在当前股本下，我们预计公司2021-2023年实现每股收益5.54/7.36/10.39元（仅股本受转增影响，预测净利润与摊薄每股收益不变），对应市盈率99.8/75.0/53.2倍；维持买入评级。 评级面临的主要风险新产品研发不达预期；新冠疫情影响超预期；光伏政策风险；下游扩产需求低于预期；设备价格竞争超预期；新技术路线替代进度不达预期。

公司公布 2021年半年度业绩预告，上半年归属于上市公司股东的净利润预计盈利 55,269.98万元- 63,560.48万元，比上年同期增长 100% - 130%。 预计非经常性损益对净利润的影响金额约为 5,400万元- 5,600万元。 报告要点预计二季度盈利增长中值为 120%，公司盈利水平加速向好。 综合公司2020年和 2021年的一季度业绩和半年度业绩， 2020年二季度和 2021年同期的归母净利润分别为 1.42亿元和 2.71-3.54亿元， 同比增长 90.8%- 149.2%，增长中值约 120.0%，比一季度的同比增速 109.7%扩大了 10.3个百分点，相较公司 2020年全年度归属母公司净利润同比增速34.64%，盈利增速显著加快。 在手订单饱满叠加行业高景气和政策高度扶持，全年业绩高增长有保障。 据公司 2020年年度报告和 2021年一季度报告披露，公司未完成晶体生长设备及智能化加工设备合同额分别为 58.65亿元/104.50亿元，一季度新签订单额合计超 50亿元，超过 2019年全年新接订单总和，相当于 2020年新接订单的 80%以上，订单规模扩大和毛利率的显著提升以及政府补助的增加推动一季度业绩高增长。同时，据公司 7月 7日发布投资者关系活动记录表表明，已提前做好产能评估，适时适量扩充产能，布局好配套供应链，目前公司的产能能够满足客户订单需求。公司的订单转收入能力有保障，同时在手订单饱满叠加国内光伏行业持续高景气，有望推动全年业绩进一步高增长。 积极投入大尺寸硅片领域，提升公司核心竞争力。 据公司 6月 21日发布的向参股公司增资暨关联交易的公告，拟向参股公司中环领先增资1.3亿元以推动实施集成电路用大直径硅片项目，深化半导体战略投资布局，为集成电路用大直径硅片项目顺利实施提供资金保障，推动项目建设。另外，据公司 7月 7日发布投资者关系活动记录表表明， 12英寸单晶硅生长炉及部分加工设备已实现批量销售，其他加工设备也陆续客户验证中。公司积极深入大尺寸硅片领域，核心竞争力的持续提升有助公司在市场竞争中扩大市场份额。 公司研发成果产业化效果显著， 在半导体材料用关键设备领域实现国产化突破。 2020年公司研发支出 2.27亿元为历史新高，同比增长22.11%。在研项目包括：可为 12英寸工艺提供研发基础的 8英寸硬轴直拉硅单晶炉；已通过客户技术验证的 8、 12英寸两款半导体硅片边缘抛光机；半导体级 12寸硅片双面抛光机；用于硅片上沉积 poly 的 8寸炉管设备；在中国大陆及中国台湾市场份额增长较快的半导体石英坩埚领域也成功研发出 36英寸工艺，且 32英寸产品已向客户批量销售。公司通过承担国家科技重大专项，实现集成电路 8-12英寸半导体长晶炉的量产突破，并成功开发了 6-8英寸用晶体滚圆机、截断机、切片机、双面研磨机、边缘抛光机、单面抛光机、外延生长、 LPVCD等设备并形成销售；同时 12英寸单晶硅生长炉、滚磨设备、截断设备、研磨设备、边缘抛光设备已通过客户验证，并取得良好反响。积极布局“长晶、切片、抛光、外延”四大核心环节设备的研发，在半导体材料用关键设备领域实现国产化突破。

公司发布 2020年度向特定对象发行 A 股股票发行情况报告书，截至 2021年 6月 22日，已收到认购对象缴付的认购资金，扣除发行费用后实际募集资金净额为人民币 8,118,162,441.14元。本次发行 A 股股票总数量为80,229,335股，发行价格为 102.29元/股，于 2021年 6月 30日在中国证券登记结算有限责任公司上海分公司办理完成登记托管及限售手续。 支撑评级的要点20家中外知名机构参与 82亿元定增，大基金二期约占本次募集资金的30%。本次定增项目的发行对象共 20家机构，限售期为 6个月。前十大获配发行对象中，内资机构包括：国家集成电路产业投资基金二期获配24,440,316股(占 30.5%)、工银瑞信基金获配 9,082,020股(占 11.3%)、高毅资产获配 3,799,586股(占 4.7%)、河南资管及其他券商、公募基金；QFII机构包括：新加坡政府投资公司 GIC 获配 7,615,602股(占 9.5%)、法国巴黎银行获配 2,639,553股(占 3.3%)、瑞银集团 UBS AG 获配 2,326,717股(占2.9%)。本次定增发行后，国家大基金二期成为公司的第五大股东，共持股 3.97%。 定增旨在扩充现有集成电路设备及泛半导体设备产能、提高科技创新水平。本次定增募集资金将用于公司的临港产业化基地(实施 5年)、临港总部和研发中心(实施 5年)等项目建设及科技储备资金。其中，临港产业化基地的规划产能为新增等离子体刻蚀设备 630腔/年、MOCVD 设备 120腔/年、热化学 CVD 设备 220腔/年、环境保护设备 180腔/年；临港总部和研发中心将搭建技术研发、样品制造与模拟测试的全周期研发平台，开展高端集成电路及泛半导体领域的研发工作。此外，科技储备资金将用于红黄光 MOCVD、大面积平板显示、PECVD 等化学薄膜、光学检测设备等领域的协作开发项目及横向扩展集成电路关键设备、外延泛半导体设备等对外投资并购项目。定增项目的落地，将帮助产能积极应对集成电路产业景气持续上升带来的增长需求，及产品特性适应万物互联等行业发展趋势带来的新机遇。 芯片供需紧缺带来半导体设备高景气，公司 ICP 刻蚀销售放量。据公司公告，截止 2021年 6月公司的单反应台 ICP 刻蚀 Primo nanova 交付累计达100台，根据公司 2020年度业绩说明会透露，可推导 2016-2021H1的 ICP刻蚀系列逐年新增腔数为 2、6、 13、6、28及不低于 45台，2021年上半年的新增腔数比 2020年全年的至少增长 61%，ICP 刻蚀产品的年度交付量正大幅增长，此次定增项目的落地将能更好的配合产能供应，助力业绩增长。 盈利预测和投资建议维持 2021-23年公司净利润分别为 4.6/6.6/8.4亿元的预测，维持买入评级。 评级面临的主要风险行业景气高导致设备零部件采购周期拉长；研发强度大导致盈利波动； 在建项目投产计划慢于预期。

事项：公司公告 2021年上半年营业收入预计为 326,549.52万元–391,859.42万元，同比增长 50% - 80%；实现归母净利润 27,611.63万元–33,133.95万元，同比增长 50%-80%；基本每股收益 0.5603元/股-0.6723元/股。 支撑评级的要点 二季度营收中值同比增长 75%略好于预期。综合公司 2020年和 2021年的一季度业绩和半年业绩， 2021年二季度的营业收入为 18.42-24.96亿元，同比增长 48.7% - 101.5%，单季度收入中值同比增长 75.1%，相比一季度增速 51.7%，明显加快了 23个百分点，预计主要原因是本土晶圆厂建产及去年疫情导致的低基数。 年初以来充裕的新接订单保障年内业绩增长。据中国国际招标网数据显示，部分主流产线公布的中标数据中，北方华创自年初至今新接的 51台订单已接近 2020年全年新接 81台订单的 63%，且订单以热处理设备为主、刻蚀和 PVD 设备居多。上半年业绩增长与订单增长态势相符。目前芯片供需持续紧张，行业处于积极扩充产能阶段，近期也有新的产线规划陆续公布，对于上游设备的需求非常旺盛，今年全年的订单有望保持高增长态势。 拟定增募投扩充主营产品及增强研发力度。据公司 6月 3日发布拟定增公告，将扩充电子工艺装备和电子元器件的产能，形成 22万只高精密石英晶体振荡器、2000万只特种电阻、500台集成电路设备、500台新兴半导体设备、300台 LED 设备、700台光伏设备的生产能力；并且将保障高端半导体设备研发所需资金，针对先进逻辑、先进存储、先进封装、新兴半导体、Mii/Micro LED、先进光伏等核心工艺装备的研发。定增项目的落实将有力扩大公司产品的平台化和市占率，保持领先竞争力。 盈利预测和投资建议 结合公司的一季报和半年报，考虑到北方华创电子工艺设备毛利率变化，以及募资扩产带来的规模效应，预计公司 2021-2023年净利润分别为7.26/10.88/14.82亿元，维持买入评级。 评级面临的主要风险 研发强度大导致盈利波动；在建项目投产计划慢于预期。

公司公告2021年上半年营业收入预计超过3.2亿元，基本达到去年全年水平，实现净利润为3100-4000万元，同比增加399%-543%，扣非净利润为2400-3300万元。 支撑评级的要点n 上半年业绩高速增长符合当前行业高景气。当前芯片供需持续紧张，主流晶圆厂负责人更公开表态紧缺态势会延续至2022年底。上游制造端积极生产和扩充产能，对于设备端的需求逐渐增加。公司在互动平台表示订单饱满且生产厂区满负荷运转。在行业高景气的带动下，公司业绩有望继续保持积极态势，上半年业绩已经达到2020年全年水平，2021年业绩有望实现高增长。 前道设备和后道设备已获大厂认可，定增项目有望加快国产替代进程。 公司的前道晶圆加工、后道先进封装、化合物、MEMS、LED 芯片制造等领域的收入均有较大增长，且前道涂胶显影设备已获得上海华力、中芯绍兴、厦门士兰集科、上海积塔等多个前道大客户订单，打破TEL 对涂胶显影机的垄断；后道产品也已应用于国内多家封装大厂Fan-out 产线，成为客户的主力量产设备。2021年6月12日公司发布拟定增公告，募集资金将投入上海临港研发及产业化项目、高端晶圆处理设备产业化项目(二期)及补充流动资金，将推动前道加工设备在先进制程的突破，扩充前道晶圆加工及后道先进封装环节涂胶显影设备产能，有望加快国产替代进程和业务规模增长。 盈利预测和投资建议 结合公司的一季报和半年报，考虑到公司一季度的在手订单和股权激励情况，叠加政府补助和积极业绩增长，预计公司2021-2023年净利润分别为0.70/1.06/1.38亿元，维持买入评级。 评级面临的主要风险 市场竞争加剧的风险；募投计划推迟的风险；国际边缘政治波动风险。

支撑评级的要点 拟定增募资 85亿元，有望继续扩充电子工艺装备和电子元器件的产能。 据 4月 22日公告的定增预案称，本次非公开发行股票募集资金扣除发行费用后，用途涵盖半导体装备产业化基地扩产项目四期（募集资金拟投入 34.8亿元， 相当于该项目总投资额的 91.3%）、高精密电子元器件产业化基地扩产项目三期（募集资金拟投入 7.3亿元， 占该项目总投资额的 91.8%）的建设。两个产业化基地扩产项目达产后，将形成 22万只高精密石英晶体振荡器和 2000万只特种电阻的量产能力，以及年产集成电路设备 500台、新兴半导体设备 500台、 LED 设备 300台、光伏设备 700台的生产能力，快速扩大公司的产品市占率和供应能力，提前应对未来可能出现的产业发展高景气带来的产能瓶颈。 保障高端半导体设备研发所需资金，公司竞争力有望进一步提升。 此次募资项目中有 24.1亿元用于高端半导体装备研发项目， 占该项目总投资额的 77.0%，主要针对先进逻辑核心工艺设备、先进存储核心工艺 设备、先进封装核心工艺设备、新兴半导体核心工艺设备、 Mini/Micro LED 核心工艺设备、先进光伏核心工艺设备等的研发，有利于公司持续紧密地跟随国内、 国际客户的芯片生产工艺技术迭代，保持公司的领先竞争力。 2021年上半年订单增长显著。 据中国国际招标网公布的部分主流产线中标数据统计显示，公司 2021年初至今新接订单 51台，接近 2020年全年新接订单 81台的 63%，且中标订单中以热处理设备为主、刻蚀设备和PVD 设备居多，随着行业高景气的延续，下半年的订单增长有望延续上半年态势， 且半导体设备产品多元化的平台优势明显。 估值 考虑到电子元器件的历史平均毛利率和行业高景气度的持续时间略长于历史周期， 叠加募资扩产可能带来的规模效应， 2021-2023年利润预期为 7.26/10.88/14.82亿元，维持买入评级。 评级面临的主要风险 定增落地的不确定性； 研发强度大致盈利波动；在建项目投产计划慢于预期；国际边缘政治摩擦的不确定性；行业景气周期略高于历史水平。

6月15日公司官方微信公众号称首台8英寸甚高频去耦合反应离子CCP刻蚀设备PrimoAD-RIE200顺利付运客户生产线。6月月17日公司通过官方能微信公众号推出专为高性能Mii-LED的量产设计的PrismoUiMaxMOCVD设备，该设备帮助LED芯片制造商提高产能的同时能够有效地降低生产成本。 支撑评级的要点8英寸CCP刻蚀设备提供更高性价比的解决方案，进一步巩固公司的刻蚀地位。基于公司成熟的12英寸CCP刻蚀工艺和特性，8英寸的PrimoAD-RIE200进一步提升创新技术和生产效率，可灵活配置多达三个双反应台的反应腔（即六个反应台），并提供可选升级至12英寸刻蚀设备系统的解决方案，灵活应对产线未来扩张的需求。公司的刻蚀设备产品矩阵逐步差异化，可满足不同客户的灵活需求，刻蚀地位有望继续提升。 高性能Mii-LED量产用MOCVD设备已获国内领先客户的订单，积极拥抱抱Mii-LED新浪潮。专为高产量设计的PrismoUiMaxMOCVD设备搭配了众多创新，如多区温度补偿加热系统等，可满足Mii-LED生产所需的优异波长均匀性、重复性、产出稳定性等关键因素，是目前国内外极具创新性的MOCVD设备。在同一系统中可配备多达4个反应腔，通过最优化排布石墨盘晶片，其加工容量可延伸至164片4英寸或72片6英寸晶片的生长，且可通过超大直径石墨托盘降低生产成本。Mii-LED具有高亮度、精确动态响应、高对比度等优点，可运用于众多显示终端，未来成长空间可期，且备受市场关注。叠加Prismo系列已进入全球大多数领先氮化镓基蓝绿光LED制造商，创新产品的推出将有力带动公司在MOCVD领域内抢夺市场份额，继续提升竞争力。据公司官方微信公众号称，该产品已获得国内领先客户的订单，并正与更多客户沟通合作进行设备评估。 积极创新，研发成果商业化可期。公司在6月份共推出了两款创新产品且均持有客户订单，且ICP刻蚀年度交付量大幅增长，公司的研发成果正逐步得到市场认可并进入初步收获期。叠加日益成型的产品平台化，公司的成长属性将更丰富和扎实。 盈利预测和投资建议维持2021-23年公司净利润分别为4.6/6.6/8.4亿元的预测，维持买入评级。 评级面临的主要风险行业景气度高导致设备零部件采购周期拉长；权益工具投资的公允价值变动风险；地缘政治因素的不确定性风险等

2021年6月9日，公司发布最新公告称美国国防部将 AdvancedMicro-Fabrication Equipment Inc. (AMEC) 从中国涉军企业名单中删除，美国人士将不再受限对 AMEC 所发行的有价证券及其相关的衍生品进行交易。此外，当日公司官方微信公众号称ICP 刻蚀设备Primo nanova?第100台反应腔顺利交付。 支撑评级的要点 美国国防部已将AMEC 从中国涉军企业名单中删除。至此，美国人士将不再受限对 AMEC 所发行的有价证券及其相关的衍生品进行交易，也再次验证公司经营的合法合规性以及对各经营地的包括出口管制在内相关法律法规的严格遵守。我们认为公司的外部经营环境得到改善，公司的发展有望更加具备国际竞争力和潜力。 ICP 刻蚀单年度交付量正大幅增长。据中微公司2020年度业绩说明会透露，2016-2020年末ICP 在线运行反应腔数依次是2、8、21、27、55台，换算成逐年新增腔数为2、6、 13、6、28台；截止2021年6月仅单反应台Primo nanova? 交付累计达100台，推导今年年初以来新增腔数不低于45台，比2020全年新增腔数28台至少增长61%。 ICP 刻蚀产品销售放量，刻蚀设备的行业地位将再次显著提升。中微公司Primo nanova? 产品已成功进入海内外十余家客户的晶圆生产线，在领先的逻辑芯片、DRAM 和3D NAND 厂商的生产线上实现大规模量产。根据公司业绩说明会材料，ICP 刻蚀市场规模76亿美元，而CCP 刻蚀市场规模仅为48亿美元，中微公司第100腔Primo nanova? 刻蚀设备的顺利交付，是公司ICP 刻蚀产品业务发展新的里程碑，标志着刻蚀产品发展迈入新的阶段。 围绕刻蚀技术相关环节的产品平台化日益成型。在立足ICP、CCP 刻蚀这一优势领域的基础上，重点向薄膜沉积、量测设备等集成电路工艺设备外延。在薄膜沉积领域，公司参股的沈阳拓荆在长江存储、华虹无锡项目等主流12寸产线上获得重复PECVD 订单；公司已组建Epi 设备开发团队，主要聚焦Foundry/Logic Device，主要应用于Si、Si/Ge 的Epi 工艺；已组建LPCVD 开发团队，聚焦Memory Device，主要应用于W、WN、TiN等沉积工艺。 盈利预测和投资建议 维持2021-23年公司净利润分别为4.6/6.6/8.4亿元的预测，维持买入评级。 评级面临的主要风险 行业景气度高导致设备零部件采购周期拉长；权益工具投资的公允价值变动风险；地缘政治因素的不确定性风险等。

事件：6月月12日公司发布2021年度向特定对象发行A股股票预案，拟发过行股票不超过2,520.00万股(含本数)过，募集资金总额不超过10亿元(含本数)，扣除发行费用后的募集资金净额用于上海临港研发及产业化项目、高端晶圆处理设备产业化项目(二期)及补充流动资金。 支撑评级的要点抓住上海临港区域协同发展机遇，推动实现前道加工设备在先进制程领域的突破。随着上海市积极建设科技创新中心，临港新片区吸引众多集成电路产业链上下游的优质企业，形成产业集群，可就地提供优质的供应链。公司本次募资中有4.7亿元用于临港研发及产业化项目，近项目总投资金额的73%，将助力公司研发与生产前道ArF光刻工艺涂胶显影机、浸没式光刻工艺涂胶显影机、单片式化学清洗机等高端半导体专用设备，强化技术优势并丰富产品结构，提升公司长期发展的核心竞争力。 扩充前道晶圆加工及后道先进封装环节涂胶显影设备产能，业务规模可加速增长。目前全球处于“芯片短缺潮”，公司产品订单正迅速上升，据公司在互动平台表示，公司订单饱满，生产厂区满负荷运转。本次募资中有2.3亿元用于高端晶圆处理设备产业化项目(二期)，占项目总投资额的79%，项目建成后将有助于前道I-lie与KrF光刻工艺涂胶显影机、前道Barc(抗反射层)涂胶机以及后道先进封装Bumpig制备工艺涂胶显影机的产能提升，突破现有厂区的产能瓶颈，供货规模有望顺利扩张。 前道设备和后道设备应用均获下游大厂认可，募资将快国产替代进程。 公司的前道涂胶显影设备已获得上海华力、中芯绍兴、厦门士兰集科、上海积塔等多个前道大客户订单，打破TEL对涂胶显影机的垄断，进一步推动实现国产替代。同时，公司的后道产品已应用于国内多家封装大厂Fa-out产线，成为客户的主力量产设备，以主流机型覆盖台积电、长电科技、中芯绍兴等知名大厂客户。我国半导体设备进口依赖度较高，本次募资将有助公司的后道先进封装及前道设备生产能力提升，满足下游厂商对进口设备的快速替代进程。 盈利预测和投资建议结合公司2021年一季报，考虑公司在手订单和股权激励情况，预计公司2021-2023年净利润分别为0.70/1.06/1.38亿元，维持买入评级。 评级面临的主要风险市场竞争加剧的风险；新建厂房投产计划推迟的风险。

事件：2021年1月1日至今，公司及子公司泰坦新动力中标宁德时代约 45.47亿元人民币(不含税)的锂电池生产设备订单。 支撑评级的要点 电动化黄金赛道助力公司加速壮大。锂电池设备在新能源汽车、移动设备等终端电动化的发展趋势下，叠加“碳中和”的宏观背景，具有确定性高和格局大的特点。公司在锂电池设备的前、中、后段均有布局，卷绕机、化成分容设备的技术领先，叠片机、涂布机等进步迅速，并积极与国内外头部电池厂合作，有望在高速发展的赛道中进一步提高市占率，拥有更扎实的发展基础。 近9 个月内持续中标宁德时代大额订单，合计额约2020 年营收的1.3 倍。 自2020 年11 月公司公告称在近一个多月内陆续中标宁德时代共32.28 亿元订单以后，公司再次公布2021 年以来从宁德时代获得45.47 亿元大额订单，连续9 个月内累计获得78 亿元订单，相当于2020 年锂电池设备业务收入32.38 亿元的约2.4 倍。公司深度绑定宁德时代优先享受50%设备份额的协同效应，将助力公司在锂电池前中后段设备领域持续发力。 占据新能源汽车产业链关键设备环节的领导地位，享受动力电池龙头扩产大潮。目前全球新能源汽车的渗透率低，未来还有很大提升空间。近日美国总统拜登表示要在电动车产业领域投资1740 亿美元，加速传统车企在新能源汽车领域的转型。根据CATL、LG 等产能规划，到2025 年全球动力电池产能规划累计将超过1000GWh，进入TWh 时代。先导智能作为全球范围内领先的锂电池设备供应商，享受龙头公司CALT 至少50%的份额及其他龙头公司扩产红利。 盈利预测和投资建议 预计2021-2023 年净利润为12.2/20.2/28.2 亿。公司是全球锂电设备龙头，平台化布局逐步清晰，维持买入评级。 评级面临的主要风险 客户扩产不及预期；产品和技术更新迭代受阻；新业务进展不及预期。

事件：近期，公司在上证路演中心举办2020年业绩说明会，会上主要内容包括公司CCP刻蚀设备已进入国际一线晶圆代工客户的量产线且有较高的市占率，且2021年年ICP刻蚀设备在线运行机台同比增长100%，标志着公司刻蚀工艺获得重大进展。同时，公司继续“三维发展”战略的平台外延，在泛半导体和新兴领域中积极挖掘新增长点。 支撑评级的要点半导体器件结构立体化、投资密度提升等增加刻蚀设备需求。尽管在7m以下的制程中EUV替代多重曝光减少刻蚀步骤是大势所趋，但同时因刻蚀技术难度增加而使得设备需求量不减反增。逻辑器件的微观尺寸从28m向5m进步时，所需刻蚀步骤数显著增长近3倍；存储器件为突破物理极限增大容量而向3D结构堆叠时，刻蚀设备的投资占比也从2DNAND的20%提升至3DNAND的50%。据应用材料业绩说明会数据显示，目前半导体投资密度从过去的12%提高至14%，且这一比例将保持较长时间。 中微的CCP刻蚀设备本土市占率35%-40%，而而ICP刻蚀设备销售已进入放量阶段。公司的CCP刻蚀设备已可覆盖70%左右的CCP刻蚀工艺，应用范围可覆盖前道制程的65m-5m的微观器件，在国内领先3DNad厂64层产线上市占率34%，128层产线市占率35%，在国内28m晶圆厂的市占率为39%。公司ICPNaova的在线设备2020年达到55个反应腔，工艺应用达到70个，主要用在Logic客户、3DNad客户，中微半导体今年正式发布了新一代ICP刻蚀设备PrimoTwi-Star，用于IC器件前道和后道制程导电/电介质膜的刻蚀应用。 局布局Epi、LPCVD、量测、CMP等多种制程设备，扩大目标市场规模。 在立足ICP、CCP刻蚀这一优势领域的基础上，重点向薄膜沉积、量测设备等集成电路工艺设备外延。在薄膜沉积领域，公司参股的沈阳拓荆在长江存储、华虹无锡项目等主流12寸产线上获得重复PECVD订单；公司已组建Epi设备开发团队，主要聚焦Foudry/LogicDevice，主要应用于Si、Si/Ge的Epi工艺；已组建LPCVD开发团队，聚焦MemoryDevice，主要应用于W、WN、TiN等沉积工艺。 估值事件：近期，公司在上证路演中心举办2020年业绩说明会，会上主要内容包括公司CCP刻蚀设备已进入国际一线晶圆代工客户的量产线且有较高的市占率，且2021年年ICP刻蚀设备在线运行机台同比增长100%，标志着公司刻蚀工艺获得重大进展。同时，公司继续“三维发展”战略的平台外延，在泛半导体和新兴领域中积极挖掘新增长点。 支撑评级的要点半导体器件结构立体化、投资密度提升等增加刻蚀设备需求。尽管在7m以下的制程中EUV替代多重曝光减少刻蚀步骤是大势所趋，但同时因刻蚀技术难度增加而使得设备需求量不减反增。逻辑器件的微观尺寸从28m向5m进步时，所需刻蚀步骤数显著增长近3倍；存储器件为突破物理极限增大容量而向3D结构堆叠时，刻蚀设备的投资占比也从2DNAND的20%提升至3DNAND的50%。据应用材料业绩说明会数据显示，目前半导体投资密度从过去的12%提高至14%，且这一比例将保持较长时间。 中微的CCP刻蚀设备本土市占率35%-40%，而而ICP刻蚀设备销售已进入放量阶段。公司的CCP刻蚀设备已可覆盖70%左右的CCP刻蚀工艺，应用范围可覆盖前道制程的65m-5m的微观器件，在国内领先3DNad厂64层产线上市占率34%，128层产线市占率35%，在国内28m晶圆厂的市占率为39%。公司ICPNaova的在线设备2020年达到55个反应腔，工艺应用达到70个，主要用在Logic客户、3DNad客户，中微半导体今年正式发布了新一代ICP刻蚀设备PrimoTwi-Star，用于IC器件前道和后道制程导电/电介质膜的刻蚀应用。 局布局Epi、LPCVD、量测、CMP等多种制程设备，扩大目标市场规模。 在立足ICP、CCP刻蚀这一优势领域的基础上，重点向薄膜沉积、量测设备等集成电路工艺设备外延。在薄膜沉积领域，公司参股的沈阳拓荆在长江存储、华虹无锡项目等主流12寸产线上获得重复PECVD订单；公司已组建Epi设备开发团队，主要聚焦Foudry/LogicDevice，主要应用于Si、Si/Ge的Epi工艺；已组建LPCVD开发团队，聚焦MemoryDevice，主要应用于W、WN、TiN等沉积工艺。 估值我们预计公司2021-2023年营业收入达到30.8亿元、43.5亿元、53.9亿元，净利润分别达到4.6亿元、6.6亿元、8.4亿元。结合中微优秀的技术团队及发展规划、路径，中长期公司有望成为中国的“应用材料”、“LamResearch”，维持买入评级。 评级面临的主要风险技术迭代被反超的风险；下游客户扩产不及预期的风险；行业景气周期性风险；国际贸易争端加剧的风险。 我们预计公司2021-2023年营业收入达到30.8亿元、43.5亿元、53.9亿元，净利润分别达到4.6亿元、6.6亿元、8.4亿元。结合中微优秀的技术团队及发展规划、路径，中长期公司有望成为中国的“应用材料”、“LamResearch”，维持买入评级。 评级面临的主要风险技术迭代被反超的风险；下游客户扩产不及预期的风险；行业景气周期性风险；国际贸易争端加剧的风险。

公司聚焦实验室场景，拥有SKU 超85 万的自主+代理产品矩阵，OEM 模式生产保证资金需求，自主创新研发+自建仓储物流体系形成“双核驱动”布局，“探索”科学服务平台加码销售和管理，深度绑定企业类、高校及科研院所客户，未来将持续受益于国家科研战略的高景气，有望在广阔市场空间中成长为国内领头科学服务商。 支撑评级的要点全球科学服务市场空间大，国产替代正当时。全球科研仪器、试剂、服务行业市场规模数千亿美元，其中科研仪器约300 多亿美元，科研试剂约300 多亿美元。大市场背景下，诞生Thermo Fisher、丹纳赫、默克等收入规模为200-300 亿美元、市值1500-2000 亿美元的国际龙头。我国科研仪器、试剂、服务行业市场规模估计1000 亿人民币以上，但外资品牌垄断了国内90%左右的市场份额，国产化率不超10%；如Thermo Fisher 在中国大陆年销售额约30 亿美元，而泰坦科技销售额仅RMB 10 多亿元。 国家战略推动科研高景气，带动科技创新时代红利。全球科研保持高景气度， 研发经费保持稳定增长，促进科学服务行业市场规模扩大。2021 年两会政府工作报告主要突出了三个方面：一是要强化国家战略科技力量；二是加强基础研究；三是要用市场化机制激励企业加大研发投入。我国科研仪器、试剂、服务行业市场规模有望在过去10%左右的年均增速基础上，继续加快增长。 客户粘性高，产品盈利弹性强。公司是专注于一站式实验室产品与配套服务的科学服务领域变革者，探索平台的SKU 超85 万，产品矩阵持续完善，商业闭环促进快速成长，在国内众多同业中处于综合优势地位。自主品牌贡献一半以上的收入与利润，规模效应将提升第三方品牌业务的盈利能力。 外延并购改善业务的可行性强。国际上Thermo Fisher、丹纳赫均通过数百余次外延并购来增强仪器、试剂的产品线和改善物流仓储配送能力，本土科研仪器及试剂服务企业多而分散，这为有潜力的本土企业提供了外延并购的可行性。 盈利预测和估值 预计公司2021-2023 年营收分别为19.2/25.9/34.1 亿元，净利润1.6/2.4/3.5 亿元， 对应EPS 2.1/3.1/4.6 元/股，当前股价对应2021E-2023E 市盈率90/61/42 倍。科技创新驱动全球科研景气高涨，科学服务市场空间较大，公司作为综合型科学服务商，自有品牌提升和销售渠道完善将带动未来收入增长。首次覆盖给予增持评级。 评级面临的主要风险 公司对第三方品牌产品销售占比较高的风险；OEM 生产商受疫情影响导致生产效率下降的风险；高校、科研院采用招投标等多种采购方式风险。