2023年公司营业收入同比+145.82%，归母净利润同比+374.47%，扣非归母净利润同比+779.06%。其中，2023Q4公司营业收入同比+120.8%，归母净利润同比+77.4%，扣非归母净利润同比+57.7%。 事件评论ALD主业市占率保持领先，不断拓展品类，营收、净利润高增。光伏领域，公司ALD设备的市场占有率继续保持领先，产品矩阵不断丰富，提供ALD、PECVD、PEALD、扩散退火等多种定制化产品和TOPCon整线工艺解决方案，实现了对TOPCon产线真空类设备的全覆盖。在TOPCon、XBC、钙钛矿及钙钛矿叠层等电池技术领域均有产品储备、布局和出货。其中，公司应用于XBC和钙钛矿叠层电池的设备获得客户验收，钙钛矿领域获得国内客户百兆瓦级量产设备订单。半导体领域，公司ALD设备保持领先优势，ALD、CVD设备均取得大厂重复订单。 公司积极把握下游光伏、半导体行业市场规模扩大所带来的市场机遇，产品工艺、客户群体覆盖度进一步扩大，光伏、半导体设备领域订单同步高增。2023年度，公司新增订单总额约64.69亿元，是去年同期新增订单的2.96倍。其中，半导体领域新增订单是去年同期的3.29倍，光伏领域新增订单是去年同期的2.92倍。此前公司披露，截至2023年9月30日，公司在手订单70.82亿元（含Demo），全年订单环比2023Q3持续提升。 半导体CVD设备取得重复订单。公司21年开始布局CVD设备，目前已发布PECVD和LPCVD产品，CVD设备于7月成功发货，目前已取得批量重复订单。2023年，公司部分半导体设备成功进入数家行业知名客户产线并实现客户端工艺验证，客户数量进一步增加，已覆盖逻辑、存储、硅基OLED和第三代半导体等细分领域。其中，存储领域客户拓展取得显著成效。根据SEMI统计，ALD约占半导体镀膜设备板块11%，未来复合增长率高达26.3%；PECVD、LPCVD等CVD设备约占半导体镀膜设备的57%，未来复合增长率约为8.9%，新产品将使得公司潜在可触达市场增长四倍。当前半导体ALD设备国产化率几乎为零，随着国产替代加速，预计未来半导体ALD设备将快速实现份额提升。公司切入半导体CVD设备，市场空间广阔，公司也有望取得快速增长，整体来看，公司半导体ALD、CVD业务具有较大弹性。 公司2023Q1末进行股权激励，2023/2024年股权激励费用分别为1.1、0.96亿元，考虑股份支付费用后，预计公司2023-2025年实现净利润2.57/5.20/7.87亿元，对应PE66/33/22倍，继续给予“买入”评级。 风险提示1、新产品研发、验证进度不及预期的风险；2、下游技术发展、扩产规模不及预期的风险。

微导纳米为为ALD设备龙头，依托这一平台型技术拓展光伏&半导体领域的应用。微导纳米成立于2015年，将ALD应用至光伏（2022年收入占比73%）、半导体（2022年收入占比7%）、新型显示等领域。 ALD技术：自限制性优势明显，应用领域广泛。相较于PVD、CVD等薄膜沉积技术，ALD最大的特点在于自限制性，这一特点使其具备薄膜控制精确度高和台阶覆盖率高的优势，特别适合在对薄膜质量要求高和内部结构复杂的领域应用，包括光伏、半导体等。 光伏ALD适用多条技术路线，微导纳米为国内龙头。ALD设备可用于PERC、TOPCon、钙钛矿等，公司均有相应布局，ALD设备市占率领先，并拓展了PECVD、PEALD、扩散退火、TOPCon整线工艺解决方案等，受益于下游扩产，2023年公司光伏领域新签订单为去年同期的2.92倍。 半导体域先进逻辑及存储领域ALD渗透率提升。随着45nm以下先进制程的发展，原来用于成熟制程的PVD、CVD等无法满足部分工序要求，ALD的应用环节逐步拓宽，其膜厚精度控制和高台阶覆盖率的特性适合在45nm以下节点以及复杂的3D结构等领域应用。 （1）逻辑：45nm先进制程下栅介质层适用high-K材料，ALD适用于沉积该种材料，20nm先进制程下器件由MOSFET转向结构更复杂的FinFET，5nm以下向GAAFET转变，ALD高覆盖率的优势显著；（ （2）：存储：3DNAND、DRAM等存储器件的复杂结构需要高深宽比，ALD具备良好的台阶覆盖能力。 存储领域空间更大&头部存储器厂有望重启扩产为，微导纳米为ALD龙龙头充分受益。相较于逻辑，ALD在存储领域具备更大的市场，相近制程下存储所需的ALD设备数量约为逻辑的4-5倍；一线存储厂商2023年受政策影响扩产暂缓，未来随着国产技术突破及国产设备引入，资本开支有望加速，利好国产设备商，目前ALD设备TEL和ASM合计占比约75%，微导纳米为国内ALD领军者，逻辑&存储市场开拓顺利，2023年半导体领域新签订单是去年同期的3.29倍。 依托ALD技术延展性&客户协同性，微导纳米局布局CVD设备。CVD市场空间约为ALD的2-3倍且国产化率仍有待提升，如拓荆科技在PECVD和SACVD市场份额分别为17%和25%，微导纳米进一步拓展CVD设备，进行差异化竞争，以打开更大的市场空间。 盈利预测与投资评级：我们预计微导纳米2023-2025年归母净利润分别为2.8/6.0/8.1亿元，当前股价对应动态PE分别为分别57/27/20倍，首次覆盖给予“增持”评级。 风险提示：光伏下游装机量和扩产不及预期，晶圆厂资本开支下滑的风险，研发进展不及预期。

事件： 10 月 30 日，微导纳米发布 2023 年第三季度报告。公司 2023 年 Q3 实现营收 6.39 亿元，同比增长 178.72%；实现归母净利润 0.87 亿元，同比增长140.32%；实现扣非净利润 0.69 亿元，同比增长 119.93%。 收入利润同比高增。 作为国产 ALD 设备的领军企业， 公司深耕薄膜沉积设备，布局光伏、半导体、柔性电子等下游应用领域。 伴随在手订单陆续实现收入转化、专用设备产品验收数量增长，公司业绩释放， 2023 年 Q3 单季实现营收6.39 亿元，同比增长 178.72%。利润端， 2023 年 Q3 公司毛利率为 41.99%，同比提升 2.95pct； 期间费用率为22.76%。 公司 23Q3 实现归母净利润 0.87 亿元，同比增长 140.32%；实现扣非净利润 0.69 亿元，同比增长 119.93%。公司 Q3 利润大幅增长归因于营业收入的释放，同时设备出货量大幅提升，公司获得相应的软件退税金额增长较多。 未来伴随行业景气度复苏，下游光伏、半导体等领域客户需求提升，公司在手订单量有望稳步增长，业绩维持扩张态势。 多应用领域齐头并进， 设备技术保持领先优势。 公司坚持自主研发创新，已具备原子层沉积反应器设计技术、高产能真空镀膜技术、真空镀膜设备工艺反应气体控制技术等多项核心技术。公司产品线日趋丰富，逐步实现多领域覆盖。在半导体领域，公司以 ALD 为核心拓展 CVD 等多种真空技术和产品，半导体领域设备成为国产首台成功应用于 28nm 节点集成电路制造前道生产线的量产型High-k 原子层沉积设备。在光伏领域，公司持续推进以 ALD 为核心的工艺整线策略和新一代高效光伏电池技术开发。除此之外，公司在依托产业化应用中心平台不断探索先进薄膜沉积技术在其他新兴应用领域的发展机会，多领域、多品类产品有助于降低单行业波动对公司业绩的不利影响，拓展公司的成长空间。 跟进行业发展趋势，产品应用顺利推进。 光伏领域内，公司设备订单量稳步增长，市占率不断提升，产品广泛应用于国内 TOPCon 新建产线，应用于 XBC电池生产线的产品已进入产业化阶段。半导体领域内， iTomic MW 系列批量式原子层沉积镀膜系统实现首台产业化应用。同时公司紧跟市场发展趋势，持续推出定制化高性能产品， 新开发的第一代 iTronix 系列 CVD 薄膜沉积设备已取得客户订单。 投资建议： 我们预计公司 2023-2025 年营收为 15.41/29.71/44.01 亿元，归母净利润为 2.29/3.96/5.94 亿元，对应现价 PE 分别为 82/48/32 倍，我们看好公司在行业内的领先优势，维持“推荐”评级。 风险提示： 下游行业消费需求下行； 技术迭代不及预期； 产品验证不及预期

事项：公司发布2023年三季报。2023年前三季度，公司实现营业收入10.22亿元，同比增长165.30%；实现归母净利润1.55亿元，扣非归母净利润1.15亿元，同比扭亏为盈。 平安观点：光伏+半导体设备同时发力，公司业绩高速增长。公司前三季度实现营收10.22亿元，同比大幅增长165.30%，实现归母净利润1.55亿元，同比扭亏为盈；Q3单季度公司实现营收6.39亿元，同比大幅增长178.72%，实现归母净利润0.87亿元，同比增长140.32%。公司前三季度及Q3单季度业绩实现大幅增长，主要系公司在手订单陆续实现收入转换，专用设备产品验收数量增长所致。 收入快速增长导致期间费用率有所下滑，公司盈利能力大幅提升。2023年前三季度，公司研发费用、管理费用、销售费用、财务费用分别为1.13亿、1.01亿、0.58亿、-0.02亿元，合计2.71亿元，占营收的比例约为26.49%，较去年同期（~39.88%）下降13.40个百分点，主要原因为：2023年前三季度公司研发费用、管理费用、销售费用额虽有所增长，但总体费用额的增长幅度低于收入的增幅，导致公司期间费用率大幅下降，从而助力公司取得了较为可观的利润水平，公司盈利能力初步显现。 公司在手订单充裕，未来业绩增长的确定性强。截止2023年9月30日，公司在手订单70.82亿元（含Demo订单），其中，与2022年1-9月相比，公司光伏在手订单同比增长244.32%，半导体在手订单同比增长412.15%。公司产品主要应用在光伏和半导体两大领域，从在手订单角度看，公司这两大领域的在手订单总体规模及增速都非常可观，侧面反映出下游的旺盛需求以及客户对公司产品的认可，公司较高的在手订单水平为未来业绩的持续增长打下了坚实的基础。投资建议：公司ALD设备起家，且积极拓展CVD设备，逐渐成长为国内薄膜沉积设备龙头企业，产品广泛应用于光伏及半导体领域，卡位优势明显，在手订单饱满，公司业绩长期增长的趋势较为明确。根据公司前三季度业绩以及对行业趋势的判断，我们上调了公司的业绩预测，预计2023-2025年公司净利润分别为1.99亿元（前值为1.37亿元）、4.55亿元（前值为3.61亿元）、6.36亿元（前值为5.15亿元），对应EPS分别为0.44元、1.00元、1.40元，对应2023年10月31日的收盘价，公司在2023-2025年的PE将分别为94.4X、41.4X、29.6X，公司基本面良好，增长潜力较大，维持对公司“推荐”评级。 风险提示：（1）技术迭代及新产品开发风险。技术及应用领域的不断发展促使下游客户对薄膜沉积设备的性能要求不断变化，如果公司未能准确理解下游客户的产线设备及工艺技术演进需求，可能导致公司设备无法满足下游生产制造商的需要。（2）下游需求可能存在波动的风险。公司产品主要应用于半导体和光伏行业，如果半导体产业周期性波动或光伏产业扩产节奏放缓导致对设备的需求降低，可能对公司的经营业绩产生不利影响。（3）国际贸易摩擦加剧的风险。全球产业链和供应链重新调整及贸易摩擦等因素可能导致国外供应商减少或者停止对公司零部件的供应，进而影响公司产品生产能力、生产进度和交货时间，可能对公司的经营产生不利影响。

事件：公司发布 2023年三季报。 23Q3营收利润超预期，光伏、半导体在手订单持续增长23Q3公司实现营收 6.4亿元，同比增长 179%， 归母净利润 8650万元，同比增长 140%，扣非归母净利润 6935万元，同比增长 119%。 23Q1-Q3公司实现营收 10.2亿元，同比增长 165%； 归母净利润 1.55亿元，同比扭亏为盈增长 1.58亿元， 剔除股份支付费用后归母净利润为 2.1亿元，实现利润大幅增长。 合同负债及存货环比继续增长， 2023Q3末合同负债 19.7亿元，环比增长 27%，存货 28.3亿元，环比增长 36%。 新签订单高增长，目前在手订单充足。 23Q3末公司在手订单 70.82亿元（含 Demo 订单），光伏在手订单同比增长 244%，半导体在手订单同比增长 412%。 毛利率保持稳定，费用率环比增加2023Q3毛利率 42.0%， 同比+3pct，环比持平；净利率 13.5%，同比-2.2pct，环比-9.2pct。 净利率下滑主要系 Q3产生股权支付费用 5470万元，影响 Q3净利率水平。 2023Q3费用率环比增加，管理、销售、财务、研发费用率分别为10.0%、 4.6%、 0.4%、 7.7%，同比+4.8%、 1.7%、 0.1%、 -6.1%，环比+3.9%、 -1.4%、 +1.7%、 -3.2%。 随着公司收入规模的增加，规模效应有望逐步显现，释放利润端弹性。 半导体设备：构建 ALD+CVD 双技术平台，受益于国产替代公司形成了 ALD 技术为核心， CVD 等多种真空镀膜技术梯次发展的体系，产品包括 ALD、 PECVD、 LPCVD 设备等。 ALD 设备是先进制程卡脖子设备之一， 2022年 ALD 设备国产化率不足 2%，外部管制趋严国产化需求迫切。公司半导体 ALD 设备处于行业第一梯队， CVD 设备走差异化卡位策略， 2023年 7月首台 CVD 设备已发货至客户端。国产化率提升+品类扩张双驱动，公司半导体业务弹性大。 光伏设备：持续丰富产品线， TOPCon 整线+xBC+钙钛矿叠层电池接力发展公司持续丰富光伏产品线，率先将 ALD 技术规模化应用于国内光伏电池生产线，开发了行业内首条 GW 级 PE-PolyTOPCon 电池工艺整线并推出二代工艺。新一代电池方面，公司应用于 BC 电池的 ALD 设备已出货隆基、爱旭，钙钛矿/异质结叠层电池设备已开发实现， 新型电池设备有望接力发展。 盈利预测： 预计 2023-2025年营收为 15.0、 33.8、 44.9亿元，同比增长118%、 126%、 33%， 归母净利润 1.7、 4.4、 5.9亿元，同比增长 217%、153%、 35%， 对应 PE 为 1 14、 45、 34倍， 维持“增持”评级。 风险提示：新产品验证进度不及预期风险、国内市场竞争加剧的风险、外部半导体管制加剧风险

事件：公司发布 2023年前三季度业绩预告，预计 2023年前三季度营业收入9.7-10.7亿元，同比增长 152%至 178%。 单三季度营收增长超预期，在手订单充足保障业绩23Q3预计营收 5.9-6.9亿元，同比增长 156%-200%， 23Q3营收中值 6.4亿元，同比增长 179%。 23年上半年新签订单高增长，目前在手订单充足。截至 23H1，公司在手设备订单约 62.5亿，其中光伏设备订单 56.2亿，半导体设备订单 5.5亿元。据我们测算，上半年公司光伏设备新增订单约 40亿，半导体设备新增订单约 3亿。 半导体设备：构建 ALD+CVD 双技术平台，已推出多款 CVD 设备公司形成了 ALD 技术为核心， CVD 等多种真空镀膜技术梯次发展的体系，产品包括 ALD、 PECVD、 LPCVD 设备等。 ALD 设备方面， TALD、 PEALD均有成熟机型，布局开发了多种沉积材料，已在逻辑、存储、化合物、新型显示领域获得订单，未来有望继续多点开花。已推出多款 CVD 设备，PECVD 设备可沉积 SiO2、 SiN、 Lok 等， LPCVD 设备可沉积 SiGe、 p-Si、dopeda-Si、 SiO2、 SiN 等。 2023年 7月首台 CVD 设备已发货至客户端。 光伏设备：持续丰富产品线， TOPCon 整线+xBC+钙钛矿叠层电池接力发展公司持续丰富光伏产品线，率先将 ALD 技术规模化应用于国内光伏电池生产线，开发了行业内首条 GW 级 PE-PolyTOPCon 电池工艺整线并推出二代工艺。新一代电池方面，公司应用于 BC 电池的 ALD 设备已出货隆基、爱旭，钙钛矿/异质结叠层电池设备已开发实现， 新型电池设备有望接力发展。 半导体薄膜沉积设备国产化率低，外部制裁下国产替代需求迫切ALD 设备是先进制程核心设备之一，美国、荷兰均将 ALD 设备纳入管制半导体出口管制范围，当前国产化需求迫切。 2022年 ALD 设备国产化率不足2%，外部管制趋严国产化率有望加速提升。随着公司由 ALD 向 CVD 设备扩张，公司可覆盖的国内市场空间由 50亿元扩展至 300亿元市场。国产化率提升+品类扩张双驱动，公司半导体业务弹性大。 盈利预测： 预计 2023-2025年营收为 15.0、 33.8、 44.9亿元，同比增长118%、 126%、 33%， 归母净利润 1.5、 3.9、 5.3亿元，同比增长 182%、157%、 34%， 对应 PE 为 122、 48、 36倍。 维持“增持”评级。 风险提示：新产品验证进度不及预期风险、国内市场竞争加剧的风险、外部半导体管制加剧风险

ALD 设备龙头企业，光伏、半导体业务共同成长。公司成立于 2015年，核心业务为先进微纳米薄膜沉积设备的研发与应用，主要产品 ALD 设备可广泛应用于下游光伏、半导体、柔性电子等领域，2022年 12月公司在科创板上市。业绩方面，2018-2022年，公司营收从 0.42亿元增长到 6.85亿元，年复合增长率为 101.0%，2023年上半年，公司营收为 3.82亿元，同比增长 145.5%，公司业绩增长势头迅猛。此外，公司 IPO 募投项目预计将新增年产 120台光伏、柔性电子领域的 ALD 设备以及年产 40套半导体 ALD 设备的产能，助力公司业绩持续快速增长。 ALD 设备性能优异，国产替代空间广阔。ALD 通过脉冲前驱体化学气相反应实现单原子层级薄膜沉积，具备精确的膜厚控制能力以及优秀的台阶覆盖率，在光伏、半导体制造工艺中有广泛应用。光伏领域，国产 ALD厂商已基本实现国产替代并在国际竞争中占据优势；半导体领域，目前ALD 设备国产化率极低，国内市场主要被 ASM、TEL 等国外厂商占据，国产替代空间广阔。 受益 N 型电池扩产，公司光伏业务有望持续高增。N 型电池加速扩产，TOPCon、HJT 等路线需求明确，薄膜沉积设备在 TOPCon、HJT 等路线价值占比较高，上游光伏设备公司深度受益。公司率先将 ALD 设备规模化应用于国内光伏电池产线中，拥有 ALD、PECVD、扩散退火炉以及TOPCon 电池工艺整线等丰富的产品组合，稳居国内领先地位，且公司光伏镀膜产品在产能、均匀性、碎片率等指标上也颇具竞争优势，与国内头部光伏厂商形成了长期合作伙伴关系，得到了客户的广泛认可。随着新一代太阳能电池技术扩产节奏逐渐进入白热化阶段，对光伏 ALD 设备的需求旺盛，公司光伏业务将持续受益。 半导体先进技术蓬勃发展，叠加国产化替代需求，公司半导体 ALD 设备有望加速放量。半导体先进技术如 HKMG、多重曝光、先进 DRAM、高 堆叠层数 3D NAND 等对半导体 ALD 设备产生了的可观的需求，市场规模稳步增长，且目前美国对华制裁不断加剧，国产化替代主线坚挺，在先进技术快速发展及国产化替代趋势的背景下，国内 ALD 设备厂商深度受益。公司半导体 ALD产品产业化进程迅速，已率先将 High-k 栅氧薄膜工艺应用于逻辑 28nm 制程，并获得客户重复订单，同时公司后续推出的应用于逻辑芯片、传统和新型存储芯片、CMOS 芯片、MEMS 等领域的多款 ALD 设备也陆续取得客户订单，未来半导体业务板块将成为公司业绩提升的重要发力点。 在手订单充裕，业绩增长确定性强。截止 2023年中，公司在手订单共计 62.53亿元，其中光伏设备订单 56.21亿元，半导体设备订单 5.48亿元，其他设备订单 8461万元，公司在手订单充裕，且增速迅猛，后劲十足，未来业绩快速增长的确定性强。 投资建议：公司是国内 ALD 设备龙头，CVD 设备也在积极布局，产品可广泛应用于光伏、半导体、柔性电子等领域，产品性能卓越，客户资源优质，近年业绩快速增长。光伏业务方面，公司在手订单充沛，新技术布局丰富，未来有望持续受益于光伏电池片的扩产；半导体业务方面，公司技术与产业化能力在国内较为稀缺，产品在逻辑、存储等诸多领域均取得客户订单，未来有望持续受益国产化替代浪潮。我们预计公司 2023-2025年 EPS 分别为 0.30元、0.79元和 1.13元，对应 9月 14日收盘价的 PE 分别为 149.4X、56.5X、39.6X。公司产品类别丰富，技术竞争力强，我们持续看好公司的发展，首次覆盖，给予“推荐”评级。 风险提示：1、技术迭代及新产品开发风险。技术及应用领域的不断发展促使下游客户对薄膜沉积设备的性能要求不断变化，如果公司未能准确理解下游客户的产线设备及工艺技术演进需求，可能导致公司设备无法满足下游生产制造商的需要。2、下游需求可能存在波动的风险。公司产品主要应用于半导体和光伏行业，如果半导体产业周期性波动或光伏产业扩产节奏放缓导致对设备的需求降低，可能对公司的经营业绩产生不利影响。3、国际贸易摩擦加剧的风险。全球产业链和供应链重新调整及贸易摩擦等因素可能导致国外供应商减少或者停止对公司零部件的供应，进而影响公司产品生产能力、生产进度和交货时间，可能对公司的经营产生不利影响。

事件：公司发布2023年半年报。 中报营收利润高速增长，23Q2利润率大幅提升23H1公司实现营业收入3.82亿，同比增长146%；归母净利润6858万，同比扭亏为盈（去年同期亏损3925万）；扣非归母净利润4550万，同比扭亏为盈（去年同期亏损4931万）。23Q2公司实现营收3.06亿，同比增长1204%，环比增长304%；归母净利润6966万，同比扭亏为盈（去年同期亏损4186万）；扣非归母净利润4805万。2023H1光伏设备实现收入3.3亿，同比增长135%，半导体设备实现收入1667万元，同比增长251%。利润端看，公司23H1毛利率、净利率分别为43.0%、17.9%，较22年分别增长0.7、10pct，净利率实现大幅提升。 半导体+光伏设备双轮驱动，在手订单充足业绩增长可期受益于半导体领域客户拓展、新品类驱动，以及光伏领域TOPCon等新型电池技术扩产，公司半导体和光伏新签订单实现高增长。截至23H1，公司在手专用设备订单约62.53亿，其中光伏设备订单56.21亿，半导体设备订单5.48亿元，其他设备订单8461万。根据公司年报披露，22年末公司在手订单22.93亿元，其中光伏设备19.67亿，半导体设备2.57亿，其他设备6881万。我们测算，上半年公司光伏设备新增订单约40亿，半导体设备新增订单约3亿。 半导体设备：品类扩张+国产化率提升双驱动，业务弹性大公司形成了ALD技术为核心，CVD等多种真空镀膜技术梯次发展的体系，产品包括ALD、PECVD、LPCVD等。TALD设备适用于High-k栅氧层、MIM电容器绝缘层、TSV介质层及金属化等薄膜工艺需求，已实现产业化应用。批量式原子层沉积镀膜系统实现首台产业化应用，该设备可一次处理25片12英寸晶圆，进一步扩宽公司工艺应用覆盖面。PECVD设备可沉积SiO2、SiN、Lok等薄膜，LPCVD设备可沉积SiGe、p-Si、dopeda-Si、SiO2、SiN等薄膜。目前CVD设备已获得客户订单，设备验证进展顺利。 光伏设备：持续丰富产品线，TOPCon整线+xBC+钙钛矿叠层电池接力发展公司持续丰富光伏产品线，率先将ALD技术规模化应用于国内光伏电池生产线，开发了行业内首条GW级PE-PolyTOPCon电池工艺整线并推出二代工艺。 新一代电池方面，公司应用于BC电池的ALD设备已出货隆基、爱旭，钙钛矿异质结叠层电池设备已开发实现，未来新型电池设备有望接力发展。 盈利预测：预计2023-2025年营收为14.0、33.8、44.9亿元，同比增长105%、141%、33%，归母净利润1.19、3.63、5.13亿元，同比增长119%、206%、41%，对应PE为184、60、42倍。维持“增持”评级。 风险提示：新品验证不及预期风险、市场竞争加剧的风险、半导体管制风险。

事件概况微导纳米于2023年8月30日发布2023年半年度报告：2023年上半年公司实现营业收入3.82亿元，同比增加145.53%；实现归属于母公司所有者的净利润为6,856.72万元，与上年同期相比实现扭亏为盈；毛利率为43.17%，同比增长8.73pct；净利率为17.95%，较去年全年7.91%大幅增长，主要是营收增长后费用率摊薄，研发费用率从20.22%下降至16.72%，及其他收益中增值税退税增长。 2023年二季度，公司实现营业收入3.06亿元，同比增长1,204.27%，实现归属于母公司所有者的净利润6,965.62万元，同比增长7,074.53万元；毛利率为41.95%，同比下滑9.57pct，环比下滑5.26pct；净利率为22.74%，环比增加24.18pct。 在手订单充沛，业绩高增有保障分业务来看，2023年上半年，公司光伏设备业务实现收入3.31亿元，占比86.55%，同比增长131.33%；半导体设备业务实现收入0.17亿元，占比4.36%，同比增长250.95%；配套产品及服务业务实现收入0.34亿元，占比8.94%，同比增长351.32%。 公司业务量不断扩大，在手订单金额持续增长。截止至2020年6月30日，公司在手专用设备订单约62.53亿元，其中光伏设备订单56.21亿元，半导体设备订单5.48亿元，其他设备订单8,461万元。截至2022年6月末，公司存货20.90亿元，较年底增加114.29%；合同负债15.54亿元，较年底增加148.53%，后续业绩高增有保障。 新品进展顺利，应用领域不断拓宽半导体：从ALD向CVD拓展，产品不断推新。ALD：公司加速推进现有产品的产业化验证工作，公司iTomicMW系列批量式原子层沉积镀膜系统实现首台产业化应用，该设备可一次处理25片12英寸晶圆，具备高产能及良好性能指标，进一步扩宽了公司工艺应用覆盖面。CVD：公司新开发的第一代iTronix系列CVD薄膜沉积设备已取得客户订单，并在极短时间内出货至客户端进行产业化验证。 光伏：凭借开发行业内首条GW级PE-PolyTOPCon电池工艺整线的技术优势，公司推出了全新的TOPCon2.0整线工艺技术解决方案，TOPCon2.0管式PETox+PE-poly四合一的各项技术指标达到了行业先进水平。 投资建议考虑到费用结构改变，我们微调预测公司2023-2025年营业收入分别为18.57/31.81/44.12亿元，归母净利润分别为1.61/3.64/5.59亿元（前值为1.76/3.80/5.83亿元），以当前总股本4.54亿股计算的摊薄EPS为0.35/0.80/1.23元。公司当前股价对2023-2025年预测EPS的PE倍数分别为139/62/40倍，考虑到公司在ALD领域具有领先优势，且在光伏及半导体领域拓展具备较大业绩弹性，保持“增持”评级。 风险提示1）光伏及半导体行业后续扩产不及预期的风险。2）技术迭代带来的创新风险。3）国内市场竞争加剧的风险。4）核心技术人员流失或不足的风险。 5）测算市场空间的误差风险。6）研究依据的信息更新不及时，未能充分反映公司最新状况的风险。

7月18日晚，公司发布2023年上半年业绩预告。 中报营收利润高速增长，23Q2利润率大幅提升23H1营收预计3.6到4亿元，同比增长133%到158%；归母净利润6200-7500万，同比扭亏为盈（去年同期-3925万）；扣非归母净利润4040万到5340万元，同比扭亏为盈（去年同期-4931万）。23Q2营收预计2.9-3.3亿，同比1223%-1385%，环比279%-329%；归母净利润6300-7600万，同比扭亏为盈（去年同期-4186w）；扣非归母净利润4296-5596万。 从收入端看，23Q2收入创历史新高。公司积极推进客户验收，带来公司营业收入同比高增长。利润端看，净利率高增长，以预告中值计算23Q2净利率22.7%，远高于22年净利率7.9%。 半导体+光伏设备双轮驱动，在手订单充足业绩增长可期受益于半导体领域客户拓展、新品类驱动，以及光伏领域TOPCon等新型电池技术扩产，公司半导体和光伏新签订单实现高增长。2023年初至4月24日，公司新增专用设备订单22.7亿元，其中新增半导体设备订单2.4亿元，新增光伏设备订单20.2亿元。6月以来，公司公告与浙江国康新能源、滁州亿晶光电分别签署4.4亿、3.86亿元（含税）TOPCon整线工艺合同。公司TOPCon电池工艺整线技术再次取得客户认可，市场份额有望不断提升。 半导体设备：品类扩张+国产化率提升双驱动，业务弹性大公司立足ALD拓展CVD设备，ALD设备实现TALD、PEALD全覆盖，设备覆盖数十种镀膜材料工艺，未来有望多点开花。拓展PECVD、LPCVD设备，近日部分CVD设备已发货至客户端。荷兰管制部分ALD设备，国内fab厂验证窗口打开，看好ALD设备国产化加速。 光伏设备：行业扩产及产品多元化驱动，新签订单高增长公司ALD设备高市占率+TOPCon整线推进，叠加行业今年扩产高峰，订单有望维持高增速。公司持续丰富光伏产品线，成熟产品包括ALD、PECVD、PEALD、扩散等多种设备，可提供TOCon整线解决方案。同时公司积极布局研发新型电池技术，xBC、钙钛矿叠层电池有望接力发展。 盈利预测：考虑公司订单高增长及利润率提升，我们上调24-25年营收及利润预测。预计2023-2025年营收为14.0、33.8、44.9亿元，同比增长105%、141%、33%，归母净利润1.19、3.63、5.13亿元，同比增长119%、206%、41%，对应PE为190、62、44倍。维持“增持”评级。 风险提示：新产品验证进度不及预期的风险、国内市场竞争加剧的风险、外部半导体管制加剧风险。

7 月16 日公司微信公众号发布，首台半导体CVD 薄膜沉积设备已顺利发货至客户端。 首台半导体CVD 设备发货，解决关键工艺市场空白继6 月29 日公司于SEMICON 展会上发布 PECVD 和LPCVD 两大系列产品后，仅半月时间，首台半导体CVD 设备已顺利发货至客户端。公司CVD 设备基于差异化策略开发，为市场亟需的CVD 领域高端设备，可解决关键工艺的市场空白。公司CVD 薄膜沉积设备适用于制备氧化硅、氮化硅、氮氧化硅、非晶硅等不同种类薄膜，可应用于逻辑、存储、先进封装、显示器件以及化合物半导体等领域芯片制造。 半导体+光伏设备双轮驱动，在手订单充足业绩增长可期受益于半导体领域客户拓展、新品类驱动，以及光伏领域 TOPCon 等新型电池技术扩产，2023 年以来公司半导体和光伏新签订单实现高增长。2023 年初至 4月 24 日，公司新增专用设备订单 22.7 亿元，其中新增半导体设备订单 2.4 亿元，新增光伏设备订单 20.2 亿元。6 月以来，公司公告与浙江国康新能源、滁州亿晶光电分别签署4.4 亿、3.86 亿元（含税）TOPCon 整线工艺合同。公司TOPCon 电池工艺整线技术再次取得客户认可，市场份额有望不断提升。 半导体设备：产品品类扩张+国产化率提升双驱动，订单弹性大产品品类扩张：公司立足ALD 扩展CVD 设备，国内市场空间从约50 亿拓展至近300 亿元。ALD 设备方面，公司实现TALD、PEALD 全覆盖，布局开发了多种沉积材料，已在逻辑、存储、化合物、新型显示获得订单，未来有望继续多点开花。CVD 设备基于客户需求从硬掩模沉积设备切入，已发货至客户端。 国产化率提升：荷兰最新半导体出口管制将ALD 设备纳入范围，国产化需求迫切。荷兰先晶半导体ALD 设备全球市占率45%，ALD 是先进制程关键设备之一，2022 年ALD 设备国产化率＜2%，外部管制趋严国产化率有望加速提升。 光伏设备：行业扩产及产品多元化驱动，新签订单迎来爆发式增长2023 年是国内光伏扩产大年，公司把握N 型TOPCon 扩产浪潮，凭借ALD 设备技术优势及TOPCon 整线工艺，市占率逐步提升，迎来订单爆发式增长。 公司持续丰富光伏产品线，成熟产品包括 ALD、PECVD、PEALD、扩散等多种设备，可提供TOCon 整线解决方案。同时公司积极布局研发新型电池技术，xBC、钙钛矿叠层电池有望接力发展。 盈利预测：预计 2023-2025 年公司实现营收为 14.0、23.5、35.4 亿元，归母净利润 1.01、 2.17、4.09 亿元，对应 PE 为 239、111、59 倍。维持“增持”评级。 风险提示：新产品验证进度不及预期的风险、国内市场竞争加剧的风险、外部半导体管制加剧风险。

事件：6月 13日公司公告，与浙江国康新能源科技有限公司签署 TOPCon 设备销售合同，金额总计约 4.41亿元（含税）。 新签 4.41亿 TOPCon 设备合同，整线工艺技术客户再突破6月 13日公司公告，与浙江国康新能源签订 4.41亿（含税）TOPCon 设备合同，包括 ALD、PEALD、PECVD、管式氧化退火炉、管式扩散炉等设备，订单将于 6月30日起陆续交付。2022年，公司开发的行业内首条 GW 级 TOPCon 工艺整线无锡尚德项目已取得客户验收，此次浙江国康新能源 TOPCon 整线订单的签订，表明公司 TOPCon 电池工艺整线技术再次取得客户认可，市场竞争力不断提升。 半导体+光伏设备双轮驱动，在手订单充足业绩增长可期受益于半导体领域客户拓展、新品类驱动，以及光伏领域 TOPCon 等新型电池技术扩产，2023年以来公司半导体和光伏新签订单实现高增长。2023年初至 4月24日，公司新增专用设备订单 22.7亿元，其中新增半导体设备订单 2.4亿元，新增光伏设备订单 20.2亿元。截至 2022年末，公司在手订单 22.9亿，其中半导体设备 2.6亿，光伏订单 19.7亿。据此我们测算，4月末公司半导体在手订单约 5亿元（22年半导体收入 0.47亿的 11倍），光伏在手订单约 39亿（22年光伏设备收入 5.01亿的 6倍）。随着公司半导体设备品类的不断扩张、光伏设备持续获得客户认可，公司半导体和光伏均有望持续高增长。 半导体设备：品类扩张+国产化率提升双驱动，公司半导体业务弹性大1）公司是国产 ALD 设备领军者，实现了 TALD、PEALD 工艺全覆盖。公司研发的ALD 设备，适用于沉积各种氧化物和氮化物、互相掺杂沉积工艺等薄膜材料，可广泛应用于逻辑芯片、传统及新型存储芯片的电容介质层、高 K 栅介质覆盖层、掺杂介质层、芯片制造电极及阻挡层、化合物半导体钝化和过渡层、MEMS 和CMOS 芯片的多重图案化和间隔层等众多应用领域。公司是国内首家成功将 28nmALD high-k 设备应用于量产线的公司，目前已在逻辑、存储、新型显示、化合物半导体领域取得重复订单。 2）基于客户需求研发 CVD 设备，硬掩膜 CVD 设备已客户试样。公司开发的iTronix 系列 CVD 系统，适用于沉积氧化物、氮化物等薄膜材料，产品可用于芯片制造钝化层、扩散阻挡层、介电层、硬掩膜层与高级图案化层、电容覆盖层等应用领域。公司基于客户关键工艺开发的战略需求，研发硬掩模工艺 CVD 设备，已送往客户试样验证。 当前薄膜沉积设备市占率仍处于较低水平，自主可控驱动设备验证加速，国产化率有望快速提升。随着公司由 ALD 向 CVD 设备扩张，公司可覆盖的国内市场空间由 ALD 设备的 47亿扩展至 ALD+CVD 的 300亿市场。国产化率提升+品类扩张双驱动，公司半导体业务弹性大。 光伏设备：持续丰富产品线，TOPCon 整线+xBC+钙钛矿叠层电池接力发展公司持续丰富光伏产品线，研发 ALD、PECVD、PEALD、扩散等多种设备，推进AEP?技术为核心的 TOPCon 电池工艺整线，可提供 TOPCon 设备价值量提升至产线投资额的 40-50%，已出货 XBC、钙钛矿/异质结叠层电池等新一代高效电池技术的设备。未来 xBC、叠层电池有望接力 TOPCon 发展。 盈利预测：预计 2023-2025年公司实现营收为 14.0、23.5、35.4亿元，归母净利润 1.01、2.17、4.09亿元，对应 PE 为 244、1 13、60倍。维持“增持”评级。 风险提示：新产品验证进度不及预期的风险、国内市场竞争加剧的风险、外部半导体管制加剧风险

事件：公司发布 2022年度报告和 2023一季度，2022年全年公司实现营收6.85亿元，同比增长 59.96%；实现归母净利润 0.54亿元，同比增长 17.43%； 实现扣非净利润 0.20亿元，同比下降 25.79%。公司 2023年 Q1实现营收0.76亿元，同比下降 42.65%，环比下降 74.70%；实现归母净利润-0.01亿元，同比下降 141.75%，环比下降 101.90%；实现扣非归母净利润-0.03亿元，环比下降 106.80%业绩实现高速增长，在手订单饱满： 2022年全年，公司营收实现高速增长，主要原因： （1）公司持续研发推出高性能产品，主要产品销量大幅增长； （2）公司下游行业市场规模增长、公司市场竞争力提升、产品应用领域扩展等因素导致订单和收入规模有所增长。2022年公司综合毛利率为 42.31%，同比下降 3.46pct；净利率为 7.91%，同比下降 2.87pct。2022年，公司归母净利润同比增长较大，主要原因： （1）公司营业收入及营业毛利同比增长； （2）政府补助、理财收益等收益增长。公司 2022年的毛利率、净利率均有下滑，主要系产品设备销量增加带动营收成本上涨。截止 2022年 12月底，公司在手专用设备订单 22.93亿元，其中光伏设备订单 19.67亿元，半导体设备订单 2.57亿元。2023年 1月初至 4月 24日，公司新增专用设备订单 22.74亿元，其中新增半导体设备订单 2.42亿元，新增光伏设备订单 20.16亿元，在手订单饱满。费用方面，2022年全年公司销售、管理、研发、财务费用率分 别 为 6.63%/7.29%/20.22%/-0.09% ， 同 比 变 动 分 别 为-1.22/+1.27/-2.46/-0.60pct。销售、管理费用变动较大，主要系公司业务规模和订单规模增长，扩充了销售及支持人员数量，职工薪酬、业务招待费等人员费用有所增长；研发费用变动主要系公司加强在光伏新型高效电池和半导体各细分领域的产品研发，研发人员数量、研发材料投入增加所致。 光伏 ALD 设备龙头地位巩固，产能持续放量：公司作为率先将 ALD 技术规模化应用于国内光伏电池生产的企业，目前已成为行业内提供高效电池技术与设备的领军者之一，与国内头部光伏厂商形成了长期合作伙伴关系。2022年全年，公司光伏设备营收为 5.01亿元，同比增长 81.98%，毛利率 35.95%。 公司技术更迭推动 ALD 技术在新一代高效电池设备中投资比重增加，大幅度提升了 ALD 设备在光伏领域的市场渗透率，公司 CVD 产品的产业化应用进一步提升公司产品在高效电池产线中的价值量。随着公司与行业多家头部客户共同研发的 TOPCon 新型高效电池生产线实现规模化的量产，TOPCon 产能率先放量，新建产能快速增长。公司进一步深化并拓宽了市场覆盖率，引领了行业 TOPCon 高效电池的量产导入，丰富公司技术及产品矩阵，推进工艺整线产品策略的实施。公司最新一代的夸父系列产品已广泛应用于光伏行业内一线客户，成为光伏行业主流镀膜方案，开发的行业内首条 GW 级 TOPCon电池工艺整线项目通过验收。 保持行业先发优势，引领半导体设备国产替代：根据 SEMI 行业统计，半导体薄膜技术领域，ALD 约占镀膜板块的 11%市场份额，未来几年保持高速增长，CAGR 达 26.3%。CVD 约占镀膜板块的 57%市场份额，未来几年的 CAGR约为 8.9%。公司把握市场机遇，保持行业先发优势，不断丰富公司产品矩阵，进一步打开行业空间。2022年全年，公司半导体设备营收为 0.47亿元，同比增长 86.41%，毛利率 37.24%。在半导体领域，公司加速逻辑、存储芯片、化合物半导体、新型显示芯片等半导体各细分领域产品的产业化，针对各细分应用领域研发试制新型 ALD 设备，进一步完善产品矩阵，开发 CVD 等产品，满足客户在各技术节点上对薄膜沉积设备的需求。公司新开发的 CVD 设备的部分产品已经发往客户处进行试样验证。国内半导体行业发展较为迅速，但目前 CVD 的国产化率水平还处于较低水平，国内 CVD 设备市场具有十分广阔的市场空间。公司已成功研制的 High-k 原子层沉积所应用的高介电常数（High-k）栅氧薄膜工艺是国内突破 28nm 制程中难度最大的工艺之一。公司是国内首家将其成功量产合并应用于 28nm 节点集成电路制造前道生产线的国产设备公司，并已获得客户重复订单认可，填补了我国在该项半导体设备上的空白。在国产化进程加快的背景下，随着下游客户逐步达产和半导体各细分领域先进工艺应用投资规模的扩大，公司的产品具有更广阔的市场前景。 首次覆盖，给予“增持”评级：公司以原子层沉积(ALD)技术为核心，主要从事先进微、纳米级薄膜沉积设备的研发、生产和销售，向下游客户提供先进薄膜沉积设备、配套产品及服务。公司目前产品主要以批量式(管式)ALD 设备为主。公司是一家面向全球的半导体、泛半导体高端微纳装备制造商。公司形成了以原子层沉积（ALD）技术为核心，CVD 等多种真空薄膜技术梯次发展的产品体系，专注于先进微米级、纳米级薄膜设备的研发、生产与销售，向下游客户提供先进薄膜设备、配套产品及服务。受益于 ALD、CVD 技术国产化加速，下游需求表现旺盛，公司业绩有望更上台阶。预计公司 2023-2025年归母净利润分别为 0.99亿元、1.67亿元、2.43亿元，EPS 分别为 0.22元、0.37元、0.53元，PE 分别为 211X、125X、86X。 风险提示：宏观经济波动风险、下游需求不及预期、技术开发和迭代升级风险、市场竞争加剧。

事件：公司发布 2022年年报及 2023年一季报。 2022年全年收入高增长，23Q1客户验收节奏导致收入波动2022年实现营收 6.85亿元，同比+60%；归母净利润 0.54亿元，同比+17%；扣非归母净利润 0.2亿元，同比-26%。收入端实现高增长，主要系订单增速较快，光伏 PERC 及 TOPCon 等高效电池领域和半导体领域销量增长。2022年毛利率42.3%，同比下降 3.5pct，净利率 7.9%，同比下降 2.9pct，毛利率波动主要原因系产品线扩张，部分低毛利设备确认收入所致。 2023年第一季度收入 0.76亿元，同比下降 43%；归母净利润-109万元，同比下降 142%。收入和利润波动主要系客户项目实施和验收节奏所致：一季度验收项目规模较小，部分费用前置影响利润。预计 2023年收入仍维持高速增长。 新签订单高增长，在手订单充沛业绩增长可期2023年初至 4月 24日，公司新增专用设备订单 22.74亿元，其中新增半导体设备订单 2.42亿元，新增光伏设备订单 20.16亿元，新增其他设备订单 1580万元。截至 2022年末，公司在手订单 22.93亿，其中半导体设备订单 2.57亿，光伏设备订单 19.67亿。据此我们测算，截至 4月末公司半导体在手订单约 5亿元，约为 22年半导体收入 0.47亿的 11倍，光伏在手订单约 39亿，约为 22年光伏设备收入 5.01亿的 8倍。截至 2023年一季度末，公司合同负债 9.48亿元，相较于 2022年末增长 3.2亿元，验证公司订单增速快。受益于半导体领域客户拓展及新品类驱动，以及光伏领域 TOPCon 等新型电池技术扩产，公司全年订单有望维持高增长。 半导体设备：ALD 设备技术引领行业，拓展 CVD 设备市场空间打开据公司 22年报，半导体设备新增 CVD 和 PE-ALD 两类设备，CVD 正在与客户试样，PE-ALD 设备已签署合同处于产业化验证阶段。据 SEMI，22年我国半导体设备市场规模 283亿美元（约 1900亿元），其中薄膜沉积设备市场规模约 420亿元，ALD、CVD 设备分别占薄膜沉积设备 11%、57%，测算得 ALD、CVD 设备市场规模分别为 46、239亿元，新品类延伸带动公司市场空间大幅扩展。 公司半导体 ALD 设备已在多个半导体细分应用领域取得订单：1）逻辑芯片领域，28nm High-k ALD 设备获得客户验收并取得重复订单。2）存储芯片领域，ALD 设备在高 K 栅电容介质层、介质覆盖层、电极、阻挡层等工艺中的优势使其被广泛应用于 DRAM、3D-NAND、新型存储器等半导体制造领域。公司单片ALD 设备已获得重复订单，批量型 ALD 设备获得客户订单，且为行业首台批量型 ALD 设备在存储芯片制造领域的应用。3）新型显示领域：ALD 主要用于沉积硅基微型显示芯片的阻水阻氧保护层，公司已获得多个客户订单。4）化合物半导体领域，ALD 技术适合生长超薄 Al2O3、AlN 等膜层作为钝化层和过渡层，保证器件具有良好的漏电和击穿性能，公司已取得客户订单。 光伏设备：光伏 ALD 设备龙头地位稳固，TOPCon 设备获得头部客户批量订单光伏领域公司优势设备为 ALD 设备，主要镀氧化铝层。在 2022上半年TOPCon、xBC 产线招标中，公司 ALD 设备中标产线规模均达 75%。公司不断拓展产品线，从 ALD 设备拓展至 TOPCon 整线设备，可提供的 TOPCon 设备价值量提升至产线投资额的 40-50%，并完成 GW 级别 TOPCon 整线设备验证。公司 PE-Poly 设备获得龙头客户认可，PE 设备市占率有望提升。公司积极推进钙钛矿设备验证，设备可应用于钙钛矿/异质结叠层电池等的非晶/微晶、掺杂层、阻水阻氧、致密保护层等薄膜材料，已发往客户端验证。今年 TOPCon 迎扩产高峰，公司订单有望延续高增速。 盈利预测：2022年至今公司订单高速增长，预计将带动公司收入端快速增长； 同时考虑到 2023-2025年存在股权支付费用，我们预计 23-25年利润率逐年提 升。预计 2023-2025年公司实现营收为 14.0、23.5、35.4亿元，归母净利润1.01、2.17、4.09亿元，对应 PE 为 239、1 11、59倍。维持“增持”评级。 风险提示：国内市场竞争加剧的风险、技术迭代及新产品开发风险、新产品验证进度及市场 发展不及预期的风险、美国半导体管制加剧风险