公司2022Q1实现营业收入3.54亿元，同比增长28.52%；实现归母净利润0.04亿元，同比减少88.56%；实现扣非净利润0.24亿元，同比减少24.98%。 支撑评级的要点单季度收入增速28.5%，而北方华创、中微、拓荆均有50%以上增长，主要是单季基数高、当前单季收入规模敏感度高、疫情影响验收进度等原因： （1）高成长性类似。2020-2021年连续两年的一季度平均增速盛美、中微、北方华创依次是57%、52%、51%。实际上去年一季度盛美增速91%，而中微、北方华创去年一季度增速50%左右，所以盛美去年一季度基数较高。 （2）2019-2021年的单季度收入增速波动比较大，当前首季收入体量对应的增速敏感度高。公司设备平均单价2000万左右/台，少数几台订单的验收和收入确认对一季度收入影响比较敏感。假设多确认2-3台设备的收入，一季度收入会达到增速50%。季节性收入增速大幅波动的表现也发生北方华创2018-2019年、中微公司的2019-2020年。 公司存货及合同负债继续放大，预计订单快速增长。2022Q1公司存货17.28亿元，较2021年末增长19.75%。公司合同负债4.43亿元较2021年末增长21.72%。存货与合同负债继续增长表明公司目前在手订单充足。据控股股东官网公告，公司出货量每季激增，2021Q1-Q4分别为0.74、0.82、0.99、1.17亿美元，强劲的出货量也侧面验证公司在加速确认订单。 高研发投入加快产品平台化。公司2022Q1研发投入合计 1.11亿元，相比上年同期增加126.8%，研发投入占营业收入比例31.4%，相比于上年同期增加13.6个百分点。公司18腔 300mm Ultra C VI 单晶圆清洗设备已成功投入量产。 该设备于 2020年第二季度首次推出，目前已在中国一家主流存储芯片制造商的生产线上获得验证并进入量产。另外据公司控股股东 ACMR 年报发布会，今年即将推出毛利率较高的 ALD 设备， 并将推出两大类新的制程设备。 盈利预测及评级考虑到上海4月份疫情等因素影响，我们对今年超预期的概率和幅度做小幅调整，但仍保持高速成长性，预计22-24年净利润4.27/5.95/8.00亿元，维持“买入”评级。 评级面临的主要风险国际地缘政治摩擦的不确定性，零部件紧缺导致订单交付延迟。

公司 21年实现营业收入 96.83亿元，同比增长 60%；净利润 10.77亿元，同比增长 101%；扣非 8.07亿元，同比增长 309%。同时，22Q1实现营收 21.36亿元，同比增长 50%；净利润 2.06亿元，同比增长 183%；扣非 1.55亿元，同比增长 382%。业绩增长强劲，均处于前期指引区间上限。 支撑评级的要点“装备+元器件”双业务驱动营收高速增长。公司 21年实现 96.83亿元营收中，电子工艺装备和电子元器件业务分别占约 82.1%和 17.7%，分别同比增长约 63%和 47%，两大业务均实现高速增长，主要受益于半导体产业对装备及零部件的旺盛需求。22Q1末的合同负债仍维持年初 50亿元的较高水平，待后续半导体装备产业化基地等扩建项目达产后，将确保订单收入的更快落地，形成强劲的成长动力。 公司微电子装备高速成长。在电子工艺装备中，光伏真空炉收入 8.28亿元，占公司总收入 9%，以原有经营主体北方微为主的泛半导体（IC+光伏设备、面板设备、LED 设备）收入 71.21亿元，占总收入的 74%，同比增长 72%，同时，光伏真空炉的净利润率为 7%，较上年度下降 2.4个百分点，但微电子装备净利润率从 4.2%提高至 8.1%，主要是受益于国内半导体设备旺盛的需求并享受比泛半导体更高的盈利能力水平。 毛利率显著提升驱动盈利增强。公司 21年和 22Q1实现扣非净利润增速分别为 309%和 382%，主要得益于毛利率的显著提升， 21年和 22Q1的毛利率分别为 39%和 45%，较上年同期分别扩大了 2.72和 5.12个百分点。拆分业务来看，21年电子工艺装备和电子元器件的毛利率分别为 33%和 69%，同比扩大了 3.56和 2.75个百分点，公司产品结构的改善及电子工艺装备等的盈利向好，带动公司整体的盈利能力提升。 研发投入积极，新产品拓展顺利。公司 21年的研发费用为 12.97亿元，同比增长 94%，占营收的 13%；研发人员数量增长 44%。同时，公司 22Q1的研发费用也同比增长 112%，表明公司在新产品研发的投入上越发积极，努力构建技术壁垒。21年获得存储领域多种新工艺设备的验证机会，在半导体产业的旺盛需求环境下，将有望加速验证向收入的转化。 盈利预测及评级鉴于公司盈利能力大幅提升，营收端动力充足，新产品导入客户进展顺利，预测 22-24年净利润为 16.74/22.35/28.82亿元，维持买入评级。 评级面临的主要风险半导体零部件供应紧缺的恶化，疫情管控影响订单运付，国际地缘政治摩擦的不确定性，存货减值的风险。

公司发布21年度业绩快报，实现营收96.83亿元，同比增长60%；净利润10.77亿元，同比增长101%；扣非净利润8.07亿元，同比增长309%。此布外，公司发布22年年Q1业绩预告，预计收实现营收19.93亿元-22.77亿元，长同比增长40%-60%；预计实现润净利润1.97亿元-2.19亿元，同比增长170%-200%润；预计实现扣非净利润1.48亿元-1.61亿元，同比增长360%-400%。 支撑评级的要点21年经营业绩亮眼，盈利能力大幅提升。公司21年实现业绩均处于前期指引中值，其中营收实现高速增长，主要因为半导体设备行业需求旺盛，且公司完成21年近85亿元的非公开发行股票筹资，陆续扩充半导体装备的产能，积极推进旺盛订单的交付。同时，公司21年的盈利能力显著提升，扣非净利润同比增长了300%，尤其据Q4拆分，Q4的净利润和扣非分别同比增长了100%和1182%，在零部件紧缺且原料上涨的产业环境下，进一步彰显公司优秀盈利能力，主要得益于公司成本端的优秀管控能力及产能规模效应。 22Q1经营符合预期。公司22Q1预计实现营收中值21.35亿元，同比增长50%，与前期公告的22年1-2月实现营收13.66亿元情况及增速吻合，表明公司1季度经营情况稳健，3月份仍能保持收入健康增长。同时，Q1净利润和扣非的中值同比增速分别达到185%和380%，盈利能力进一步提升。 订单增长稳健维持营收动力。据公司前期公告，22年1-2月新增订单超30亿元，同比增长超60%。据中国国际招标网统计，公司2月份新增中标华虹无锡的13台设备（3台PVD、4台刻蚀、6台合金退火），为22年初以来公布中标较多的厂商。 盈利预测及评级鉴于公司盈利能力大幅增长，订单增长稳健，产能规模积极提升，预测公司21-23年的净利润分别为10.77/15.10/19.66亿元，维持“买入”评级。 评级面临的主要风险国际地缘政治摩擦的不确定性，零部件紧缺导致订单交付延误

公司发布2021年年报，2021年公司实现营业收入11.0亿元，同比增长119.4%；归母净利润0.7亿元，同比增长15.4%；扣非归母净利润0.5亿元，同比增长7.9%。 支撑评级的要点公司收入快速增长，成本上升导致毛利率有所下降。受益于2021年动力电池厂商持续的产能扩张，公司新能源汽车自动化设备业务取得快速发展，2021全年实现营业收入10.3亿元，同比增长178.8%，为公司收入增长的主要动力。公司主营业务毛利率为27.6%，同比减少4.3pct，净利率6.4%，同比减少5.7pct，一方面由于原材料价格上涨成本压力上升，另一方面由于公司产品的非标特性，在向新领域扩张的过程中将通常需要较高的成本投入。 拟收购宁德东恒机械扩充产品类型，切入锂电池结构件。2022年2月，公司发布公告拟以现金形式收购宁德东恒机械有限公司51%的股权。宁德东恒机械有限公司成立于2014年，主要经营范围包括机械设备制造，五金制品、汽车零配件加工，金属表面处理及热处理加工，塑料包装箱及容器制造。另外，东恒机械在宁德和溧阳拥有多家能源科技相关的全资子公司，宁德和溧阳两地也是宁德时代动力电池产能投资的重地，已经形成庞大的产业集群，并且东恒机械曾在2019年入选宁德时代优秀供应商。通过本次收购，公司将切入锂电池结构件产品领域，为公司未来增长再填一大支撑。 在手订单充足，未来突破产能瓶颈带来业绩成长。2021年末公司合同负债为1.9亿元，同比增长161.0%，表明公司在手订单充足，对公司未来业绩提供强有力的支撑。另外，根据公司最新公告显示，自2021以来公司累计收到来自宁德时代的订单额约12.97亿元，与大客户关系保持紧密并且充分证明了公司产品的硬实力。为了应对订单的快速增长，公司积极扩充产能，2021年末公司员工总数达到2,367人，同比增长199.2%，并且将在武汉、上海、长沙将分别新增4万平方米的厂房，于2022底全部投入使用，届时产能总面积将达12万平方米。 估值考虑公司实际经营情况，我们调整公司2022-2023年盈利预测，同时增加2024年预测，预计2022-2024实现营业收入24.0/34.5/46.2亿元，净利润2.3/3.4/4.6亿元，维持买入评级。 评级面临的主要风险新能源车销量不及预期；动力电池厂商扩产速度不及预期；行业竞争加剧。

据万业企业公告，大基金二期、装备材料基金拟对参股子公司浙江镨芯合计3.9亿元增资，增资完成后，万业企业持有浙江镨芯的股权比例将为29.63%，仍为第一大股东。 支撑评级的要点CompartSystems是半导体设备所需气体输送系统领域的解决方案提供商。根据爱集微，Compart产品包括气体输送零部件、组件、密封件、气棒总成、质量流量控制器（MFC）等，客户包括Ichor、UCT、应用材料、艾默生、Pivotal、Etegris等气体传输系统和半导体行业设备厂商，最终客户以AppliedMaterials、LamResearch为主。Compart公司总部位于新加坡，在中国深圳和马来西亚拥有工厂，并在欧洲及北美建有市场及仓储分支机构。Compart2020年收入约7亿元，2021年收入9.20亿元同比增长30%以上，净利润1.48亿元。 浙江镨芯间接持有零部件商CompartSystems73%的股权。据公司前期发布公告，联合境内外投资者，以浙江镨芯和镨芯控股为持股主体，收购CompartSystems公司100%股权，而CompartSystems公司为半导体设备所需气体输送系统领域的流量控制组件供应商，提供MFC、高价值气体输送零部件等，为全球领先半导体零部件商。公司通过浙江镨芯持有镨芯控股73.11%的股份，并以此间接布局半导体零部件领域。 将获大基金二期增资，彰显零部件的战略重要意义。目前全球半导体设备产业普遍面临零部件紧缺，甚至是零部件的芯片等组件紧缺，导致应用材料及LamResearch等设备组装或交付期大大延迟，并未能满足目前产业积极扩产的设备需求。大基金二期此次增资表明了半导体零部件赛道的重要性和紧迫性，也表明CompartSystems作为关键零部件供应商具备极高的产业价值。 盈利预测及评级鉴于公司立足的离子注入机业务已进入1至N的快速成长期，参股的零部件业务正积极导入国内客户，且通过共同创立的嘉芯半导体打开1+N的新成长曲线，持续受益于晶圆厂积极扩建带来的半导体设备旺盛需求。预测2021-2023年净利润分别为4.2/4.8/5.9亿元，维持增持评级。 评级面临的主要风险晶圆厂扩建慢于预期，零部件紧缺加剧，国际地缘政治摩擦的不确定。

公司发布 2021年报， 实现营收 31.08亿元，同比增长 37%；净利润 10.11亿元，同比增长 105%； 扣非净利润 3.24亿元，同比增长 1291%；毛利率 43.36%，较上年扩大 5.69个百分点。 支撑评级的要点ICP 刻蚀交付腔体数量超预期。 21年产品付运腔体数量为 491腔，同比增长 66.4%。其中，CCP 刻蚀机付运 298腔，同比增长 40%； ICP 刻蚀机付运 134腔，同比增长 235%，取得突破性进展。而对于 MOCVD 设备销售，公司去年新发布的 MiniLED MOCVD 设备 Prismo UniMax年底订单超 100腔，到今年 3月底订单累计已超 180腔。 刻蚀设备高速成长，去年总订单翻倍增长。 公司 21年实现营收同比增长 37%， 增速较前两年大幅提升。 其中刻蚀设备收入 20.04亿元， 占比 64%， 同比增长 55%； MOCVD 设备收入 5.03亿元，占比 36%，同比增长 1.53%。 公司 21年新签订单金额同比增长 90.5%达 41.3亿元，保障 2022年收入延续高增长趋势。 产品结构优化， 盈利能力大幅提升。 去年专用设备的毛利率增加 4.88个百分点至 42.20%，其中 MOCVD 设备的毛利率大幅提升 18.65个百分点至 33.77%；刻蚀设备仍保持 44.32%的较高水平。同时，盈利能力较高的刻蚀收入比重，较去年提升 7个百分点至 64%，公司的收入结构明显改善。 CCP 等离子体刻蚀进入先进的 5纳米芯片生产线和下一代的试生产线上。 研制成功 5纳米的刻蚀设备并完成在先进逻辑芯片生产厂家的评估，并实现销售。完成 3纳米刻蚀机 Alpha原型机的设计、制造、测试及初步的工艺开发和评估。 公司 ICP 刻蚀设备已经逐步趋于成熟。 Primo nanova? ICP 刻蚀产品已经在超过 15家客户的生产线上进行 100多个 ICP 刻蚀工艺的验证。 2021年 3月，公司研发并推出的具有高输出率特点的双反应台 ICP 刻蚀设备 Primo Twin-Star? 刻蚀设备，已经在国内领先的客户生产线上完成认证，并收到更多国内客户的订单。 把握科技前沿， IC 工艺设备产品平台从薄膜图形化工具辐射到薄膜沉积和外延生长设备。 具体包括薄膜刻蚀： CCP、 ICP、 ALE，薄膜沉积： LPCVD、 EPI、 ALD；第三代半导体：硅基氮化镓及碳化硅功率器件专用的外延设备。 （1） 钨填充 LPCVD 设备取得阶段性进展。 应用于金属互联的 CVD 钨制程设备能力已能够满足客户工艺验证的需求，产品正与关键客户对接验证。基于金属钨 LPCVD 设备，公司正进一步开发 CVD 和 ALD 设备。 （2） SiGe Epi 设备完成设计方案，进入样机制造阶段。 2021年组建 EPI 设备研发团队，通过基础研究和采纳关键客户的技术反馈，已形成自主知识产权及创新的预处理和外延反应腔的设计方案。目前公司 EPI设备已进入样机设计、 制造和调试阶段，以满足客户先进制程中 SiGe 外延生长工艺的电性和可靠性需求。 （3） 积极布局用于功率器件应用的第三代半导体设备市场。 开发 GaN 功率器件量产应用的 MOCVD 设备，目前已交付国内外领先客户进行生产验证。 启动了应用于碳化硅功率器件外延生产设备开发，将进一步丰富公司的产品线。 盈利预测及评级鉴于公司刻蚀设备尤其是 ICP 刻蚀 21年订单大幅增长，且 MOCVD 设备订单也超预期增长，我们上调 22-24年净利润至 11.26/12.90/15.17亿元，维持“买入”评级。 评级面临的主要风险晶圆厂扩建不及预期，零部件紧缺导致设备交付延迟， 国际地缘政治摩擦的不确定。

公司发布业绩快报，21年实现营收59.61亿元，同比增长56%；净利润17.18亿元，同比增长100%；扣非净利润16.39亿元，同比增长100%；基本每股收益为1.34元/股，同比增长100%。 支撑评级的要点毛利率、净利率等盈利能力显著提升。公司净利率达到28.82%，相比2020年净利率22.35%大幅上升6.47个百分点。具体可参考前三季度已披露财务数据，前三季度毛利率38.18%，相比2020年前三季度毛利率33.74%上升4.44个百分点；前三季度销售费用、管理费用、研发费用合计三项费用的费用率10.27%，相比2020年前三季度同一口径10.85%减少了0.58个百分点。盈利能力的全面上升，归功于订单规模效应、产品处于垄断地位所带来的议价能力、公司优异的生产质量管理和业务流程的精细化管理。 半导体硅片生长与加工设备业务也在超预期发展。半导体产业广阔的市场空间以及利好政策加速国内半导体设备国产化进程，公司半导体设备订单量取得快速增长。参考去年三季度末未完成半导体设备合同7.26亿元（含税），相比2020年底3.90亿元大幅增长0.86倍。公司半导体设备产品包括长晶炉、减薄机、双面研磨机、双面抛光机、边缘抛光机、最终抛光机、硅外延生长设备、碳化硅外延生长设备等，其中公司的8英寸长晶设备及加工设备已实现批量销售；12英寸长晶设备、滚圆、切断、研磨和抛光等设备已通过客户验证并实现销售；碳化硅外延设备已通过客户验证并实现销售。 集先进装备、先进材料、零部件的平台化效果显著。围绕“先进材料、先进装备”的发展战略，公司涉足光伏硅片设备、半导体硅片设备、SiC 衬底设备，并布局相关零部件与耗材（半导体坩埚、 阀门、 磁流体、硅片抛光液），以及第三代半导体SiC 衬底生产。其中光伏设备2021年底未交付合同金额估计保持在180-200亿元（含税），半导体设备在手订单持续增长，全球半导体零部件供不应求，SiC 衬底受益于新能源而需求爆发。 盈利预测及评级鉴于公司产品平台化、盈利能力提升效果显著，且目前PE 估值回到相对合理区，预测22-23年的净利润为26.31/36.10亿元，对应PE 估值为29.5/21.5倍，将公司评级从增持上调为买入。 评级面临的主要风险国际地缘政治摩擦的不确定性，零部件紧缺导致订单交付延迟。

公司发布年报，21年实现营收 16.21亿元，同比增长 61%；净利润 2.66亿元，同比增长 35%；扣非净利润 1.95亿元，同比增长 111%；基本每股收益为 0.68元/股，同比增长 36%。 支撑评级的要点 业绩维持高成长，客户全球化取得重大进展。公司 21年实现营收同比增长 61%，扣非净利润增长 111%，毛利率为 42.53%与去年 43.78%接近。同时，Q4实现营收5.33亿元，同比 33%，环比增长 15%；Q4实现扣非净利润 0.99亿元，同比增长99.94%，环比增长 113%，公司在 21全年及 Q4均保持营收端和盈利端的高速增长势头。同时在 21年获得 5家中国大陆地区以外的知名客户，表明公司的客户全球化发展战略得以成功实施，产品竞争优势获高度认可，收入窗口积极敞开。 全年发货量同比翻倍增长，积极备货也导致存货大幅增加。2021年出货量达到3.72亿美元（按控股股东口径），同比增长 104%。公司 21年末的存货价值为 14.43亿元，较 20年末增长 135%；21年末合同负债 3.64亿元，较 20年末增长 324%。 公司存货主要为发出商品和原材料的价值，而合同负债则主要由客户预付款组成，双双增长表明公司目前在手订单饱满。目前公司已积极着手产能提升，在上海川沙建有两座新工厂，叠加供不应求的产业环境，快速增长的订单有助公司积极抢夺市场份额，进一步巩固市场领先地位。 加大研发投入，加快新产品开发和已有产品迭代升级。公司 21年的研发费用同比增长 98%，占营收比例 17%较上年 14%扩大 3个百分点，表明公司加大了现有产品的技术迭代，以及新产品的布局。公司目前的清洗技术及设备可覆盖 80%以上的清洗工艺，同时据公司控股股东 ACMR 介绍，2021年获得前道镀铜设备的批量订单突破，且交付 7台立式炉 Demo 机台，并即将推出毛利较高的 ALD 设备，2022年下半年也将推出两大类针对先进工艺的制程设备。公司 21年包括电镀、立式炉管等其他半导体设备收入同比增长 352.44%，表明其研发投入对营收端的助力效果明显，叠加公司的清洗设备龙头地位、先进封装产品的收入积极增长，产品平台化战略正带领公司进入成长快车道。 盈利预测及评级 鉴于公司新产品推出、新客户拓展、订单获取等有显著进展，上调 22-23年的净利润从 4.44/6.21亿元至 4.44/6.22亿元，且预测 24年净利润为 8.37亿元，维持买入评级。 评级面临的主要风险 国际地缘政治摩擦的不确定性，零部件紧缺导致订单交付延迟。

据盛美上海控股股东 ACMR 举行业绩说明会议，公司 2021年实现营收 2.598亿美元，同比增长 66%，出货金额达到 3.72亿美元，同比增长 104%，全年经营情况良好且处于前期指引上限。同时，四季度实现单季度 0.951亿美元的历史营收记录、1.17亿美金的历史出货金额，业绩显著增长。 支撑评级的要点经营业绩显著提升。公司 21年营收同比增长 66%至 2.6亿美元，出货金额同比增长 104%至 3.7亿美元。同时，四季度实现约 1.0亿元营收和约 1.2亿元出货金额的历史记录。公司的经营成果靓丽，表明技术差异化、产品平台化、客户全球化发展战略支撑公司高成长，同时也证明公司产品的竞争优势获得业内的认可，对营收端形成持续的推动作用。 清洗设备龙头地位稳固，镀铜、立式炉等产品形成营收增长第二曲线。随着未来推出 CO2、IPA 等高端干燥技术，公司将可提供全系列清洗设备，涵盖所有清洁制程 90%以上的工艺，2021年清洗设备业务增长 44%至 1.9亿美元，占销售额的 73%，叠加近期获得的 12英寸槽式清洗设备的历史大批量订单，表明公司在清洗领域的领先地位进一步加固。2021年公司的 ECP、立式炉和其他产品收入同比增长 149%，叠加近期获得前道镀铜设备的批量订单突破，2021年交付 7台立式炉 Demo机台并即将推出毛利较高的 ALD设备，公司的镀铜、立式炉等第二成长曲线强劲，有望在 2022年持续为公司的营收添加新动力。 产品组合对应市场空间即将翻倍，基于目前产品系列已制定>10亿美金年收入的长期目标。公司即将于 2022下半年推出的新产品为 2大类针对先进工艺节点的制程工具，有望使得公司产品组合对应的市场空间从前期预估的80亿美金翻番至 160亿美金，同时，基于现有产品，公司已制定>10亿美元的中长期收入目标。 盈利预测及评级鉴于公司 21年四季度实现业绩和出货金额均显著增长，22年在产能提升、新产品推出、新客户拓展等将有显著进展和乐观预期，再次上调 21-23年收入从 15.75/27.71/40.04亿元至 16.21/27.99/40.39亿元，维持买入评级。 评级面临的主要风险国际地缘政治摩擦的不确定性，零部件供应紧缺影响订单交付。

最新消息：盛美半导体官方微信公众号显示，已获得13台台UltraECPmap前及道铜互连电镀设备及8台台UltraECPap后道先进封装电镀设备的多个采购订单，其中10台设备订单为一家中国顶级集成电路制造厂商的追加订单。同时，本次为公司首次获得的ECPmap电镀设备批量订单。 支撑评级的要点共获21台电镀设备订单，含国内顶级集成电路客户追加订单。本次21台的规模订单包含13台前道铜互连和8台后道先进封装电镀设备，其中10台设备订单为一家中国顶级集成电路制造厂商的追加订单，也是其对ECPmap电镀系统的第一笔批量采购订单。由于应用在65m~28m工艺的UltraECPmap前道铜互连电镀设备性能已满足甚至超过其要求，因此客户为其产线订购了大量该设备，彰显盛美过硬的产品竞争实力和客户高度认可的公司整体竞争优势引领前道铜互连和后道先进封装电镀设备国产化，确立本土龙头地位。电镀设备具有技术门槛高、价格昂贵的特点，国内产线的前道镀铜设备国产化率较低，据中国国际招标网数据统计，本土12英寸晶圆厂的前道镀铜设备主要被LamResearch一家垄断，此次盛美首获大批量前道电镀设备订单，打破了镀铜设备寡头垄断的市场格局，是继2021年整体发货量20台左右的前道和后道电镀设备后，继续引领前道电镀设备国产化。 前道和后道电镀设备均有较强的性能优势。据公司介绍，盛美的UltraECPmap前道铜互连电镀设备建立在公司成熟的电化学电镀（ECP）技术基础之上，该设备专为双大马士革先进应用领域而设计，可提高产能和可靠性，同时ECP电镀系统配臵了公司独创的多阳极局部电镀功能，让客户可对大马士革结构上的金属铜沉积层进行有效控制。而后道先进封装的UltraECPap电镀设备可执行许多包括铜凸块和高密度扇出（HDFO）工艺等关键WLP电镀工艺，在铜、镍、锡、银和金电镀过程中拥有出色表现。 清洗和电镀等多业务突破，加速迈向国际品牌第一梯队。公司获得ECPmap电镀设备的第一份批量订单，这份订单连同最近宣布获得的槽式清洗设备的批量订单，代表了盛美上海在各工艺技术领域的市场领导地位，也突显了公司满足客户需求的能力。盛美上海使用高性能设备不断拓宽设备产品组合的策略还将带来更多订单。公司在全球化战略方面，去年也陆续获得国际一线客户的订单，有望通过已被验证的国际先进/国际领先技术，加速向国际半导体设备第一梯队迈进。 盈利预测及评级鉴于公司电镀设备的大批量订单（特别是包括单一客户的批量订单）超预期，再次小幅上调公司22-23年收入从26.62/39.18亿元到27.71/40.04亿元，维持买入评级。 评级面临的主要风险国际政治摩擦的不确定性，零部件紧缺影响订单交付。

盛美半导体官方微信公众号显示，接到 29台 Ultra C wb槽式湿法清洗设备的批量采购订单，可应用于加工12英寸（300mm）晶圆，计划从2022年开始分两个阶段发货。其中含16台来自同一家中国国内代工厂的重复订单，重复订单的目的是支持该工厂的扩产。 支撑评级的要点打破12英寸槽式清洗设备被迪恩士、TEL 垄断的竞争格局。中国国际招标网数据统计，本土12英寸晶圆厂的槽式清洗设备主要被迪恩士、TEL两家日本清洗设备供应商垄断，盛美半导体此次获得大批量槽式设备订单，打破了12英寸槽式设备被日企高度垄断的市场格局。除盛美外，其他国产清洗设备供应商一直未能实现12英寸槽式清洗设备的进口替代。 槽式订单台数达到29台，产品组合竞争策略获市场认可。据公司介绍，本次29台的规模订单为自公司建立以来最大的一笔槽式湿法清洗设备采购订单。订单中包含同一代工客户的16台重复订单，表明公司产品在晶圆代工领域的客户认可度进一步提升，叠加已在本土晶圆厂具备超过20%的市占率，公司清洗产品已具备较强的客户粘性，前期在客户端的工艺认证陆续转变成收入增长动力。 产品搭载先进低压干燥（ULD）技术，几乎可以覆盖一切使用槽式清洗设备的清洗工艺步骤。公司宣布用于300mm 槽式系统的超低压干燥（ULD）技术，为专门解决先进3D NAND 结构及逻辑产品的高宽深比结构等在槽式清洗中干燥技术难题而设计。公司的新型ULD 槽式模块使用低压异丙醇（IPA）干燥工艺，可满足包括炉管前清洗、离子注入后清洗和干法刻蚀后光刻胶去除、化学机械抛光（CMP）后清洗以及薄膜沉积、氧化层刻蚀和氮化物去除等清洗干燥要求。盛美上海已于2021年第三季度向一家领先的中国存储器半导体制造商交付了首个ULD 模块，初步的工艺数据已证明了ULD 在先进节点制造中的有效性。 本土清洗设备龙头地位进一步加固，迈向国际品牌第一梯队。公司本次获得本土代工厂的重复订单，表明了公司在本土产线的12英寸槽式清洗市场地位再次获得验证，巩固本土清洗设备龙头地位。同时，据中国国际招标网数据统计，公司的单片清洗设备的国内市占率超20%，去年底也从美国一家主要国际半导体制造商处获两份型号为Ultra C SAPS V 用于先进制程12腔单片清洗设备订单，引领本土半导体设备商国际化进程。 盈利预测及评级鉴于公司推出新技术扩大了工艺覆盖范围，客户认可度提升，特别是槽式清洗设备的大批量订单超预期，我们小幅上调公司21-23年收入从15.58/25.22/36.33亿元至15.75/26.62/39.18亿元，维持买入评级。 评级面临的主要风险国际政治摩擦的不确定性，零部件紧缺影响订单交付，运营成本上涨。

近日，先惠技术发布关于筹划重大资产重组暨签署《股权收购意向书》的提示性公告，拟以现金形式收购宁德东恒机械有限公司51%的股权，本次交易完成后公司将实现对标的公司的控股。 支撑评级的要点n拟收购宁德东恒机械扩充产品类型，切入锂电池结构件。根据公告，宁德东恒机械有限公司成立于2014年，主要经营范围包括机械设备制造，五金制品、汽车零配件加工，金属表面处理及热处理加工，塑料包装箱及容器制造。 另外，东恒机械在宁德和溧阳拥有多家能源科技相关的全资子公司，宁德和溧阳两地也是宁德时代动力电池产能投资的重地，已经形成庞大的产业集群，并且东恒机械曾在2019年入选宁德时代优秀供应商。通过本次收购，公司将切入锂电池结构件产品领域，为公司未来增长再填一大支撑。 公布限制性股票激励计划，彰显公司发展信心。此前公司发布2022年限制性股票激励计划，拟授予限制性股票100万股，占公告时公司总股本1.32%，其中首次授予87.04万股，预留部分12.96万股。限制性股票的授予价格为108元，授予对象包括公司董事、高级管理人员以及业务骨干等合计147人。 在手订单充足，未来突破产能瓶颈带来业绩成长。根据公司最新公告显示，自2020年四季度至截止2021底，公司累计收到来自宁德时代的订单额约12.58亿元，是公司2020年5.02亿元收入的2.5倍，一方面对公司短期的业绩提供强有力的支撑，另一方面也证明了公司产品的硬实力。目前公司产能储备充足，将在武汉、上海、长沙将分别新增4万平方米的厂房，于2022底全部投入使用，届时产能总面积将达12万平方米。 估值考虑到公司2021年受到经营节奏影响三四季度业绩不及预期，我们调整公司盈利预测，预计2021-2023年实现营业收入11.4/23.8/31.6亿元，净利润1.2/2.6/3.6亿元，维持买入评级。 评级面临的主要风险n新能源车销量不及预期；动力电池厂商扩产速度不及预期；行业竞争加剧。

据公司发布业绩预告，预计 2021年营业收入为 31.08亿元，同比增长约36.73%；2021年实现归母净利润为9.5-10.3亿元，同比增长93.01%-109.26%；2021年实现扣非归母净利润为2.8-3.3亿元，同比增长约1100.72%-1315.13%；2021年新签订单金额为 41.3亿元，同比增加约 90.5%。 支撑评级的要点盈利能力显著上升，公司迎来利润大拐点。公司公布2020年扣非净利润2332万元，2021年扣非净利润2.8-3.3亿元，对应2020、2021年净利润率依次是1%、10%。如果加回股权激励费用，2020年扣非利润1.46亿元，净利率6%，2021年扣非利润4.93-5.43亿元，净利润率17%左右，同比上升10个百分点， 越来越接近于国内外成熟半导体设备企业的平均盈利水平。公司盈利能力的显著上升，其中6个百分点是受益于业务结构优化，即毛利率高达44%的刻蚀设备收入占比持续显著提高，同时MOCVD毛利率也相比上年度回升了14个百分点至合理水平，3个百分点是受益于规模效应带来销售期间费用率的下降。 订单充足，确保2022年业绩延续高增长。公司2021年新签订单金额为 41.3亿元，同比增加约 90.5%，新增订单接近翻倍既有刻蚀设备订单的贡献也有MOCVD订单的回升，但从结构比例来看仍以刻蚀设备为新订单的主要组成部分。2021年刻蚀设备收入20.04亿元，同比增长55%，根据订单和Fab 设备采购行业趋势判断，2022年刻蚀设备销售收入大概率是加速增长。 布局众多新产品，陆续进入收获期。2021年的ICP 发货量超预期，依据是2021年6月9日中微公司ICP 刻蚀设备Primo nanova? 第100台反应腔顺利交付，标志着ICP 刻蚀产品业务发展新的里程碑。其次公司陆续布局HAR、双大马士革、LPCVD、Epi 等新产品（累计可覆盖晶圆产线设备价值量的25%左右）也是前道工艺设备核心环节，期待2022年获得新进展、新突破。 盈利预测鉴于公司盈利能力持续提升，全球晶圆厂的积极扩产驱动订单高增长，上调2021-2023年的净利润9.76、10.44、12.52亿元，维持买入评级。 评级面临的主要风险半导体板块的估值波动风险；零部件下游需求受到非市场因素影响；研发进度不及预期或被反超的风险。

据公司发布2021年度业绩预增公告，计预计2021年公司实现归母净利润为4.22-4.65亿元，同比增长112.06-133.67%；预计2021年公司实现扣非归母净利润为4.17-4.60亿元，同比增长181.76-210.81%。 支撑评级的要点Q4单季度净利润同比大幅增长，产品结构优化推动盈利提升。按照21Q3公布业绩推算，21Q4预计实现归母净利润为1.11-1.54亿元，同比增长79.03%-148.39%，环比变动为-31.90%至-5.52%；21Q4预计实现扣非归母净利润为0.97-1.40亿元，同比增长193.94%-324.24%，环比变动为-44.89%至-20.45%。 四季度盈利大幅增长，符合测试行业高景气和公司产能提升的综合结果预期。截至Q3公司的存货金额1.59亿元和合同负债1.40亿元分别同比增长149%和265%，预计在手订单大幅提升。而目前公司的天津产业化基地已正式启用，8200系列优势产品的产能得到保证，8300系列产品加速市场渗透，产品结构优化为公司业绩增长提供动力。同时，公司产能提升形成较好的规模效应，成本端控制确保确定性盈利。 公司拥有雄厚的客户基础。公司在全球发货机台数量已超4000台，大规模的装机存量形成深厚的客户粘性，在晶圆制造环节（台积电、意法半导体、华润微等知名厂商）、IC设计环节（矽力杰、MPS、圣邦微等）、封测环节（长电科技、通富微电、华天科技等国内三大封测厂）均有进入头部客户。 雄厚的客户基础叠加测试设备需求高企，公司产品销售有望持续扩大。 封测设备行业景气高企，国际品牌业绩保持高增长。全球芯片需求热情不减，在数字化转型、单位硅含量提升等趋势下，测试需求显著提升且测试要求也随之提高。SEMI预测2021年测试设备市场空间同比增长26%达76亿美元，表明测试设备需求正加速增长，且高附加值产品需求也在增长。根据Besi、K&S、泰瑞达的公司公告，封装设备龙头Besi、K&S去年第四季度收入同比增长70%以上，测试设备龙头泰瑞达单季度收入增长40%左右。 盈利预测鉴于公司产品持续全球客户的渗透，产能充足，测试行业景气高企，上调21-23年净利润预测分别为4.41/6.38/8.46亿元，维持买入评级。 评级面临的主要风险零部件供应不足，国际边缘政治的不确定性，研发投入不及预期。

公司发布2021长年业绩预告，预计全年业绩增长47%-72%。公司丝网印刷设备保持龙头地位，HJT设备进展积极，订单大幅增长；维持买入评级。 支撑评级的要点2021年盈利预计增长47%-72%符合预期：公司发布2021年业绩预告，预计全年盈利5.80-6.80亿元，同比增长47.05%-72.40%，其中非经常性损益（主要为公司收到的政府补助资金）对公司净利润的影响金额约为4,000万元左右。公司2021年度预告业绩符合预期。 PERC电池扩产兑现，公司毛利率提升：受益于前期单晶PERC电池片产能扩张，2021年公司主营产品太阳能电池丝网印刷设备销量稳步上升，同时公司整体销售毛利率同比有所增长，共同推动公司业绩较快增长。 HJT设备进展积极，整线设备加速验证：公司积极推进HJT高效电池产业化，在原有丝网印刷设备的基础上完善改进了HJT丝网印刷设备，通过自主研发陆续突破核心工艺环节非晶硅薄膜沉积、TCO膜沉积所需的PECVD设备和PVD设备，并通过参股子公司吸收引进日本YAC的制绒清洗技术，具备了行业领先的HJT设备整线供应能力。2021年公司中标金刚玻璃、安徽华晟、通威金堂项目等多个HJT项目，亦收到来自REC的400MW整线设备订单。 订单增速亮眼，产能扩张提速：截止2021年9月底，公司HJT设备在手订单超过18亿元，相比于2021年年初体量大幅增长，预计2021年底在手订单量有进一步提升。公司2021年非公开发行股票事项已完成，募集资金总额28.12亿元，其中拟投资23.12亿元新建HJT电池设备制造基地，项目建成达产后可实现年产PECVD、PVD及自动化设备各40套。 估值在当前股本下，我们将公司2021-2023年预测每股收益调整至5.77/7.94/11.15元（原预测摊薄每股收益为5.36/7.45/10.19元），对应市盈率94.3/68.5/48.8倍；维持买入评级。 评级面临的主要风险新产品研发不达预期；新冠疫情影响超预期；光伏政策风险；下游扩产需求低于预期；设备价格竞争超预期；新技术路线替代进度不达预期。