2021年：业绩增长 100%；预计 2022年公司半导体设备订单突破 30亿元1）2021年业绩：实现营收 59.9亿元，同比增长 56%。归母净利润 17.1亿元，同比增长 99.5%。 2022年公司计划努力实现营收破百亿目标。 2）盈利能力：毛利率 39.7%、同比提升 3.1pct，主要受益于公司成本端持续优化。净利率 29%、同比提升 6.6pct，期间费用率持续优化。 3）在手订单：200.85亿元（含税），同比增长 242%。其中，半导体设备在手订单 10.68亿元（含税），同比增长 174%。随着过去几年公司半导体设备在下游客户验证、并形成销售，2022年公司目标实现半导体设备及服务新签订单超 30亿元（含税），将成为公司订单重要增长点。 4）存货：达 60.5亿元，同比增长 135%。其中发出商品占存货比重达 76%（对应 46亿元）。 5）研发投入：3.5亿元，同比增长 56，占营收比 5.9%。 2021年公司经营核心亮点：光伏/半导体设备、蓝宝石/碳化硅材料齐发力1）光伏设备：受益于大尺寸技术迭代，公司光伏设备订单创历史新高。目前头部硅片厂单 W 盈利仍接近 1毛左右，我们预计 2022年硅片扩产潮仍将延续，公司光伏设备订单有望保持稳健。 2）半导体设备：公司首台 12英寸硬轴直拉硅单晶炉成功生长出 12英寸单晶硅棒；并在 12英寸大硅片设备领域陆续研发了减薄设备、双抛设备、最终抛设备，设备性能达到国际先进水平，并已取得客户验证阶段通过。 3）碳化硅材料：与客户 A 形成采购意向，2022年-2025年将优先向其提供碳化硅衬底合计不低于 23万片。公司已组建原料合成+长晶+切磨抛的中试产线,完成 6-8英寸热场和设备开发。 4）蓝宝石材料：已成功生长出全球领先的 700Kg 级蓝宝石晶体。 2022年 Q1：业绩同比增长 57%；在手订单达 222亿元、持续高增1）一季报业绩：实现营收 19.5亿元，同比增长 114%。归母净利润 4.4亿元，同比增长 57%。 2）盈利能力：毛利率 39.9%、同比下降 3.6pct；净利率 23.6%、同比提升 2.2pct。 3）在手订单：222.37亿元（含税），同比增长 113%。其中，半导体设备在手订单 13.43亿元（含税），同比增长 140%。 投资建议：看好公司在光伏、半导体、蓝宝石、碳化硅领域未来业绩接力放量预计公司 2022-2024年归母净利润为 27.8/35.4/44.4亿元，同比增长 62%/27%/26%，对应 PE 为20/18/14倍。维持“买入”评级。 风险提示：半导体设备研发进展低于预期；光伏下游扩产不及预期。

2021年业绩：同比增长129%；盈利能力高增、在手订单同比增长77%1）2021年业绩：实现营收20.5亿元，同比增长79%；归母净利润3.55亿元，同比增长129%。 2）收入结构：光伏设备占比84%（其中主要为组件串焊机设备，2021年销售1144台，预计对应约114-143GW，保持高市场份额），锂电设备占比5%，改造及其他业务占比11%。 3）盈利能力提升显著：毛利率37.7%、同比+1.6pct，净利率18%、同比+4.4pct，主要因期间费用率优化、信用减值损失减少所致。其中单2021年Q4季度，毛利率37%、环比-1pct，净利率23.3%、环比+7pct，主要因期间费用率优化、递延所得税资产抵扣、及对外投资增值所致。 4）研发投入大幅增加：2021年研发费用达1.5亿元、占营收7.1%，同比增长108%。 5）在手订单：截止2021年四季度末，公司在手订单达42.6亿元，同比增长77%。全年新签订单42.8亿元，同比增长61%。其中单2021年Q4季度新签订单14.2亿元，同比增长61%。 6）2021年公司经营核心亮点：组件设备：公司SMBB 串焊机获晶科、华晟订单，满足HJT、TOPCon 组件大幅降本需求。电池设备：公司烧结退火一体炉（光注入）取得的大额订单。硅片设备：公司单晶炉已获披露订单，N 型单晶炉建顺利。半导体设备：键合机已获下游头部客户通富微电批量订单。锂电设备：锂电模组/PACK 生产线首次取得单一订单金额超过1亿元。 半导体键合机：获通富微电批量订单；国产替代空间广阔，有望再造一个奥特维1）据公司官方微信公众号。公司获通富微电子批量铝线键合机订单。通富微电为公司首批试用客户，经过一年多的测试验证，公司产品在产能、精度、良率、稼动率和稳定性等关键技术指标上均达到国外同类设备水平。 2）此前在2021年11月，公司已收获无锡德力芯（第一家试用客户）首批数台设备订单。此次，公司在半导体封测头部客户（通富微电为全球第5大半导体封测厂）得到认可、拿下批量订单，预计公司键合机业务未来进展有望提速。 3）市场空间：据中国海关数据，2021年我国半导体键合机进口额约16亿美金（约100亿元），为光伏串焊机市场空间2倍以上。公司为国内进口替代首家，如进展顺利有望再造一个奥特维。 投资建议：看好公司光伏、半导体、锂电设备领域未来5年业绩接力放量预计公司2022-2024年归母净利润至5.6/7.5/9.2亿元，同比增长50%/34%/23%，对应PE 为33/24/20倍。维持“买入”评级。 风险提示：光伏下游扩产不及预期；半导体设备研发进展低于预期。

半导体键合机：获通富微电批量订单；国产替代空间广阔，有望再造一个奥特维 1）据公司官方微信公众号。公司获通富微电子批量铝线键合机订单。通富微电为公司首批试用客户，经过一年多的测试验证，公司产品在产能、精度、良率、稼动率和稳定性等关键技术指标上均达到国外同类设备水平。 2）此前在2021年11月，公司已收获无锡德力芯（第一家试用客户）首批数台设备订单。此次，公司在半导体封测头部客户（通富微电为全球第5大半导体封测厂）得到认可、拿下批量订单，预计公司键合机业务未来进展有望提速。 3）市场空间：据中国海关数据，2021年我国半导体键合机进口额约16亿美金（约100亿元），为光伏串焊机市场空间2倍以上。公司为国内进口替代首家，如进展顺利有望再造一个奥特维。 短期：受益于光伏行业多重技术变革，设备迭代加速（仅1.5-2年）。公司为串焊机70%市占率龙头，充分受益。同时，公司布局光伏单晶炉、价值量是串焊机6倍，打开业绩成长空间。 中长期：公司平台化布局，打开业绩第二成长曲线。公司半导体键合机设备进展顺利，已收获批量订单，有望在未来2-3年接力光伏设备放量。锂电设备订单提速，覆盖核心优质客户。 2022年股权激励计划：半年内再发股权激励，上调业绩考核目标，彰显公司信心 1）发布2022年股权激励方案：拟授予95万股限制性股票，授予价格110元/股。激励对象占员工总数的39%。公司近半年已连续发2次股权激励，激励人员覆盖面广、绑定公司核心成员。 2）上调激励业绩解锁条件：以2021年为基数，2022-2024年增长分别不低于50%/100%/150%。对应扣非归母净利润分别为4.3/6.3/8.1亿元，同比增长34%/46%/30%。较此前股权激励计划，2022-2024年保底扣非归母净利润分别上调0.47/0.94/1.7 亿元，彰显公司未来发展信心。 2021年业绩超预期：同比增长129%、超业绩预告上限；订单持续高景气 1）2021年业绩：实现营收20.5亿元，同比增长79%；归母净利润3.55亿元，同比增长129%，超过业绩预告上限，净利率达17.3%（同比+3.7pct），业绩、盈利能力超预期。 2）在手订单：截止2021年三季度末，公司在手订单达36.25亿元（含税），同比增长55%。叠加2021年Q4公司公告订单，预计2021年末在手订单超40亿元（2020年底在手为24亿元）。 投资建议：看好公司光伏、半导体、锂电设备领域未来5年业绩接力放量 预计公司2021-2023年归母净利润至3.6/4.7/6.3亿元，同比增长129%/32%/34%，对应PE为59/45/33倍。维持“买入”评级。 风险提示：光伏下游扩产不及预期；半导体设备研发进展低于预期。

事件3 月10 日，公司发布10 亿定增预案：5 亿拟投向顺德高端家具装备智能制造基地，4亿投向家具机器人自动化生产线制造基地建设项目，剩余用于补充营运资金。其中，董事长李茂洪拟认购1.5 亿元-4 亿元。 投资要点公司发布10 亿定增预案，拟通过智能化改造扩大规模优势顺德制造基地：主要用于建设具备国际领先技术水平和竞争力的五轴加工中心、自动化柔性木门和木窗等智能化生产线，未来将进一步增资扩能布局，打造高端木工装备产业集聚区。该项目建成达产后，预计将实现年产1 万台（套）裁板锯、数控钻等高端家具制造装备的生产能力。 机器人自动化生产线：计划购置先进的智能数控设备，引进机器人应用系统集成技术，着力建设先进的自动化、柔性化智能制造生产线，进一步提升公司核心零部件自制和数控家具装备生产等方面的智能制造水平。该项目建成达产后，预计将实现年产2 万台(套)智能封边机及其自动化产线等高端家具装备的生产能力。 公司产能持续投放提升市场份额；海外市场有望成为未来强劲增长点随着公司产能顺利爬坡，订单排产周期回归正常水平。玛斯特项目达产后公司产能可达约25 亿元；子公司丹齿精工一期新厂已落地，将进一步协调提高生产效率；佛山顺德制造基地有望在2023 年进入投产，满产后预计释放25 亿增量产能；广东增城新增土地进一步推动扩产，市占率有望进一步提升。 随着海外国家逐渐解封，国外市场需求恢复增长，公司前三季度出口订单增速达80%以上。公司在俄罗斯、乌克兰的销售团队前三季度完成营收超9,000 万元，2021 年有望实现营收超1 个亿。公司积极布局欧美渠道，拓展海外市场空间，海外市场有望成为未来新的增长点。 房地产竣工有望迎来复苏拐点，产业链需求边际改善央行降准后信贷迎来边际改善，房地产贷款政策最严时期已过。房贷投放力度有望增强，购房需求得以释放，住宅销售和竣工面积有望开启新一轮增长。家具行业具备地产后周期属性，地产竣工回暖将带动家具行业景气度向上，有利于板式家具机械投资需求提升。 盈利预测与估值预计2021-2023 年收入为24、31、40 亿元，同比增长42%/30%/28%；归母净利润为5.4、6.8、8.7 亿元，增长52%、27%、27%；对应当前PE 为14/11/9 倍，维持“买入”评级。 风险提示宏观经济及制造业投资增速低于预期；原材料价格大幅波动；行业竞争格局恶化

光伏HJT 设备：首台微晶PECVD 入驻晋能；目标转换效率25%+；建HJT 中试线1）据公司官方微信公众号，近日公司首台微晶HJT PECVD 设备运抵晋能科技，攻克了“大面积高沉积速率”的PECVD 微晶镀膜产业化难题，将推进HJT 电池量产转换效率迈向25%+。 2）此前2021年12月，公司非晶HJT 用PECVD 设备已获晋能产线验证，生产的166尺寸电池片平均效率已达24.38%，最优批次平均效率达24.55%，处于行业领先水平。在此基础上，公司和晋能再次深化合作，将共同合作开发“基于微晶的HJT 太阳能电池PECVD 工艺”。（注：晋能是国内最早进入HJT 电池行业企业，此前采用应用材料PECVD 设备）3）技术趋势：目前光伏HJT 行业以非晶PECVD 设备为主，量产平均转换效率在24.5%上下。如在现有工艺的基础上导入微晶化工艺，将提升电池的电导率、大载流子迁移率、以及更高的透光性，有望将HJT 电池的量产转换效率突破25%（单面微晶）、25.5%（双面微晶）。 4）下游已开始布局微晶：2月25日金刚玻璃全球首条600MW 的HJT 微晶联动试运行顺利完成，进入量产准备阶段。3月1日安徽华晟二期2GW 项目已进入了安装调试与投产阶段，其中包括单线500MW 以上的异质结单面微晶产能，并计划在未来三期扩产使用双面微晶技术。目前行业已对HJT 电池转换效率提出更高的要求（量产效率>25%），微晶量产技术导入市场迫在眉睫。 5）建HJT/TOPCon 中试线，加速研发。目前研发实验室已经进入厂务施工阶段，预计全线设备将于五月初搬入并正式启用。包括：转换效率25%以上高效电池工艺和装备技术（包括：双面微晶HJT，TOPCON，新的金属化方案等）和少银化无银化组件技术和装备等。 6）技术实力：公司与德国H2GEMINI（核心成员曾就职应用材料、梅耶博格、施密德等）合资设金辰双子，技术实力+股权机制行业领先，PECVD 设备具有产能大、成本低等优点，进展有望超市场预期。公司已发3.8亿定增用于研制光伏异质结PECVD 设备、将形成设备年产能20台。 股权激励授予完成：绑定公司核心人员；今明年业绩提速，要求同比增长50%/60%公司股权激励已授予完成。其中股票期权占本次总激励授予比例的73%，行权价117.13元/股。 激励业绩目标值：2021-2023年业绩目标值分别为1/1.5/2.4亿元，同比增长20%/50%/60%。 公司2022年业绩提速，判断增量主要来自光伏电池片设备（包括TOPCon 设备和异质结设备）。 盈利预测预计公司2021-2023年净利润为1/1.7/2.5亿元，同比增长25%/65%/45%，对应PE 为87/52/36倍。考虑到公司光伏异质结设备的稀缺性，维持“买入”评级。 风险提示：光伏需求低于预期；异质结电池推进速度不达预期；下游扩产不及预期。

北方华创：较全球行业龙头应用材料被低估，市值具提升空间 在国内半导体市场肥沃的土壤上，以及国内与美国半导体设备行业相似竞争格局。半导体设备作为半导体产业发展基石，国内半导体设备龙头成长速度有望远高全球行业龙头，市值逐步向龙头看齐。我们认为，北方华创合理市值具提升空间，较全球行业龙头被低估。本文我们将通过多个维度指标，探讨北方华创估值的合理性。 如何看待行业周期性波动对于半导体设备公司的估值影响？可适当弱化 1）过去50年间半导体行业经历5代变革，行业周期性波动明显。半导体设备作为下游需求的二阶导，周期性更为显著。市场担心行业周期性对半导体公司估值的影响。 2）我们通过对比3家半导体设备龙头公司（应用材料、拉姆研究、阿斯曼）市值走势,随着半导体设备龙头在细分设备领域市占率的持续提升、以及对行业先进制程的推动，受行业周期性波动影响明显缩小，市场愿意给予更高的估值溢价空间。 3）我们认为北方华创作为国内平台型半导体设备龙头企业，未来有望复制北美半导体设备龙头市占率提升（国产替代）、多元产品平台化布局（平台型公司）业务趋势。在考虑北方华创估值的过程中，可适当弱化行业需求周期性波动对于公司估值的影响。 如何看待北方华创的合理市值区间？市值比（与应用材料）中枢具上行空间 1）参考国内外半导体设备竞争格局，我们认为公司应与应用材料为锚，进行对标分析。2017年至今，北方华创市值上涨超12倍、应用材料市值上涨约3.5倍，市场担心北方华创市值短期提升空间有限。但我们发现，公司上涨的核心驱动因子更多来自于行业景气度提升带来的beta行情，而非市场给予公司半导体设备龙头公司的估值溢价。 2）我们建立3大指标进行分析：发现过去6年营收比Ratio增长3.9倍，国内半导体设备销售额Ratio增长3.3倍。但北方华创/应用材料市值比Ratio仅提升3.6倍，且近3年维持在9%-28%之间的横盘震荡，目前在18%中枢分位。在行业Beta+公司Alpha双轮驱动（过去5年中国半导体设备销售额平均增速较全球高17.4%,北方华创营收平均增速较应用材料高出35.3%），我们认为，理论市值比中枢具向上提升空间。 投资建议：目前市值比Raito在18%分位，具向上提升空间 预计2021-2023年营收98/142/201 亿元，同比增长61%/45%/42%，年复合增速49%。过去3年北方华创/应用材料市值比维持在9%-28%之间的横盘震荡区间，中枢（18%）并未明显上移，我们认为市值比具向上提升空间。维持“买入”评级。 风险提示：下游扩产不及预期风险；产品研发不及预期风险；贸易摩擦风险。

2022年股权激励计划：半年内再发股权激励，上调业绩考核目标，彰显公司信心1）发布 2022年股权激励方案：拟授予 95万股限制性股票，占股本总额 0.96%，授予价格 110元/股。激励对象 850人（覆盖核心高管、技术人员等），占员工总数的 39%。公司近半年内已连续发 2次股权激励（2021年股权激励方案（草案）发布于 2021年 9月，2021年 10月已授予，覆盖 470人，授予价格 106元/股），激励人员覆盖面广、绑定公司核心成员。 2）上调 2022年激励业绩解锁条件：以 2021年扣非归母净利润（剔除股份支付费用）为基数，2022-2024年增长分别不低于 50%/100%/150%。对应 2022-2024年扣非归母净利润分别为4.3/6.3/8.1亿元，同比增长 34%/46%/30%。在 2021年股权激励计划中，2022-2024年保底扣非归母净利润分别为 3.8/5.3/6.4亿元。本次股权激励计划中，2022-2024年保底扣非归母净利润分别上调了 0.47/0.94/1.7亿元，彰显公司未来发展信心。 2021年业绩超预期：同比增长 129%、超业绩预告上限；订单持续高景气1）2021年业绩：实现营收 20.5亿元，同比增长 79%；归母净利润 3.55亿元，同比增长 129%，超过业绩预告（3.3-3.4亿元）上限，净利率达 17.3%（同比+3.7pct），业绩、盈利能力超预期；单 Q4单季归母净利润为 1.3亿元（净利率达 21%），同比增长 48%，环比增长 49%。 2）在手订单：截止 2021年三季度末，公司在手订单达 36.25亿元（含税），同比增长 55%。叠加 2021年 Q4公司公告的晶科、正泰、宇泽、蜂巢、华晟、协鑫集成、德力芯半导体订单（合计金额预计超 7亿元），预计在手订单超 40亿元（2020年底在手为 24亿元）。 3）新签订单：2021年前三季度，公司新签订单合计达 28.6亿元（含税），同比增长 39%。叠加2021年 Q4公司公告的新签订单统计，预计公司 2021年全年新签订单超 35亿元（2020年新签为 26.7亿元），其中光伏设备订单占比超 9成。 短期：受益于光伏行业多重技术变革，设备迭代加速（仅 1.5-2年）。公司为串焊机 70%市占率龙头，充分受益。同时，公司布局光伏单晶炉、价值量是串焊机 6倍，打开业绩成长空间。 中长期：公司平台化布局，打开业绩第二成长曲线。公司半导体键合机设备进展顺利，已收获首批订单，有望在未来 2-3年接力光伏设备放量。锂电设备订单提速，覆盖核心优质客户。 投资建议：看好公司光伏、半导体、锂电设备领域未来 5年业绩接力放量预计公司 2021-2023年归母净利润至 3.3/4.7/6.1亿元，同比增长 113%/41%/31%，对应 PE 为59/42/32倍。维持“买入”评级。 风险提示：光伏下游扩产不及预期；半导体设备研发进展低于预期。

推员工持股计划：覆盖董事长等核心骨干股；近半年员工持股+股权激励，彰显公司信心2022年2月21日，公司公告2022年员工持股计划（草案）1）募集资金：计划总额不超过1亿元，其中融资金额与自筹资金的比例不超过1:1。按照公司最新收盘价76.38元/股，对应130.92万股，占公司股本总额比例约0.38%。 2）覆盖人员：公司实际控制人余仲（董事长、总经理）、左国军（副董事长、副总经理）分别拟以自筹资金认购1500万份（合计3000万元），占本员工持股计划总份额的60%。有助于调动公司管理层及核心骨干员工的积极性，提高全体员工的凝聚力和公司竞争力。 3）股票来源：待本员工持股计划通过后6个月内，通过二级市场购买、协议转让等形式。 4）锁定期：12个月，自公司公告最后一笔标的股票登记过户至资管/信托产品名下之日起算。 2021年10月，公司已推股权激励计划：授予限制性股票58.9万股，占公司股本总额的0.17%，覆盖核心管理及技术骨干人员123人，业绩考核目标为以2020年净利润为基数，2021-2023年净利润增长不低于30%/60%/80%，年化CAGR=21.6%。授予价格为60元/每股，已于2021年11月18日授予。近半年公司连续推员工持股++股权激励计划，彰显公司未来发展信心。 光伏异质结设备：期待公司异质结式管式PECVD、RPD设备突破11））公司RRDPD。设备在下游客户隆基使用顺利。2021年10月，隆基宣布其异质结电池效率达26.3%（经ISFH验证），再创历史新高，其中试线采用捷佳RPD设备。目前公司量产设备RPD5500A业已完成量产优化升级，PAR产品（PVD+RPD）已经完成初步中试。 2）公司首批管式异质结DPECVD工艺的电池顺利在常州HHTJT中试线下线，管式PECVD具投资成本低、占地面积小、开机率高、维护保养成本低等特点。公司预计在2021年下半年把每GW异质结设备投资降到3.5亿以下，促进HJT行业需求大幅增长，进一步推动异质结行业降本。 伏光伏TOPCon设备：签与润阳签TOPCon整线改造订单近；相关订单中标总量近30GW1）据公司官方公众号：2021年12月公司与润阳签订PERC+升级TOPCon整线改造订单，将提供5GW包括PECVD-Poly设备及新款硼扩散设备在内的核心装备。订单预计今年3月完成出货。 2）据公司投资者交流平台，公司TOPCon电池设备中标的订单总量已近30GW。 盈利预测：看好公司在光伏、半导体来行业未来大发展中战略地位、未来5年的成长性未来5年公司光伏PERC/TOPCon/HJT设备、半导体设备接力放量。预计2021-2023年归母净利润7.5/9.6/11.9亿元，同比增长44%/28%/23%，对应PE为35/28/22倍。维持“买入”评级。 风险提示：异质结电池推进速度不达预期；下游扩产不及预期；下游客户坏账风险。

获晶澳组件设备中标；预计 2021年新签订单超 35亿元、在手订单超 40亿元1）获 1.1亿组件设备中标：据公司公告，公司成功中标曲靖晶澳、合肥晶澳组件设备扩产项目，中标金额达 1.1亿元。此次中标的两款设备（硅片分选机&多主栅划焊联体机），均为公司核心产品，拥有强劲实力及较高市占率（预计公司在光伏组件串焊机领域市占率超 70%）。 2）在手订单：截止 2021年三季度末，公司在手订单达 36.25亿元（含税），同比增长 55%。叠加 2021年 Q4公司公告的晶科、正泰、宇泽、蜂巢、华晟、协鑫集成、德力芯半导体订单（合计金额预计超 7亿元），预计在手订单超 40亿元（2020年底在手为 24亿元）。 3）新签订单：2021年前三季度，公司新签订单合计达 28.6亿元（含税），同比增长 39%。叠加2021年 Q4公司公告的新签订单统计，预计公司 2021年全年新签订单超 35亿元（2020年新签为 26.7亿元），其中光伏设备订单占比超 9成。 4) 2021年业绩预告：预计 2021年为 3.3至 3.4亿元，同比增加 110%-120%。 短期：受益于光伏行业多重技术变革，设备迭代加速（仅 1.5-2年）。公司为串焊机 70%市占率龙头，充分受益。同时，公司布局光伏单晶炉、价值量是串焊机 6倍，打开业绩成长空间。 中长期：公司平台化布局，打开业绩第二成长曲线。公司半导体键合机设备进展顺利，已收获首批订单，有望在未来 2-3年接力光伏设备放量。锂电设备订单提速，覆盖核心优质客户。 公司为组件串焊设备龙头；平台化布局，期待公司光伏、半导体、锂电设备多点开花1）组件串焊机：迎“大尺寸+多主栅+多分片”多技术迭代趋势，组件设备更新迭代周期加速。 公司为组件串焊机设备龙头，市占率达 70%，受益技术迭代，获华晟 HJT 组件设备订单。 2）光伏长晶炉：单晶炉价值量（1.2亿/GW）是串焊机（0.2亿/GW）的 6倍。公司收购松瓷机电、生产 1600及以上直拉式单晶炉、已获 1.71亿订单（含税），打开公司光伏第二成长曲线。 3）半导体设备：公司为铝线键合机国产替代首家企业，已发国内多家封测厂验证，获无锡德力芯首批订单。未来向金、铜线键合机、及上游半导体设备延伸，打开半导体业务成长第二极。 4）锂电设备：公司布局锂电模组+PACK 线，覆盖国内优质锂电客户。2021上半年锂电订单达2020全年水平，业绩有望提速。拟定增投资 5000万加码叠片机等电芯制造设备。 投资建议：看好公司光伏、半导体、锂电设备领域未来 5年业绩接力放量预计公司 2021-2023年归母净利润至 3.3/4.7/6.1亿元，同比增长 113%/41%/31%，对应 PE 为54/38/29倍。维持“买入”评级。 风险提示：光伏下游扩产不及预期；半导体设备研发进展低于预期。