事件11月16日，公司披露关于向不特定对象发行可转换公司债券申请获得上海证券交易所受理的公告。 投资要点半导体领域收入、订单高增长。2022年、2023年和2024年1-9月，半导体设备收入占主营业务收入的比重分别为6.87%、7.27%和19.15%，2024年1-9月新增订单中半导体新增订单的比重超过了30%。公司半导体业务收入和新增订单均保持着持续的高增长状态，新推出的CVD系列产品开始进入批量化验收阶段，半导体业务收入占比大幅度提升。下游半导体行业景气度上行，人工智能的部署，技术的持续迁移以及叠加先进制程需求，推动了头部存储企业、逻辑企业资本开支的增长，从而导致国产半导体设备需求的增加。公司持续加大在半导体领域的投入，加快了新产品和新工艺的推广，充分利用了核心客户的扩产机会，提升了半导体业务的比重。预计2024年全年，公司半导体产品工艺覆盖面、客户数量和订单规模将继续保持增长。 光伏薄膜设备领先优势持续加强。在光伏领域内，公司作为率先将ALD技术规模化应用于国内光伏电池生产的企业之一，已成为行业内提供高效电池技术与设备的领军者之一。公司与国内头部光伏厂商形成了长期合作伙伴关系，相关产品已在新型电池产线上得到下游客户广泛认可，在同类型产品中市场占有率位居第一梯队，并积极开拓海外市场以不断发掘收入增长点。同时，公司在CVD设备上也持续突破，针对TOPCon电池技术核心的隧穿氧化层与多晶硅薄膜研发了可镀导电膜的管式PECVDToxPoly集成技术方案，并成功将研发成果产业化，新技术在TOPCon的扩产浪潮中也逐步受到行业的认可，PEPoly设备的市场占有率不断攀升，客户群体包括通威股份、阿特斯、晶科能源、天合光能等在内的多家知名太阳能电池片生产商。 拟向不特定对象发行可转债拟募集资金总额不超过人民币11.7亿元投资于半导体薄膜沉积设备智能化工厂建设项目、研发实验室扩建项目以及补充流动资金。1）半导体薄膜沉积设备智能化工厂建设项目：本项目拟由公司实施，实施地址位于江苏省无锡市新吴区内，项目总投资额为67,000.00万元，拟使用本次募集资金金额为64,280.00万元。项目拟计划建设先进的生产车间，购置先进生产设备和量测设备，提升公司薄膜沉积设备的生产能力。本项目营业收入的测算系以公司同类型产品平均销售单价为基础，结合市场情况，并根据各年预计销量情况测算得出。 项目建成后，达产年的预计销售收入为156,500.00万元。在产品技术路线上，相较前次募投项目的主要产品为ALD设备，本次募投项目除ALD设备外，还进行CVD设备的研发及生产。2）研发实验室扩建项目：本项目拟由公司实施，实施地址位于江苏省无锡市新吴区内，项目总投资额为43,000.00万元，拟使用本次募集资金金额为22,720.00万元。项目拟计划建设先进的研发洁净间，购置先进量测设备，优化公司研发测试环境，提升公司研发能力及科技成果转化能力。 投资建议我们预计公司2024/2025/2026年分别实现收入25.18/35.63/44.41亿元，实现归母净利润分别为3.0/5.1/6.7亿元，当前股价对应2024-2026年PE分别为43倍、25倍、19倍，首次覆盖，给予“买入”评级。 风险提示技术迭代及新产品开发风险；新产品验证进度及市场发展不及预期的风险；季节业绩波动的风险；经营业绩波动甚至出现亏损的风险；存货跌价的风险；研发投入未能有效转化的风险；应收账款不能按期回收的风险；行业周期波动和产业政策变化的风险；国际贸易摩擦加剧的风险。

事件概况微导纳米于 2024年 10月 29日发布 2024年三季度报告： 2024年前三季度公司实现营业收入 15.4亿元，同比增加 51.2%；实现归属于母公司所有者的净利润为 1.5亿元，同比下降 2.8%。 2024年第三季度公司实现营业收入 7.6亿元，同比增长 18.4%，环比增长 22.9%；实现归属于母公司所有者的净利润 1.1亿元，同比上升 24.7%，环比增长 174.8%。 公司半导体和光伏领域内的产品工艺覆盖度和技术水平的持续提升，获得客户验收的设备数量增长，前期在手订单陆续实现收入转化，总体业绩稳健增长。 盈利性环比提升， 存货及合同负债充沛盈利性环比提升明显，研发投入增长。 2024年前三季度公司毛利率为 38.3%，同比下滑 4pct；净利率为 9.8%，同比下降 5.4pct。 2024年第三季度公司毛利率为 38.3%，同比下降 3.7pct，环比上升 1.1pct；净利率为 14.2%，同比上升 0.7pct，环比增加 7.9pct。 2024年前三季度公司研发投入 3.38亿元，同比增长 82.0%， 公司进一步扩充研发团队、加大研发投入、积极加快新产品研发活动。 存货及合同负债充沛。 截至 2024年三季度末，公司存货 44.2亿元，同比增长 55.9%；合同负债 24.6亿元，同比下降 25.0%； 应收票据及应收账款 7.8亿元，同比增长 36.7%。 2024年前三季度，公司经营活动产生的现金流量净额-2.0亿元， 环比流出收窄。 光伏 ALD 优势显著，半导体及新兴应用领域设备持续推进半导体： 公司产品已涵盖了逻辑、存储、先进封装、化合物半导体等领域，其中超过 75%的增量订单来自存储领域（新型存储、 3D NAND和 DRAM），行业重要客户需求表现强劲，形成批量的重复订单合计已超过 7.5亿元。 光伏： 公司 ALD 产品已连续多年在营收规模、订单总量和市场占有率方面位居国内同类企业第一。公司跟随下游厂商的量产节奏，持续优化 XBC、钙钛矿、钙钛矿叠层电池等新一代高效电池技术，引领光伏行业技术迭代。 新兴应用领域： 公司继续执行 ALD+CVD 等镀膜平台化战略，持续在新兴领域进行前沿化开发， 在光学、柔性电子、车规级芯片等几个极具市场潜力的薄膜沉积技术应用前沿领域获得客户订单。 投资建议考虑光伏行业景气度下行影响，我们调整预测公司 2024-2026年营业收入分别为 27.90/42.20/52.73亿元（前值为 36.98/45.58/56.10亿元） ， 归母净利润分别为 3.10/5.26/7.26亿元（前值为 4.75/5.77/7.99亿元） ， 以当前总股本 4.58亿股计算的摊薄 EPS 为 0.7/1.1/1.6元。 公司当前股价对2024-2026年预测 EPS 的 PE 倍数分别为 42/25/18倍，考虑到公司在 ALD领域具有领先优势，且在半导体领域持续突破， 维持“增持”评级。

事件：公司发布 2024年三季报。 前三季度收入符合预期，计提减值影响利润2024前三季度公司实现营业收入 15.4亿元，同比增长 51.2%；归母净利润 1.5亿元，同比下滑 2.8%；扣非归母净利润 1.1亿元，同比下滑 0.7%。 2024前三季度公司毛利率 38.3%，同比-4.0pct，毛利率下滑主要系光伏产品结构变化毛利率下降、会计准则变动质保费用计入营业成本；净利率 9.8%，同比-5.4pct，主要系毛利率下滑及计提减值损失所致。 目前公司在手订单充足，积极推进产品交付。 截至 2024Q2末，公司在手订单 80.85亿元（含 Demo 订单），同比+29%，其中半导体在手订单 13.44亿元，同比+145%， 光伏在手订单 66.67亿元，同比+19%，产业化中心新兴应用领域在手订单 0.73亿元，同比-14%。 Q3业绩稳定增长，继续大力投入研发2024Q3单季度公司营收 7.6亿元，同比增长 18.4%，环比增长 22.9%；归母净利润 1.1亿元，同比增长 24.7%，环比增长 174.8%；扣非归母净利润 1.0亿元，同比增长 47.9%，环比增长 235.4%。三季度费用率管控良好，继续大力投入研发 ， 24Q3公司期间费用率 20.7%，同比-2.1pct，环比-4.9pct，其中管理、销售、财务、研发费用率分别为 5.5%、 2.4%、 1.6%、 11.1%，同比-4.5、 -2.2、 +1.2、+3.4pct，环比-4.5、 +1.6、 +0.3、 +0.3pct。 加快半导体领域工艺拓展，推进光伏技术升级和新型技术产业化1） 半导体领域：积极拓展薄膜工艺，已开发工艺包括 HKMG 技术、柱状电容器、金属化薄膜沉积技术及高深宽比 3D DRAM、 TSV 技术等，客户涵盖逻辑、存储、化合物半导体、硅基 OLED 等。新签订单超过 75%来自存储领域（ 包括新型存储、 3D NAND 和 DRAM），批量订单合计已超过 7.5亿元。 2） 光伏领域：技术路线覆盖 TOPCon、 XBC 和钙钛矿电池。 TOPCon-ALD 设备市占率居第一梯队， XBC-ALD 设备在爱旭、隆基产线中占比领先，钙钛矿-ALD 设备获得多家客户订单，钙钛矿/晶硅叠层电池-ALD 设备实现验收。 3） 新兴领域：持续在新兴领域进行前沿化薄膜设备应用开发，光学、柔性电子、车规级芯片等市场已获得客户订单。 盈利预测与估值预计 2024-2026年营收为 27.6、 37.3、 43.8亿元， 同比增长 64%、 35%、 17%，CAGR=26%， 归母净利润 3.3、 5.1、 6.1亿元， 同比增长 21%、 55%、 20%，CAGR=36%， 对应 PE 为 36、 23、 19倍， 维持“买入”评级。 风险提示新品验证不及预期风险、市场竞争加剧的风险、半导体管制风险。

事件：公司发布2024年半年报。 24H1收入符合预期，计提减值影响利润24H1公司实现营业收入7.9亿元，同比增长106%；归母净利润4285万元，同比下滑38%；扣非归母净利润1146万元，同比下滑75%。分业务来看，光伏设备营收6.1亿元，同比增长85%，占比78%，毛利率37.3%；半导体设备营收1.5亿元，同比增长813%，占比19%，毛利率37.45%；配套产品及服务收入0.22亿元，同比下滑37%，占比3%，毛利率77.9%。上半年净利润下滑较大主要系基于谨慎性原则计提资产减值损失及信用减值损失4931万元，以及产品结构变化影响光伏设备毛利率所致。2024Q2公司营收6.2亿元，同比增长101%，环比增长261%；归母净利润3927万元，同比下滑44%，环比增长999%；扣非归母净利润3058万元，同比下滑36%，环比扭亏为盈。 24H1毛利率承压，半导体在手订单同比高增长24H1公司毛利率38.4%，同比-4.6pct，毛利率下滑主要系1）光伏产品结构变化；2）会计准则变动质保费用计入营业成本，若将23H1质保金同步调整，则24H1毛利率同比下降3.1pct。24H1净利率5.4%，同比-12.5pct，主要系谨慎计提减值损失所致。2024H1期间费用率34.5%，同比+1.7pct，其中销售、管理、财务、研发费用率同比-2.8、+3.7、2.2、-1.4pct。在手订单充足，积极推进产品交付。截至2024Q2末，公司在手订单80.85亿元（含Demo订单），同比+29%，其中光伏在手订单66.67亿元，同比+19%，半导体在手订单13.44亿元，同比+145%，产业化中心新兴应用领域在手订单0.73亿元，同比-14%。 加快半导体领域拓展，推进光伏技术升级和新型技术产业化1）半导体领域：积极拓展薄膜工艺，已开发工艺包括HKMG技术、柱状电容器、金属化薄膜沉积技术及高深宽比3DDRAM、TSV技术等，客户涵盖逻辑、存储、化合物半导体、硅基OLED等。新签订单超过75%来自存储领域（新型存储、3DNAND和DRAM），批量订单合计已超过7.5亿元。 2）光伏领域：技术路线覆盖TOPCon、XBC和钙钛矿电池。TOPCon-ALD设备市占率居第一梯队，XBC-ALD设备在爱旭、隆基产线中占比领先，钙钛矿-ALD设备获得多家客户订单，钙钛矿/晶硅叠层电池-ALD设备实现验收。 3）新兴领域：持续在新兴领域进行前沿化薄膜设备应用开发，光学、柔性电子、车规级芯片等市场已获得客户订单。 盈利预测：预计2024-2026年营收为30.0、39.5、46.0亿元，同比增长78%、32%、16%，CAGR=24%，归母净利润4.1、6.4、7.4亿元，同比增长51%、55%、17%，CAGR=35%，对应PE为23、15、13倍，维持“买入”评级。 风险提示：新品验证不及预期风险、市场竞争加剧的风险、半导体管制风险。

微导纳米 8月 29日发布 2024年中报： 2024H1公司实现收入 7.87亿元，同比增长 105.97%； 实现归母净利润 0.43亿元， 同比下降 37.51%； 实现扣非归母净利润 0.11亿元， 同比下降 74.82%。 投资要点: 2024H1半导体、 光伏收入同比高增。 受管理费用和研发费用同比上升较多， 以及公司根据信用风险计提坏账损失增加， 2024H1公司业绩短期承压。 分产品方面， 2024H1公司光伏设备实现营业收入 6.11亿元， 同比增长 84.76%； 半导体设备实现营业收入 1.52亿元， 同比增长 812.94%； 配套产品及服务实现营业收入 0.22亿元， 同比下降 36.89%。 2024Q2公司实现营业收入 6.16亿元， 同比增长101.20%， 环比增长 261.04%； 实现归母净利润 0.39亿元， 同比下降 43.62%， 环比增长 999.05%； 实现扣非归母净利润 0.31亿元，同比下降 36.37%， 环比扭亏。 在手订单充足， 存货、 合同负债同比高增。 截至 2024年 6月 30日，公司在手订单 80.85亿元（含 Demo 订单），其中光伏在手订单 66.67亿元， 半导体在手订单 13.44亿元， 产业化中心新兴应用领域在手订单 0.73亿元。 截至 2024年 6月 30日， 公司存货为 44.32亿元，同比增长 112.05%； 合同负债为 24.59亿元， 同比增长 58.25%。 盈利能力短期承压， 持续加大研发投入。 2024H1公司毛利率为38.40%， 同比下降 4.60pct， 净利率为 5.44%， 同比下降 12.51pct。 分业务， 2024H1公司光伏设备毛利率为 37.26%； 半导体设备毛利率为 37.45%； 配套产品及服务毛利率为 77.92%。 2024Q2公司毛利率为 37.15%， 同比下降 4.80pct， 环比下降 5.75pct， 净利率为6.37%， 同比下降 16.37pct， 环比增加 4.28pct。 2024H1公司期间费用率为 34.47%， 同比增长 1.76pct， 其中销售费用为 0.38亿元，同比增长 61.83%； 管理费用为 1.06亿元， 同比增长 183.46%； 研发费用为 1.21亿元， 同比增长 88.99%； 财务费用为 0.07亿元。 专注薄膜沉积工艺， 平台化布局加速。 据公司 2024年半年报， 1）半导体领域， 公司进入产业化验证阶段的 ALD 和 CVD 工艺种类不 断增加， 客户类型覆盖逻辑、 存储、 化合物半导体、 硅基 OLED 等，其中超过 75%的增量订单来自存储领域（新型存 3D NAND 和DRAM）， 行业重要客户需求表现强劲， 形成批量的重复订单合计已超过 7.5亿元。 2） 光伏领域， 公司应用于 TOPCon 电池的 ALD 设备市占率居第一梯队， PE-Tox+PE-Poly 设备受到行业认可市占率快速提升， 应用于 XBC 电池的 ALD 设备在爱旭、 隆基已投产和拟投产的 XBC 电池生产线中占比保持领先， 应用于钙钛矿电池的板式ALD 设备获得多家客户订单， 应用于钙钛矿/晶硅叠层电池的量产型管式 ALD 设备成功实现验收。 3） 新兴应用领域， 公司在光学、 柔性电子、 车规级芯片等几个极具市场潜力的薄膜技术前沿领域开始获得客户订单。 盈利预测和投资评级 我们预计公司 2024-2026年实现营业收入39.87、 51.00、 58.06亿元， 实现归母净利润 5.74、 7.64、 9.57亿元， 现价对应 PE 分别为 17、 13、 10倍， 公司专注于 ALD、 CVD等薄膜沉积工艺， 产品广泛应用于半导体、 光伏、 柔性电子等领域，未来成长可期， 首次覆盖， 给予“买入” 评级。 风险提示 下游扩产不及预期； 新品研制及客户拓展不及预期； 市场竞争加剧风险； 研发布局与下游发展趋势不匹配； 存货减值及应收账款等风险。

事件概况微导纳米于2024年8月29日发布2024年半年度报告：2024年上半年公司实现营业收入7.87亿元，同比增加105.97%；实现归属于母公司所有者的净利润为0.43亿元，同比下降37.51%；毛利率为38.4%，同比下滑3.13pct（按会计政策变更调整去年毛利率后）；净利率为5.44%，同比下降12.5pct。 2024年第二季度，公司实现营业收入6.16亿元，同比增长101.2%，环比增长261%；实现归属于母公司所有者的净利润0.39亿元，同比下降43.62%，环比增长999%；毛利率为37.15%，同比下滑4.8pct，环比下滑5.75pct；净利率为6.37%，同比下滑16.37pct，环比增加4.28pct。 在手订单持续增长，业务规模高增长分业务来看，2024年上半年的主营业务中，公司光伏设备业务实现收入6.11亿，同比增长84.76%元，占比77.86%，毛利率为37.26%；半导体设备业务实现收入1.52亿元，同比增长812.94%，占比19.39%，毛利率为37.45%；配套产品及服务业务实现收入0.22亿，同比下降36.89%元，占比2.75%，毛利率为77.92%。 公司业务量不断扩大，在手订单金额持续增长。截至2024年6月30日，公司在手订单80.85亿元（含Demo订单），其中光伏在手订单66.67亿元，半导体在手订单13.44亿元，产业化中心新兴应用领域在手订单0.73亿元。截至2024年6月30日，公司存货44.32亿元，较2023年底增加37.8%，合同负债24.59亿元，较2023年底增加25.63%，后续业绩高增有保障。 产品应用领域不断拓展，积极探索新兴应用领域半导体：公司进入产业化验证阶段的ALD和CVD工艺种类不断增加，目前已开发工艺包括了HKMG技术、柱状电容器、金属化薄膜沉积技术及高深宽比3DDRAM、TSV技术等。客户类型涵盖了逻辑、存储、化合物半导体、硅基OLED等，其中超过75%的增量订单来自存储领域，行业重要客户需求表现强劲，形成批量的重复订单合计已超过7.5亿元。此外，公司在新型存储、先进封装和硅基OLED领域内也取得较大的进展。2024年上半年，公司研发投入达到22,944.25万元，占收入比例29.15%，其中超过60%投向半导体领域。 光伏：公司应用于TOPCon电池的ALD设备市场占有率位居第一梯队，PE-Tox+PE-Poy设备受到行业的认可市场占有率快速增加；XBC电池的ALD设备在爱旭、隆基已投产和拟投产的XBC电池生产线中占比保持领先；在钙钛矿电池领域，应用于钙钛矿电池的板式ALD设备获得多家客户订单；在钙钛矿/晶硅叠层电池领域，量产型管式ALD设备成功实现验收。 新兴应用领域：公司已在新兴领域取得突破并逐步显现成果，在光学、柔性电子、车规级芯片等几个极具市场潜力的薄膜沉积技术应用前沿领域开始获得客户订单。 投资建议考虑光伏行业景气度下行影响公司验收节奏，我们调整预测公司2024-2026年营业收入分别为36.98/45.58/56.10亿元（前值为40.03/52.52/61.56亿元），归母净利润分别为4.75/5.77/7.99亿元（前值为6.26/7.59/9.15亿元），以当前总股本4.58亿股计算的摊薄EPS为1.0/1.3/1.7元。公司当前股价对2024-2026年预测EPS的PE倍数分别为20/17/12倍，考虑到公司在ALD领域具有领先优势，且在半导体领域持续突破，维持“增持”评级。 风险提示1）光伏及半导体行业后续扩产不及预期的风险。2）技术迭代带来的创新风险。3）国内市场竞争加剧的风险。4）核心技术人员流失或不足的风险。5）测算市场空间的误差风险。6）研究依据的信息更新不及时，未能充分反映公司最新状况的风险。

事件： 微导纳米发布 2024年半年报，公司上半年实现营业收入 7.87亿元，同比增长 105.97%；归属于上市公司股东的净利润 4284.72万元，同比下降 37.51%。 点评： 在手订单持续转化，公司营业收入大幅增长。 截至 2024年 6月 30日，公司在手订单 80.85亿元（含 Demo 订单），其中光伏在手订单 66.67亿元，半导体在手订单 13.44亿元，产业化中心新兴应用领域在手订单 0.73亿元。 2024年上半年，公司根据订单节奏安排产品交付并推进客户验收，前期在手订单陆续实现收入转化，专用设备产品验收数量增长导致公司营业收入较上年同期有所增加。 公司产品布局完整，核心技术持续突破。 公司布局的薄膜设备（包含近年来迅速发展的 CVD 技术和处于研发攻坚末期的 PVD 技术）在半导体集成电路行业是除光刻机和刻蚀机外第三大设备市场，目前公司逐步形成了薄膜沉积反应器设计技术、高产能真空镀膜技术、真空镀膜设备工艺反应气体控制技术、纳米叠层薄膜沉积技术、高质量薄膜制造技术、工艺设备能量控制技术、基于原子层沉积的高效电池技术、柔性材料制备技术、薄膜封装技术以及高效电池整线工艺技术等十大核心技术。 公司产品主要用于半导体和光伏领域，行业景气度影响设备需求。 下游半导体行业景气度上行，由于人工智能部署，持续的技术迁移，叠加先进制程需求，头部存储企业、逻辑企业资本开支增长，持续推动着国产半导体设备需求的增加。光伏行业短期存在阶段性供需错配，新增装机容量和电池片产量仍保持快速增长，但产品价格走低，新建产能较上年同期放缓，对光伏设备需求有所影响。 PERC 产能面临淘汰和技术改造，TOPCon 成为行业主流技术路线，占比持续提高中。同时， XBC 和钙钛矿叠层等新型电池技术也在不断推进产业化，多家厂商已经开始布局相关产品。 盈 利 预测 与 投资 评级： 预计 2024-2026年公司营 业收入分 别为39.99/50.17/57.15亿元，归母净利润分别为 5.86/7.71/9.86亿元。公司在手订单持续转化， 半导体行业景气度上行， 盈利能力有望提升，给予公司“买入”评级。 风险提示： 产品验证进度不及预期的风险；产品需求不及预期的风险； 市场竞争激烈导致产品价格下降的风险；业绩预测和估值判断不及预期的风险。

投资要点业绩承压，半导体设备收入高增：2024上半年公司实现营收7.87亿元，同比+105.97%，主要系设备验收数量增加，其中光伏设备收入6.11亿元，同比+84.76%，占比77.64%；半导体设备收入1.52亿元，同比+812.94%，占比19.34%；配套产品及服务0.22亿元，同比-36.89%，占比2.74%；归母净利润0.43亿元，同比-37.51%；扣非净利润为0.11亿元，同比-74.82%，主要系研发投入增加，管理费用和研发费用上升较多，此外公司谨慎计提坏账损失有所增加。Q2单季营收为6.16亿元，同比+101.2%，环比+261.04%；归母净利润为0.39亿元，同比-43.62%，环比扭亏为盈。 Q2净利率环比改善，持续加大研发投入：2024上半年毛利率为38.40%，同比-4.60pct，其中光伏设备毛利率为37.3%，半导体设备毛利率为37.5%；销售净利率为5.44%，同比-12.50pct；期间费用率为32.7%，同比+1.74pct，其中销售费用率为4.83%，同比-2.78pct，管理费用率为13.42%，同比+3.67pct，主要系管理人员数量与薪酬相应增长，同时股权激励确认的股份支付费用增加。研发费用率为15.35%，同比-1.38pct，财务费用率为0.87%，同比+2.24pct。2024H1公司研发投入2.29亿元，占收入比例为29.15%，同比+134.05%，其中超过60%投向半导体领域。Q2单季毛利率为37.15%，同环比-4.8pct/-5.75pct；销售净利率为6.37%，同环比-16.37pct/+4.28pct。 存货&合同负债同比高增，半导体在手订单同比高增：截至2024Q2末公司合同负债为24.59亿元，同比+58%；存货为44.32亿元，同比+112%，表明公司在手订单充足。截止2024Q2末，公司在手订单80.85亿元（含Demo订单），其中光伏在手订单66.67亿元，同比+19%，半导体在手订单13.44亿元，同比+145%，新兴应用业务在手订单0.73亿元，同比-27%。Q2公司经营性现金流为-3.44亿元，现金净流出环比收窄。 立足ALD布局光伏&半导体，拓展CVD打开成长空间：（1）半导体领域：进入产业化验证阶段的ALD和CVD工艺种类不断增加，目前已开发工艺包括了HKMG技术、柱状电容器、金属化薄膜沉积技术及高深宽比3DDRAM、TSV技术等，并还在持续开发客户需求的IGZO、Nb2O5等新工艺。客户类型涵盖了逻辑、存储、化合物半导体、硅基OLED等，其中超过75%的增量订单来自存储领域（新型存储、3DNAND、FERAM、RRAM和DRAM），形成批量的重复订单合计已超过7.5亿元。（2）光伏领域：2023年公司新签订单是2022年同期的2.92倍，80%增量来自于行业前十大电池片厂商及上市公司客户，应用的技术路线覆盖了TOPCon、XBC和钙钛矿电池，设备类型以ALD设备为主，poly设备订单增长显著。盈利预测与投资评级：考虑到公司订单验收节奏与研发投入情况，我们下调公司2024-2026年归母净利润至4.0（原值6.3）/6.2（原值8.3）/7.9（原值9.2）亿元，当前股价对应动态PE分别为24/16/12倍，考虑到估值水平及成长性，维持“增持”评级。 风险提示：下游扩产不及预期，新品拓展不及预期。

公司是一家半导体、泛半导体高端微纳装备制造商。公司形成了以原子层沉积（ALD）技术为核心，化学气相沉积（CVD）等多种真空薄膜技术梯次发展的产品体系，专注于先进微米级、纳米级薄膜设备的研发、生产与销售，向下游客户提供尖端薄膜设备、配套产品及服务。 薄膜沉积设备是太阳能电池片制造环节的关键设备之一。公司与国内头部光伏厂商形成了长期合作伙伴关系，产品已广泛应用于包括通威、隆基、晶澳、晶科、阿特斯、天合光能等在内的多家知名太阳能电池片生产商，在手订单不断增长。公司依托强大的研究开发能力助力下一代新型高效电池技术升级，在TOPCon、XBC、HJT、钙钛矿、钙钛矿叠层等电池技术领域均有产品储备、布局和出货。其中，应用于TOPCon电池的ALD设备市场占有率位居第一梯队并进一步大幅度的提升；应用于XBC电池的专用设备顺利获得客户验收；在钙钛矿电池领域，首台应用于钙钛矿晶硅叠层电池管式ALD量产设备取得客户验收。 薄膜沉积设备是半导体前道工艺设备的核心设备之一。ALD与CVD两类设备均是半导体薄膜沉积工艺中具有重要地位的关键设备，国产化率均处于较低水平，具有广阔的市场前景。为满足客户在各技术节点和各工艺环节对薄膜沉积设备的需求，在保持核心产品ALD设备销售领先优势的同时，公司成功推出了具有市场竞争力的CVD设备，并顺利拿到批量重复订单，进一步扩大产品工艺覆盖度和市场空间。公司部分半导体设备已成功进入数家行业知名客户产线并实现客户端工艺验证，客户数量进一步增加，尤其在存储领域客户拓展取得显著成效。其中，iTomic系列ALD设备继续保持行业领先优势，在逻辑、存储领域内均新增行业重要客户的订单；iTronix系列CVD设备加速推广，获得了半导体集成电路行业内重要客户的批量重复订单，并加速拓展开发客户需求的工艺设备。iTomicMW设备和iTomicLite设备在存储、新型显示（硅基OLED）和化合物半导体领域内进展顺利，已进入产业化应用阶段。 盈利预测与投资评级：预计2024-2026年公司营业收入分别为39.55/49.38/61.52亿元，归母净利润分别为5.64/7.56/9.04亿元。公司新签订单快速增长，半导体设备持续突破，盈利能力有望提升，给予公司“买入”评级。 风险提示：产品验证进度不及预期的风险；产品需求不及预期的风险；市场竞争激烈导致产品价格下降的风险；业绩预测和估值判断不及预期的风险。

事件： 微导纳米在“第十六届集成电路封测产业链创新发展论坛（CIPA2024）”上首次发布了自主研发的“先进封装低温薄膜应用解决方案”。 该方案针对半导体领域 2.5D 和 3D 先进封装技术的低温工艺特殊需求而设计，能够在 50~200° C 的低温温度区间内实现高均匀性、高质量、高可靠性的薄膜沉积效果。 公司发布的自研设备包括低温 PECVD、 PEALD、 ALD 等： （1）iTronixLTP 系列低温 PECVD 系统适用于混合键合的介电层（ILD）、低 k 阻挡层和堆叠薄膜（BVR）； （2） iTomic PE 系列 PEALD 适用于高深宽比的TSV 衬垫，能够在极高深宽比的通孔内形成均匀且致密的绝缘层，保证器件性能的稳定； （3） iTomic MeT 系列金属及金属氮化物 ALD 系统适用于高深宽比 TSV 的铜阻挡层，能够有效防止铜扩散，提高 TSV 的可靠性。当前公司正积极推动上述产品的市场导入，构建先发优势。 公司产品线已基本实现对泛半导体薄膜沉积设备各品类的全面覆盖： 公司现有的 ITomic 系列 ALD 系统、 MW 批量式沉积系统、 ITronix CVD系统等产品能够对逻辑芯片、存储芯片、化合物半导体、新型显示（硅基 OLED）中的薄膜沉积应用实现较为全面的覆盖，公司目前产品已经覆盖 HfO?、 Al?O3、 ZrO?、 TiO?、 La?O3、 ZnO、 SiO?、 TiN、 TiAl、 TaN、AlN、 SiN、 SiON、 SiCN、无定形碳、 SiGe 等多种薄膜材料。随着微导产品矩阵持续丰富，公司将受益于国内半导体先进制程扩产。同时，通过拓宽产品的应用场景，能有效降低单一行业周期性波动给公司带来的不利影响。 看好薄膜沉积龙头设备商的差异化竞争： 在 ALD 领域，微导纳米的工艺覆盖率约为 70%至 80%，涵盖了 T-ALD 的 HiK、 MeT 以及 PEALD的 SiO2、 SiN 等材料，在国内 ALD 设备市场占据龙头地位；在 PECVD领域， SiO2和 SiN 这两种材料沉积技术已经相当成熟，分别占市场份额的 9%，微导纳米专注于高温硬掩模工艺（AHM），占比达到 20%。 从美国半导体设备产业的发展历程来看，并非仅有少数几家大型设备公司垄断市场，而是多家公司在各自的业务领域拥有专业优势，我们看好公司立足于 ALD 布局，拓展 CVD 打开成长空间。 盈利预测与投资评级： 考虑到公司订单与新品拓展情况，我们维持微导纳米 2024-2026年归母净利润分别为 6.3/8.3/9.2亿元，当前股价对应动态 PE 分别为 17/13/12倍，维持“增持”评级。 风险提示： 下游扩产不及预期，新品拓展不及预期。

事件概况微导纳米于 2024年 4月 28日发布 2023年年度报告及 2024年一季度报告： 2023年公司实现营业收入 16.80亿元，同比增加 145.39%； 实现归属于母公司所有者的净利润为 2.70亿元， 同比增长 399.33%； 毛利率为 43.64%， 同比增加 1.33pct；净利率为 16.10%， 同比大幅增加 8.19pct。 其中， 2023年四季度，公司实现营业收入 6.58亿元，同比增长119.78%， 环比增长 2.92%； 实现归属于母公司所有者的净利润 1.15亿元，同比增长 100.89%，环比增长 33.31%；毛利率为 45.62%，同比下滑3.38pct，环比增加 3.63pct；净利率为 17.52%， 同比下滑 1.65pct， 环比增加 3.99pct。 2024年一季度，公司实现营业收入 1.71亿元，同比增长 125.27%； 实现归属于母公司所有者的净利润为 357.34万元，与去年同期亏损相比实现扭亏为盈；毛利率为 42.90%，同比下滑 4.31pct；净利率为 2.09%，同比增加 3.53pct。 在手订单充沛， 光伏设备业务收入利润双增分业务来看， 2023年，公司光伏设备业务实现收入 14.97亿元，占比 89.23%，同比增长 198.93%，毛利率 43.81%，同比增加 7.86pct；半导体设备业务实现收入 1.22亿元，占比 7.27%，同比增长 159.57%，毛利率 27.24%，同比减少 10.00pct；配套产品及服务业务实现收入 0.50亿元，占比 3.00%， 同比下降 57.43%，毛利率 71.42%，同比增加 3.71pct。 公司业务量不断扩大，在手订单金额持续增长。 2023年度公司新增订单总额约 64.69亿元，是去年同期新增订单的 2.96倍。截止至 2024年3月 31日，公司在手订单 81.91亿元（含 Demo 订单），其中光伏在手订单 70.26亿元，半导体在手订单 11.15亿元，产业化中心新兴应用领域在手订单 0.50亿元。 2023年，公司存货 32.17亿元， 同比增加 229.85%； 合同负债 19.58亿元， 同比增加 213.16%，后续业绩高增有保障。 产品应用领域不断拓展， 积极探索新兴应用领域半导体： 进入产业化验证阶段的 ALD 和 CVD 工艺种类不断增加，目前已开发工艺包括了 HKMG 技术、柱状电容器、金属化薄膜沉积技术及高深宽比 3D DRAM、 TSV 技术等，并还在持续开发客户需求的IGZO、 Nb2O5等新工艺。 1） iTomic 系列 ALD 设备继续保持行业领先优势，在逻辑、存储领域内均新增行业重要客户的订单，尤其在新型存储领域已取得批量重复订单。 2） iTronix 系列 CVD 设备加速推广，在 2023年 7月首次出货至客户端进行产业化验证后，获得了半导体集成电路行业内重要客户的批量重复订单，并加速拓展开发客户需求的工艺设备。 3） iTomic MW 设备和 iTomic Lite 设备在存储、新型显示（硅基 OLED）和化合物半导体领域内进展顺利，获得如京东方、合肥视涯、浙江宏禧等客户的订单，并于 2023年首次取得验收，进入产业化应用阶段。 光伏： 1） TOPCon： 公司 ALD 设备市场占有率位居第一梯队并进一步大幅提升， PE-Tox+PE-Poy 设备（隧穿氧化及掺杂多晶硅层设备）受到行业的认可市场占有率快速增加， PE-TOPCon 工艺整线获得数十GW 量产订单； 2） XBC： 于 2023年顺利获得客户验收，且在爱旭、隆基已投产和拟投产的 XBC 电池生产线中，公司 ALD 产品占比保持领先； 3） 钙钛矿： 首台应用于钙钛矿晶硅叠层电池管式 ALD 量产设备取得客户验收，应用于钙钛矿电池的板式 ALD 设备获得行业头部客户百兆瓦级量产设备订单。 新兴应用领域： 公司新增立项多项新兴产业应用项目，分布于柔性镀膜、芯片封装、光学超低减反膜沉积、新能源等细分应用领域镀膜环节。截止 2024年 4月 28日， 1）已研发推出了柔性电子二代机； 2）应用于车规级芯片 ALD 设备完成首次出货（海外客户）； 3）首台光学领域镀膜设备顺利发货，其他项目也在有序推进中。 投资建议考虑订单高增及盈利能力提升明显， 我们上调预测公司 2024-2026年营业收入分别为 40.03/52.52/61.56亿元（24-25年前值 31.81/44.12亿元），归母净利润分别为 6.26/7.59/9.15亿元（24-25年前值 3.64/5.59亿元）， 以当前总股本 4.54亿股计算的摊薄 EPS 为 1.38/1.67/2.01元。 公司当前股价对 2024-2026年预测 EPS 的 PE 倍数分别为 22/19/15倍，考虑到公司在ALD 领域具有领先优势，且在光伏及半导体领域拓展具备较大业绩弹性，维持“增持”评级。 风险提示1）光伏及半导体行业后续扩产不及预期的风险。 2）技术迭代带来的创新风险。 3）国内市场竞争加剧的风险。 4）核心技术人员流失或不足的风险。 5）测算市场空间的误差风险。 6）研究依据的信息更新不及时，未能充分反映公司最新状况的风险。

2023年公司营业收入同比+145.82%，归母净利润同比+374.47%，扣非归母净利润同比+779.06%。其中，2023Q4公司营业收入同比+120.8%，归母净利润同比+77.4%，扣非归母净利润同比+57.7%。 事件评论ALD主业市占率保持领先，不断拓展品类，营收、净利润高增。光伏领域，公司ALD设备的市场占有率继续保持领先，产品矩阵不断丰富，提供ALD、PECVD、PEALD、扩散退火等多种定制化产品和TOPCon整线工艺解决方案，实现了对TOPCon产线真空类设备的全覆盖。在TOPCon、XBC、钙钛矿及钙钛矿叠层等电池技术领域均有产品储备、布局和出货。其中，公司应用于XBC和钙钛矿叠层电池的设备获得客户验收，钙钛矿领域获得国内客户百兆瓦级量产设备订单。半导体领域，公司ALD设备保持领先优势，ALD、CVD设备均取得大厂重复订单。 公司积极把握下游光伏、半导体行业市场规模扩大所带来的市场机遇，产品工艺、客户群体覆盖度进一步扩大，光伏、半导体设备领域订单同步高增。2023年度，公司新增订单总额约64.69亿元，是去年同期新增订单的2.96倍。其中，半导体领域新增订单是去年同期的3.29倍，光伏领域新增订单是去年同期的2.92倍。此前公司披露，截至2023年9月30日，公司在手订单70.82亿元（含Demo），全年订单环比2023Q3持续提升。 半导体CVD设备取得重复订单。公司21年开始布局CVD设备，目前已发布PECVD和LPCVD产品，CVD设备于7月成功发货，目前已取得批量重复订单。2023年，公司部分半导体设备成功进入数家行业知名客户产线并实现客户端工艺验证，客户数量进一步增加，已覆盖逻辑、存储、硅基OLED和第三代半导体等细分领域。其中，存储领域客户拓展取得显著成效。根据SEMI统计，ALD约占半导体镀膜设备板块11%，未来复合增长率高达26.3%；PECVD、LPCVD等CVD设备约占半导体镀膜设备的57%，未来复合增长率约为8.9%，新产品将使得公司潜在可触达市场增长四倍。当前半导体ALD设备国产化率几乎为零，随着国产替代加速，预计未来半导体ALD设备将快速实现份额提升。公司切入半导体CVD设备，市场空间广阔，公司也有望取得快速增长，整体来看，公司半导体ALD、CVD业务具有较大弹性。 公司2023Q1末进行股权激励，2023/2024年股权激励费用分别为1.1、0.96亿元，考虑股份支付费用后，预计公司2023-2025年实现净利润2.57/5.20/7.87亿元，对应PE66/33/22倍，继续给予“买入”评级。 风险提示1、新产品研发、验证进度不及预期的风险；2、下游技术发展、扩产规模不及预期的风险。

微导纳米为为ALD设备龙头，依托这一平台型技术拓展光伏&半导体领域的应用。微导纳米成立于2015年，将ALD应用至光伏（2022年收入占比73%）、半导体（2022年收入占比7%）、新型显示等领域。 ALD技术：自限制性优势明显，应用领域广泛。相较于PVD、CVD等薄膜沉积技术，ALD最大的特点在于自限制性，这一特点使其具备薄膜控制精确度高和台阶覆盖率高的优势，特别适合在对薄膜质量要求高和内部结构复杂的领域应用，包括光伏、半导体等。 光伏ALD适用多条技术路线，微导纳米为国内龙头。ALD设备可用于PERC、TOPCon、钙钛矿等，公司均有相应布局，ALD设备市占率领先，并拓展了PECVD、PEALD、扩散退火、TOPCon整线工艺解决方案等，受益于下游扩产，2023年公司光伏领域新签订单为去年同期的2.92倍。 半导体域先进逻辑及存储领域ALD渗透率提升。随着45nm以下先进制程的发展，原来用于成熟制程的PVD、CVD等无法满足部分工序要求，ALD的应用环节逐步拓宽，其膜厚精度控制和高台阶覆盖率的特性适合在45nm以下节点以及复杂的3D结构等领域应用。 （1）逻辑：45nm先进制程下栅介质层适用high-K材料，ALD适用于沉积该种材料，20nm先进制程下器件由MOSFET转向结构更复杂的FinFET，5nm以下向GAAFET转变，ALD高覆盖率的优势显著；（ （2）：存储：3DNAND、DRAM等存储器件的复杂结构需要高深宽比，ALD具备良好的台阶覆盖能力。 存储领域空间更大&头部存储器厂有望重启扩产为，微导纳米为ALD龙龙头充分受益。相较于逻辑，ALD在存储领域具备更大的市场，相近制程下存储所需的ALD设备数量约为逻辑的4-5倍；一线存储厂商2023年受政策影响扩产暂缓，未来随着国产技术突破及国产设备引入，资本开支有望加速，利好国产设备商，目前ALD设备TEL和ASM合计占比约75%，微导纳米为国内ALD领军者，逻辑&存储市场开拓顺利，2023年半导体领域新签订单是去年同期的3.29倍。 依托ALD技术延展性&客户协同性，微导纳米局布局CVD设备。CVD市场空间约为ALD的2-3倍且国产化率仍有待提升，如拓荆科技在PECVD和SACVD市场份额分别为17%和25%，微导纳米进一步拓展CVD设备，进行差异化竞争，以打开更大的市场空间。 盈利预测与投资评级：我们预计微导纳米2023-2025年归母净利润分别为2.8/6.0/8.1亿元，当前股价对应动态PE分别为分别57/27/20倍，首次覆盖给予“增持”评级。 风险提示：光伏下游装机量和扩产不及预期，晶圆厂资本开支下滑的风险，研发进展不及预期。

事件： 10 月 30 日，微导纳米发布 2023 年第三季度报告。公司 2023 年 Q3 实现营收 6.39 亿元，同比增长 178.72%；实现归母净利润 0.87 亿元，同比增长140.32%；实现扣非净利润 0.69 亿元，同比增长 119.93%。 收入利润同比高增。 作为国产 ALD 设备的领军企业， 公司深耕薄膜沉积设备，布局光伏、半导体、柔性电子等下游应用领域。 伴随在手订单陆续实现收入转化、专用设备产品验收数量增长，公司业绩释放， 2023 年 Q3 单季实现营收6.39 亿元，同比增长 178.72%。利润端， 2023 年 Q3 公司毛利率为 41.99%，同比提升 2.95pct； 期间费用率为22.76%。 公司 23Q3 实现归母净利润 0.87 亿元，同比增长 140.32%；实现扣非净利润 0.69 亿元，同比增长 119.93%。公司 Q3 利润大幅增长归因于营业收入的释放，同时设备出货量大幅提升，公司获得相应的软件退税金额增长较多。 未来伴随行业景气度复苏，下游光伏、半导体等领域客户需求提升，公司在手订单量有望稳步增长，业绩维持扩张态势。 多应用领域齐头并进， 设备技术保持领先优势。 公司坚持自主研发创新，已具备原子层沉积反应器设计技术、高产能真空镀膜技术、真空镀膜设备工艺反应气体控制技术等多项核心技术。公司产品线日趋丰富，逐步实现多领域覆盖。在半导体领域，公司以 ALD 为核心拓展 CVD 等多种真空技术和产品，半导体领域设备成为国产首台成功应用于 28nm 节点集成电路制造前道生产线的量产型High-k 原子层沉积设备。在光伏领域，公司持续推进以 ALD 为核心的工艺整线策略和新一代高效光伏电池技术开发。除此之外，公司在依托产业化应用中心平台不断探索先进薄膜沉积技术在其他新兴应用领域的发展机会，多领域、多品类产品有助于降低单行业波动对公司业绩的不利影响，拓展公司的成长空间。 跟进行业发展趋势，产品应用顺利推进。 光伏领域内，公司设备订单量稳步增长，市占率不断提升，产品广泛应用于国内 TOPCon 新建产线，应用于 XBC电池生产线的产品已进入产业化阶段。半导体领域内， iTomic MW 系列批量式原子层沉积镀膜系统实现首台产业化应用。同时公司紧跟市场发展趋势，持续推出定制化高性能产品， 新开发的第一代 iTronix 系列 CVD 薄膜沉积设备已取得客户订单。 投资建议： 我们预计公司 2023-2025 年营收为 15.41/29.71/44.01 亿元，归母净利润为 2.29/3.96/5.94 亿元，对应现价 PE 分别为 82/48/32 倍，我们看好公司在行业内的领先优势，维持“推荐”评级。 风险提示： 下游行业消费需求下行； 技术迭代不及预期； 产品验证不及预期