至纯科技清洗设备国内龙头地位稳固，具备卡位优势目前至纯已成长为国内半导体清洗设备两家龙头之一。 （1）从订单金额上来看，公司 S300单片湿法设备的订单超过 10台（超 3亿元）。我们预计2021年新接清洗机订单金额将会继续快速增长，至纯与盛美将会共同占据国内清洗设备高端市场的双龙头地位； （2）从技术上看，至纯已在技术难度更高的单片式设备上获得突破，并在几个特殊工艺上（晶背清洗、高温硫酸、异丙醇干燥）弥补了国内空白。 （3）从交付能力上看，2020年至纯的单片设备和槽式设备全年出机超过了 30台。对于 5年（2018-2022）200台的目标，2018-20年至纯已累计出货小 70台，我们预计 2022年累计 200台的目标将顺利完成。至纯科技在清洗机上具备人才+技术+客户的先发优势，行业新进入者的零部件供应+新型机台验证较困难，因此我们判断至纯目前的龙头地位具备延续性。 清洗设备赛道好空间大，有望率先实现全面国产化相比于刻蚀机、光刻机和 CVD 设备，技术门槛较低的清洗机有望率先实现未来 3-5年的全面国产化。我们预计中国大陆地区每年的湿法清洗设备空间在 15-20亿美元，目前除长江存储之外的各家晶圆厂，清洗机的国产化率均在 10%以内。我们假设到 2023年清洗机的国产化率可达 40%-50%，则国产设备每年的市场空间在 40-70亿元；我们判断 2025年左右可以实现绝大多数清洗机机型的国产化，则国产设备市场空间约 100-130亿元。作为国内龙头，公司的清洗机已覆盖 0.35um 到 28m 线宽的制程工艺，我们看好中长期至纯清洗机逐步突破高制程工艺技术。 传统主业高纯工艺系统：国内龙头地位稳定，为公司贡献稳定现金流至纯高纯工艺系统国内龙头地位逐步稳固，客户选择系统供应商非常谨慎、客户粘性高，预计未来可保持年化 10%-20%的复合增长。目前行业内技术领先且具有承接大项目实力与经验的本土企业较少，呈现出高等级市场集中度较高（主要为国外龙头）、低等级市场较为分散的竞争格局。 我们判断该业务未来三年有望保持 15%的复合增速，我们预计 2020-2022年高纯工艺系统收入分别为 7.3、8.4、9.7亿元。 晶圆再生业务：至纯竞争优势显著，静待晶圆再生业务空间打开至纯晶圆再生业务团队来自于成熟的技术团队，具备业务经验及技术优势。 （1）相比于海外竞争对手，至纯具备距离优势，直接为客户节约物流费用； （2）相比于国内竞争对手，至纯具备成本优势。我们判断，伴随下游晶圆市场放量，晶圆再生业务空间即将打开，集距离优势、技术优势及成本优势于一身的至纯将充分受益。 盈利预测与投资评级：我们考虑到下游晶圆厂的设备国产化进程加速和至纯的清洗机业务进入客户订单放量阶段，我们预计 2020-2022年的净利润分别为 2.15/3.05/3.96亿，对应当前股价 PE 为 50、35、27倍，上调至“买入”评级。

至纯科技清洗设备国内龙头地位稳固，具备卡位优势目前至纯已成长为国内半导体清洗设备两家龙头之一。 （1）从订单金额上来看，公司 S300单片湿法设备的订单超过 10台（超 3亿元）。我们预计2021年新接清洗机订单金额将会继续快速增长，至纯与盛美将会共同占据国内清洗设备高端市场的双龙头地位； （2）从技术上看，至纯已在技术难度更高的单片式设备上获得突破，并在几个特殊工艺上（晶背清洗、高温硫酸、异丙醇干燥）弥补了国内空白。 （3）从交付能力上看，2020年至纯的单片设备和槽式设备全年出机超过了 30台。对于 5年（2018-2022）200台的目标，2018-20年至纯已累计出货小 70台，我们预计 2022年累计 200台的目标将顺利完成。至纯科技在清洗机上具备人才+技术+客户的先发优势，行业新进入者的零部件供应+新型机台验证较困难，因此我们判断至纯目前的龙头地位具备延续性。 清洗设备赛道好空间大，有望率先实现全面国产化相比于刻蚀机、光刻机和 CVD 设备，技术门槛较低的清洗机有望率先实现未来 3-5年的全面国产化。我们预计中国大陆地区每年的湿法清洗设备空间在 15-20亿美元，目前除长江存储之外的各家晶圆厂，清洗机的国产化率均在 10%以内。我们假设到 2023年清洗机的国产化率可达 40%-50%，则国产设备每年的市场空间在 40-70亿元；我们判断 2025年左右可以实现绝大多数清洗机机型的国产化，则国产设备市场空间约 100-130亿元。作为国内龙头，公司的清洗机已覆盖 0.35um 到 28nm 线宽的制程工艺，我们看好中长期至纯清洗机逐步突破高制程工艺技术。 传统主业高纯工艺系统：国内龙头地位稳定，为公司贡献稳定现金流至纯高纯工艺系统国内龙头地位逐步稳固，客户选择系统供应商非常谨慎、客户粘性高，预计未来可保持年化 10%-20%的复合增长。目前行业内技术领先且具有承接大项目实力与经验的本土企业较少，呈现出高等级市场集中度较高（主要为国外龙头）、低等级市场较为分散的竞争格局。 我们判断该业务未来三年有望保持 15%的复合增速，我们预计 2020-2022年高纯工艺系统收入分别为 7.3、8.4、9.7亿元。 晶圆再生业务：至纯竞争优势显著，静待晶圆再生业务空间打开至纯晶圆再生业务团队来自于成熟的技术团队，具备业务经验及技术优势。 （1）相比于海外竞争对手，至纯具备距离优势，直接为客户节约物流费用； （2）相比于国内竞争对手，至纯具备成本优势。我们判断，伴随下游晶圆市场放量，晶圆再生业务空间即将打开，集距离优势、技术优势及成本优势于一身的至纯将充分受益。 盈利预测与投资评级：我们考虑到下游晶圆厂的设备国产化进程加速和至纯的清洗机业务进入客户订单放量阶段，我们预计 2020-2022年的净利润分别为 2.42/3.39/4.45亿，对应当前股价 PE 为 43、30、23倍，上调至“买入”评级。

公司2020年业绩预告，2020年全年预计实现归母净利润2-2.3亿元，同比增长81%-109%，Q4单季度归母净利润预计为1.2-1.5亿元，大幅增长226-309%，得益于公司半导体领域及光电子领域的快速增长，全年业绩超预期。扣非净利润为1.2-1.5亿元，同比增长33%-66%。 经营分析响受疫情影响2020Q4业绩井喷，湿法设备供不应求。根据公司12月投资者关系活动记录及官微，公司2020年下半年订单井喷，槽式设备（主要供应8寸）供不应求，2020年公司湿法设备全年出货30台，2020年公司交付给华虹集团ICRD的12寸单片设备正式搬入，向合肥长鑫交付了一台12寸的特殊工艺的单片设备，截止2020年底单片设备订单超过10台，单片订单净额超过3亿元。后续单片设备有望在21年逐步放量，公司保持5年到2022年完成200台装机目标不变。公司目前湿法工艺设备所能生产的晶圆技术节点已经覆盖0.35um到28m，具有14m的技术储备。 划晶圆再生项目进展顺利，计划2021Q1流片。项目首期产能计划为7万片/月，年产84万片。合肥项目的产能已基本已被下游客户预定，下游可以覆盖到合肥当地的长鑫、晶合、以及周边的无锡、南京、武汉的晶圆厂。目前因为国内没有晶圆再生相应业务，都是送到日本台湾进行晶圆再生，相对于境外竞争对手，预计可为当地客户节省30%的物流成本。 公司重点布局半导体领域，包括高纯工艺系统、湿法设备以及晶圆再生服务，服务于同一批客户。就主业高纯工艺系统板块来看，半导体占比60%，下游头部客户包含三星、海力士、台积电、中芯、华虹、长存、长鑫、士兰微等，后续公司在湿法设备的突破上有望借助已有的客户资源，实现快速成长。2020年上半年疫情对高纯工艺系统有部分影响，但下半年行业整体恢复增长，订单呈现快速增长状态。 盈利调整与投资建议预计公司2020-22年实现营收14/19/24亿元，同比增长40%/39%/25%，公司2020年下半年订单井喷，槽式设备供不应求，单片式湿法设备打入多个下游大客户，上调2020-2022年归母净利润分别为2.1/3.0/4.3亿元，同比增长88%/47%/42%，分别上调22%/7%/2%，对应P/E为67x/46x/32x，给予2021年60倍PE，目标价58元/股，维持“买入”评级。 风险提示新产品拓展情况不及预期、下游扩产及产能爬坡不及预期、行业竞争加剧。

事件1：公司2020年前三季度实现营收7.6亿元，同比+24.15%；归母净利润0.83亿元，同比+10.76%；扣非归母净利润0.41亿元，同比-30.08%。 件事件2：10月30日公司公布第三期股权激励计划，拟向133名激励对象授予限制性股票及股票期权总计600万份，占总股本的2.31%，其中首次授予510万份。 投资要点Q3收入小幅下滑，在手订单逐步释放将推动后续业绩修复单三季度公司实现收入2.39亿元，同比-14.8%。Q3公司收入同比小幅下滑，但受益于二季度湿法设备陆续交付并确认收入，整体来看前三季度收入实现稳定增长。我们认为在半导体设备行业景气持续，清洗设备国产替代加速的背景下，公司清洗设备产品的供需结构没有改变，只是收入确认周期带来季度间业绩的不平衡性。随着在手清洗设备订单逐步释放，将推动业绩稳步增长。 单润三季度归母净利润0.52亿元，同比+65.4%；扣非归母净利润0.16亿元，同比-49.5%。Q3非经常性损益达0.37亿元，较去年同期的61万增长5860%，主要原因为间接持有的中芯国际股票带来的公允价值变动净损益达0.42亿元，而去年同期无此项目。 Q3毛利率大幅增长，清洗设备业务拓展致费用率小幅上升前三季度综合毛利率35.8%，同比+1.8pct，环比+1.7pct；Q3单季毛率利率39.5%，同比+4.5pct，环比+6.5pct，Q3毛利率实现大幅增长，我们预计主要因为高毛利的清洗机业务开始确认收入。 前三季度净利率为10.7%，同比-0.9pct；Q3单季净利率22.2%，同比+10.8%。前三季度费用率为27.4%,同比+3.8pct。其中管理费用率（含研发）17.7%，同比+2.1pct，主要系湿法设备业务板块团队继续扩容、人员成本上升所致；销售费用率4.5%，同比+0.3pct；主要原因为公司增加了湿法设备、高纯业务等业务板块的销售力度；财务费用率5.2%，同比+1.3pct，主要系可转债利息费用增加所致。 截至Q3末公司合同负债达4.9亿元，同比大幅增长86.2%；存货8.7亿元。同比+26.9%。预计公司在手订单充足，将支持后续业绩增长。 激励方案业绩考核彰显未来发展信心第三期股权激励计划拟向公司董事、高级管理人员、核心技术骨干共计133人授予权益600万份（占公司总股本的2.31%）。其中包括：1）期权557万份（占公司总股本的2.14%），首次授予467万份，行权价格为35.52元；2）股票43万份（占公司总股本的0.17%），首次授予43万股，授予价格17.76元。本次股权激励计划分三期解锁，考核目标均为2021-2023年归母净利润达到1.3亿元/1.8亿元/2.3亿元，解除限售比例均为30%/30%/40%，若2023年达成目标，则对应2019-2023年归母净利润复合增速为20%。 公司第三期股票激励预留股票的授予价格为17.76亿元，较预留权益公告前一日32.57元收盘价折价率约45%，激励力度较大，将有效调动参与对象共同完成公司经营目标的积极性。同时股权激励方案的推出以及相应的业绩考核要求也彰显了公司对中长期发展的高度信心。 盈利预测与投资评级：我们预计公司2020-2022年的净利润分别为1.34/1.83/2.56亿，对应当前股价PE为63、46、33倍，维持“增持”评级。 风险提示：半导体业务进展不及预期；毛利率波动风险。

2020H1公司实现营业收入 5.21亿元，同比增长 57.07%；实现归母净利润 3036.28万 元，同比减少 29.58%；扣非后归母净利润 2521.88万元，同比减少 8.31%。营业收入 大幅增加主要系公司湿法设备陆续交付并确认收入，据公司官微报道，公司二季度单 片、槽式释放设备出货超过十台。高纯系统及设备业务受疫情影响较大，导致公司一 季度出现亏损，拖累公司上半年业绩表现。 2020Q2公司业绩强势复苏，实现营业收 入 4.08亿元，同比增长 88.94%，环比增长 260.59%；公司实现归母净利润 4519.11万 元，同比增长 42.61%，环比增加 6001.94万元。 2020H1公司综合毛利率 34.08%，同比增加 0.94个百分点；净利率 5.46%，同比减少 6.41个百分点。政府补助减少、信用减值等因素是影响净利率的主要原因， 2020H1公司计入其他收益的政府补助同比减少 867万元，信用减值损失同比增加 1164万元。分季度看， 2020Q2公司单季度毛利率 32.95%，同比减少 1.38个百分点，环比减少 5.22个百分点；单季度净利率 10.98%，同比减少 2.55个百分点，环比增加 25.41个百 分点。 2020H1公司期间费用为 1.35亿元，同比增长 59.37%，期间费用占营收比重 25.88%， 同比增加 0.37个百分点。 其中，销售费用 2226.25万元，同比增长 74.73%，占营业收 入的 4.27%，同比增加 0.43个百分点；管理费用 5342.9万元，同比增长 53.37%，占 营业收入的10.25%，同比减少0.25个百分点；财务费用2345.08万元，同比增长58.69%， 占营业收入的4.5%，同比增加0.05个百分点；研发费用3581.45万元，同比增长60.41%， 占营业收入的 6.87%，同比增加 0.14个百分点，研发费用增加主要系公司继续加大半 导体设备业务板块的研发投入所致。 截至 2020年 6月 30日，公司应收账款、应收票据、应收款项融资合计 8.74亿元，同 比增长 4.49%；存货 6.93亿元，同比增长 16.08%。公司应收账款周转率 0.63次，同 比增加 0.11次，存货周转率 0.52次，同比增加 0.08次。加权平均净资产收益率 2.04%， 同比减少 3.26个百分点。 2020H1公司经营活动产生的现金流净额-1.06亿元，同比减 少 2010.06%；投资活动产生的现金流量净额-3.79亿元，同比增加 750.59万元；筹资 活动产生的现金流量净额 3.47亿元，同比减少 31.53%。 我们调整公司的盈利预测，预计公司 2020-2022年可实现归母净利润 1.43/1.97/2.64亿 元， EPS 为 0.55/0.76/1.02元，对应 9月 2日收盘价 PE 为 73/53/40倍，维持“审慎增 持”评级。

公司发布2020年中报。上半年公司实现营业收入5.21亿元，同比增长57.1%；实现归母净利润0.30亿元，同比下滑29.6%；实现扣非归母净利润0.25亿元，同比下滑8.3%。其中非经常性损益项目主要为政府补助。19H1公司1846万元政府补助全部计入当期损益，增厚了当期利润；20H1公司政府补助共2526万元，其中799万计入当期损益，剩余1727万元确认递延收益。 湿法设备批量交付，助推Q2业绩高增长。20Q2公司实现收入4.08亿元，同比增长88.9%；实现归母净利0.45亿元，同比增长42.6%；实现扣非归母净利润0.43亿元，同比增长139.2%。收入快速增长主要由于湿法设备陆续交付。根据公司官方微信，公司单片清洗与槽式湿法设备Q2出机超过十台。公司槽式设备已经具备较强的竞争力，获得多客户的重复订单，涵盖近90%的湿法化学工艺步骤。目前下游8寸晶圆厂保持产能利用饱满状态，将推动相关设备的更新需求及扩产需求。根据中芯国际20Q1法说会，中芯国际2020年计划8寸厂产能扩充计划为3万片/月。公司槽式设备业务有望充分受益。此外，根据公司官方微信，公司12寸单片湿法清洗设备已经交付ICRD，是公司清洗设备业务迈出突破性一步，通过验证后将有力助推公司单片清洗设备进入量产线。 投资建议：预计2020-2022年收入分别为14.5/20.2/25.0亿元，对应PS分别为7.2/5.2/4.2倍；EPS分别为0.88/1.46/1.82元/股。维持前次合理价值50.67元/股，对应公司20年9倍PS。结合业绩和估值情况，继续给予公司“买入”评级。 风险提示：半导体行业投资进入不及预期；新业务推进不及预期；行业竞争加剧导致毛利率下滑。

事件: 公司通过聚源芯星参与中芯国际科创板IPO战略配售1亿元,中芯国际IPO发行价格为27.46元/股,港股最新收盘价30.30元/股。 投资要点: 参与中芯国际IPO,产业上下游协同公司业绩有望迎高增长。 此次中芯国际IPO战配名单中有14家上市公司参与,且都为半导体产业链上下游相关企业。直接收益上,中芯国际发行价格相比港股折价10%,考虑中芯国际质地优秀,如预期股价追平港股则会为公司带来相比2019年净利润约10%的直接收益;间接收益上,公司已获中芯国际高纯工艺系统以及清洗设备订单,参与战配后有望增进双方合作空间,产品和工艺系统与下游客户协同发展,在中芯国际未来新产线推进时订单有望放量增长。 12寸单片湿法设备交付华虹ICRD,单片清洗设备迈出关键一步。 公司微信号公布交付华虹集团ICRD的300MM单片式湿法设备于6月19日正式搬入,工艺通过验证后公司单片清洗设备将迈入量产阶段。同时今年3月起至今,至微科技以每月2~3台8寸及12寸湿法工艺设备交付客户。公司2019年取得近40台正式订单,已完成近20台设备装机,交付情况良好,2020年有望放量增长。 盈利预测。 基于公司2020年单片、槽式清洗设备进展和产业下游合作的乐观判断,我们维持2020年公司的盈利预测。预计公司2020年-2022年营收14.60、19.77、24.76亿元,归母净利润2.23、3.16、3.98亿元,EPS分别为0.86、1.22、1.54元/股,对应三年PE为52、36、29倍。考虑公司未来几年增速较高,目前公司市盈率水平低于可比公司水平,维持推荐评级。 风险提示。 高纯系统订单不达预期,清洗设备基地进展放缓,下游需求不达预期。

事件:公司于7月6日发布公告,投资1亿元作为有限合伙人认购聚源芯星的基金份额,间接认购中芯国际科创版首发股票。 投资要点 中芯国际预计7月科创板上市,多家材料硅片及核心设备供应商参与战略配售。本次发行初始战略配售的股票数量为84281万股,占初始发行数量的50%。战略投资者包括半导体材料--上海新阳;大硅片--中环股份、上海新昇,目前国内仅此两家具备少量12英寸硅片供应能力;刻蚀设备--中微公司;及清洗设备--盛美半导体和至纯科技。 我们认为,此次战略配售将至纯科技与中芯国际深入绑定,有利于建立稳定合作关系,未来公司在共同研发、投标上具备明显优势;同时中芯国际上市后将募资扩产,至纯科技也有望加速获得订单。 国内高纯工艺系统龙头,后发进军半导体清洗设备业务。至纯科技主要从事高纯工艺系统和半导体湿法清洗设备业务,2019年收入分别为6.37亿元和0.82亿元,占比总收入的65%和8%。其中,半导体清洗设备业务,虽然起步稍晚,但市场空间大、增速快,是公司的最大业务亮点。2015-2019年公司收入由2.08亿元增长至9.86亿元,CAGR达48%,归母净利润从1770万增长至1.1亿,CAGR达57%。 看好清洗设备:赛道好空间大,容易率先实现大部分国产化。目前清洗设备在半导体设备市场中价值量占比约5%-6%,较光刻、刻蚀等核心设备价值量较低。但随着晶圆制程工艺的复杂化,清洗机的占比整线的比例未来有望提高至10%。 同时由于清洗机的技术门槛相对较低,我们认为比较容易率先实现全面国产化。我们预计中国大陆地区每年的湿法清洗设备的空间在15-20亿美元,目前除长江存储之外的各家晶圆厂,清洗机的国产化率均在10%以内,假设到2023年清洗机的国产化率可达40%-50%,预计国产设备的每年的市场空间在40-70亿元。 清洗设备业务后发先至,国内龙头地位稳固。公司通过买断日本、韩国技术,引入台湾资深管理团队,迅速实现了技术积累与业务扩张。目前公司已与中芯国际、北京燕东、TI、华润等高端客户达成稳定合作,2019年湿法工艺装备新增订单总额达1.7亿元。目前公司启东一期生产基地全面建成,已达到48套/年的产能,一二期共规划96套/年,公司于2019年12月发行可转债,募资3.56亿元投入槽式和单片式清洗设备的生产制造。项目预计在2022年达产,预计初步可贡献最高达9亿元的清洗机业务的收入规模。我们预计2020到2022年半导体设备收入分别为1.6、2.9、5.0亿元。 二季度公司单片清洗和槽式清洗设备出货超10台,上半年总出货量预计10-15台,全年高增长确定。公司交付ICRD的12寸单片清洗设备已获客户认可,其晶圆表面颗粒清洗能力及每小时产出量可以支持到14nm以下的工艺技术节点,达业界一流水平。公司产品线较为完善,产品覆盖面与技术水平均已具备国际竞争实力。 盈利预测与投资评级:我们预计公司2020-2022年的净利润分别为1.5亿、2.1亿、2.8亿,当前股价对应动态PE分别为82倍、59倍、45倍,在可比公司中处于最低位置,我们看好公司半导体清洗设备业务的发展,在估值上存在提升空间,维持“增持”评级。 风险提示:半导体业务进展不及预期;毛利率波动风险。

与中芯国际双向互为战略投资者,助推半导体业务发展。根据公司公告,公司于今年四月引入中芯涌久作为战略投资者。根据徕木股份公告,至纯科技参与投资产业投资基金聚源芯星,且聚源芯星作为战略投资者认购中芯国际集成电路制造有限公司在科创板首次公开发行的股票。其中中芯涌久、聚源芯星的基金管理人均为中芯聚源,后者为中芯国际的投资平台。公司与中芯国际双向战略投资,有望助推公司半导体业务发展。一方面,根据至纯科技2019年年报,中芯国际是公司高纯系统以及半导体湿法设备客户,中芯国际重复购买公司湿法设备,已有6台设备投入使用。当前中芯国际正开启新一轮资本开支,公司有望直接受益其扩产需求。另一方面,中芯聚源已投资的半导体企业已形成了庞大的产业资源库及平台优势,有望在供应链国产化、业务合作、投资孵化、产业布局等方面为公司提供机会和专业支持。 12寸单片式湿法设备交付华虹集团ICRD,槽式设备批量交付。根据公司官方微信,公司交付给华虹集团ICRD的300MM单片式湿法设备于6月19日正式搬入,公司的清洗设备业务迈出突破性一步。此外,3月下旬开始公司槽式设备以每月2~3台的数量交付设备给客户。根据2019年年报,公司已取得近40台正式订单,已完成近20台设备装机。当前公司槽式清洗设备交付情况良好,有望加速增长。 投资建议:预计2020-2022年收入分别为14.5/20.2/25.0亿元,对应PS分别为6.6/4.7/3.8倍;EPS分别为0.90/1.50/1.88元/股。维持前次合计价值50.67元/股,对应公司20年9倍PS。结合业绩和估值情况,继续给予公司“买入”评级。 风险提示:半导体行业投资进入不及预期;新业务推进不及预期;行业竞争加剧导致毛利率下滑。

事件1:6月19日公司交付华虹集团ICRD的300MM单片式湿法设备搬入,标志着至纯旗下至微科技单片和槽式湿法设备二季度出机超十台。 事件2:公司于6月22日发布公告称,证监会对公司提交的《上市公司非公开发行新股核准》予以受理,本次拟募资不超过14.9亿人民币。 投资要点 二季度湿法设备批量出货,全年高增长确定性强 公司单片清洗和槽式清洗设备二季度出货超10台,上半年总出货量预计10-15台,全年高增长确定。公司交付ICRD的12寸单片清洗设备已获客户认可,其晶圆表面颗粒清洗能力及每小时产出量可以支持到14nm以下的工艺技术节点,达业界一流水平。此外公司至2019年末,已完成了多个工艺的8英寸及12英寸全自动槽式装备,8英寸及12英寸4腔单片装备,12英寸12腔先进工艺单片装备的研发及制造,产品线较为完善,公司产品覆盖面与技术水平均已具备高端清洗设备市场竞争实力。 非公开发行引入战略投资者,多方面改善提升公司综合竞争力 本次非公开发行募集资金不超过14.9亿元,其中5亿元拟用于偿还银行贷款,剩余部分用于补充公司流动资金。本次非公开发行可增强公司资金实力、满足业务扩张资金需求;同时降低资产负债率,改善公司财务状况。此外公司引入北京集成电路基金、中芯涌久、国改基金、津联海河、博辰投资等战略投资者,有利于公司增强股东背景,充分调动优质资源促进公司现有业务发展,同时完善公司治理结构,提高整体管理水平,进而提升公司综合竞争力。 国内高纯工艺系统龙头,后发进军半导体清洗设备业务 至纯科技主要从事高纯工艺系统和半导体湿法清洗设备业务,2019年收入分别为6.37亿元和0.82亿元,占比总收入的65%和8%。其中,半导体清洗设备业务,虽然起步稍晚,但市场空间大、增速快,是公司的最大业务亮点。2015-2019年公司收入由2.08亿元增长至9.86亿元,CAGR达48%,归母净利润从1770万增长至1.1亿,CAGR达57%。 进军半导体清洗设备领域,赛道好空间大,容易率先实现全面国产化 清洗设备在半导体设备市场中价值量占比约5-6%,较光刻、刻蚀等核心设备价值量较低。同时技术门槛也较低,比较容易率先实现全面国产化,故市场空间大。我们预计中国大陆地区每年的湿法清洗设备的空间在15-20亿美元,到2023年清洗机的国产化率可达40%-50%,即国产设备的市场空间在40-70亿元。且预计未来12寸晶圆的槽式和单片式清洗设备将是市场的主要增量,其中单片式清洗机至纯有望成为少数几家具备核心技术的国内设备商。 公司凭借技术优势,迅速积累了中芯国际、北京燕东、TI、华润等高端客户资源,2019年湿法工艺装备新增订单总额达1.7亿元。目前公司启东一期生产基地全面建成,已达到48套/年的产能,一二期共规划96套/年,公司于2019年12月发行可转债,募资3.56亿元投入槽式和单片式清洗设备的生产制造。项目预计在2022年达产,预计初步可贡献最高达9亿元的清洗机业务的收入规模。我们预计2020到2022年半导体设备收入分别为1.6、2.9、5.0亿元。 盈利预测与投资评级:我们预计公司2020-2022年的净利润分别为1.5亿、2.1亿、2.8亿,当前股价对应动态PE分别为67倍、48倍、36倍,在可比公司中处于最低位置,我们看好公司半导体清洗设备业务的发展,在估值上存在提升空间,维持“增持”评级。 风险提示:半导体业务进展不及预期;毛利率波动风险。

12寸单片式湿法设备交付华虹集团ICRD,清洗设备业务迈出突破性一步。根据公司官方微信,公司交付给华虹集团ICRD的300MM单片式湿法设备于6月19日正式搬入。ICRD(上海集成电路研发中心有限公司)是国家支持组建、产学研合作的国家级集成电路研发中心,拥有目前国内唯一开放的12英寸集成电路先进工艺研发和国产设备材料评价验证中试线,帮助国内集成电路企业开展各类研究和工艺验证。ICRD拥有浸没式193nm光刻机、硅刻蚀机、原子层薄膜生长(ALD)、高能离子注入机以及全套铜互连和Low-K等先进工艺设备工艺研发能力可达14纳米以下。至纯科技12寸单片湿法清洗设备进入ICRD,是公司清洗设备业务迈出突破性一步,通过验证后将有力助推公司单片清洗设备进入量产线。 槽式设备批量交付,有望实现快速增长。根据公司官方微信,3月下旬开始公司以每月2~3台的数量交付设备给客户(包括华润微、楚微,中车,燕东,台湾力积电等客户)。交付的设备中,涵盖了近90%的湿法化学工艺步骤。槽式湿法设备的交付目前已经获得许多客户的重复订单,并且还有许多新客户加入。根据2019年年报,公司已取得近40台正式订单,已完成近20台设备装机。虽然Q1受疫情影响,当前公司槽式清洗设备交付情况良好,公司清洗设备业务有望加速增长。 投资建议:预计2020-2022年收入分别为14.5/20.2/25.0亿元,对应PS分别为6.6/4.7/3.8倍;EPS分别为0.90/1.50/1.88元/股。维持前次合计价值50.67元/股,对应公司20年9倍PS。结合业绩和估值情况,继续给予公司“买入”评级。 风险提示:半导体行业投资进入不及预期;新业务推进不及预期;行业竞争加剧导致毛利率下滑。

国内高纯工艺系统龙头,后发进军半导体清洗设备业务至纯科技主要从事高纯工艺系统和半导体湿法清洗设备业务,2019年收入分别为6.37亿元和0.82亿元,占比总收入的65%和8%。其中,半导体清洗设备业务,虽然起步稍晚,但市场空间大、增速快,是公司的最大业务亮点。2015-2019年公司收入由2.08亿元增长至9.86亿元,CAGR达48%,归母净利润从1770万增长至1.1亿,CAGR达57%。 2019年公司收购波汇科技进军光传感器市场,产业链向下延伸的同时也将与现有的泛半导体行业多项业务形成协同效应。 高纯工艺系统:国内龙头地位稳定,为公司提供稳定的现金流高纯工艺系统是为下游企业提供整体解决方案的业务,属于特定行业的系统集成业务,是制造业企业新建厂房和生产线的固定资产投资的重要组成部分,约占其固定资产投资总额的5%-8%。 公司高纯工艺系统国内龙头地位逐步稳固,,客户选择系统供应商非常谨慎、客户粘性高,化预计未来可保持年化10%-20%的复合增长。目前行业内技术领先且具有承接大项目实力与经验的本土企业较少,呈现出高等级市场集中度较高(主要为国外龙头)、低等级市场较为分散的竞争格局。 公司董事长蒋渊曾是行业龙头美国凯耐第斯的中国区营销总监,团队技术积累深厚,帮助至纯的系统集成业务逐步实现进口替代。2012年-2019年高纯工艺系统收入从1.37亿元增长到6.37亿元,复合增速为25%,是为公司提供稳健增长现金流的业务板块。主要下游为医疗、光伏、半导体等,订单增长与下游客户的固定资产投资紧密相关。我们预计2020到2022年高纯工艺系统收入分别为8.6、10.4、11.4亿元。 进军半导体清洗设备领域,赛道好空间大,容易率先实现全面国产化约清洗设备在半导体设备市场中价值量占比约5-6%,较光刻、刻蚀等核心设备价值量较低。同时技术门槛也较低,比较容易率先实现全面国产化,故市场空间大。我们预计中国大陆地区每年的湿法清洗设备的空间在15-20亿美元,到2023年清洗机的国产化率可达40%-50%,即国产设备的市场空间在40-70亿元。且预计未来12寸晶圆的槽式和单片式清洗设备将是市场的主要增量,其中单片式清洗机至纯有望成为少数几家具备核心技术的国内设备商。 公司的半导体清洗设备主要包括湿法槽式清洗设备(难度低)和单片式清洗设备(难度高))。2019年起开始批量出货,目前槽式清洗设备和单片式清洗设备均能应用于8寸及12寸的晶圆。公司凭借技术优势,迅速积累了中芯国际、北京燕东、TI、华润等高端客户资源,2019年湿法工艺装备新增订单总额达1.7亿元(截止2019年末,累计已取得近40台正式订单,已完成近20台设备装机)。目前公司启东一期生产基地全面建成,已达到48套/年的产能,一二期共规划96套/年,公司于2019年12月发行可转债,募资3.56亿元投入槽式和单片式清洗设备的生产制造。项目预计在2022年达产,预计初步可贡献最高达9亿元的清洗机业务的收入规模。我们预计2020到2022年半导体设备收入分别为1.6、2.9、5.0亿元。 盈利预测与投资评级:: 我们预计公司2020-2022年的净利润分别为1.5亿、2.1亿、2.8亿,当前股价对应动态PE分别为53倍、38倍、29倍,在可比公司中处于最低位置,我们看好公司半导体清洗设备业务的发展,在估值上存在提升空间,首次覆盖给予“增持”评级。 :风险提示:半导体业务进展不及预期;毛利率波动风险;收购协同效应不及预期

公司发布 2019年年报:公司实现营收 9.86亿元,同比增长 46.34%;实现归母净利润1.10亿元,同比增长 239.88%;扣非后归母净利润 0.91亿元,同比增长 215.31%;经营活动产生的现金流量净额-1.11亿元,同比减少 0.58亿元;基本每股收益 0.46元/股,同比增长 193.55%;加权平均净资产收益率 10.10%,同比增加 2.39个百分点。公司以实施权益分派股权登记日登记的总股本为基数,向全体股东每 10股派发现金红利 0.86元(含税)。 2019年高纯工艺集成系统业务实现收入 6.37亿元,同比减少 5.51%,占公司营业收入的 64.57%,半导体设备业务实现收入 0.82亿元,占公司营业收入的 8.28%;光传感及光器件业务实现收入 2.65亿元,占公司营业收入的 26.82%。 2019年公司毛利率为 34.35%,同比增加 6.16个百分点;净利润率 11.19%,同比增加6.51个百分点;加权平均净资产收益率 10.10%,同比增加 2.39个百分点。分业务板块看,2019年公司高纯工艺集成系统业务的毛利率为 26.44%,同比减少 1.75个百分点,半导体设备、光传感及光器件业务的毛利率分别为 32.08%、53.59%。 2019年公司期间费用总额 2.22亿元,同比增长 74.25%,费用率为 22.48%,同比增加3.60个百分点。其中,研发费用 0.59亿元,同比增长 61.94%,占营业收入的 5.99%,同比增加 0.58个百分点。 2019年公司新增业务订单总额达 14.2亿,新增订单比上一年度增长 56%。其中,高纯工艺系统新增订单 8.8亿元,在半导体领域高纯工艺系统订单来自:海力士、华力、中芯、士兰微、新昇、三星等,在医药领域高纯工艺系统订单来自:百特、君实生物、迈瑞、宝洁、康弘、金霸王等;湿法工艺装备新增订单 1.7亿元,包括中芯、德州仪器、燕东、华润的重复订单,以及华虹集团 ICRD、中车、台湾力晶、湖南楚微、新昇、瀚天天成、华为等新用户订单;光电子板块的新增业务订单总额达约人民币 3.7亿。 公司发布 2020年第一季度报告:公司实现营收 1.13亿元,同比减少 2.34%;归母净利润亏损 1482.83万元,去年同期盈利 1142.87万元;扣非后归母净利润亏损 1739.95元,去年同期盈利 969.01万元;基本每股收益为-0.06元/股,同比减少 207.41%。 我们调整盈利预测,预计公司归母净利润分别为 1.69/2.20/2.75亿元,EPS 分别为0.65/0.85/1.06元,对应 5月 11日收盘价 PE 为 56.2/43.1/34.6倍,维持“审慎增持”评级。 风险提示: 下游资本开支 不及预期, 清洗机市场竞争加剧 , 海外团队管理的风险。 。 过 特别提示:公司自营持仓比例超过 1%

19年业绩快速增长、利润率提升明显,订单饱满。公司19年收入9.86亿元,同比增长46.3%,归母净利润1.10亿元,同比增长239.9%。 19年公司毛利率34.35%、净利率11.19%,提升明显,主要在于并购的波汇科技的高利润率、以及半导体业务毛利率明显提升。根据年报,19年新签订单14.2亿元,同比增长56%;其中高纯系统/湿法设备/光电子业务新签订单8.8/1.7/3.7亿元。20Q1收入1.13亿元,实现归母净利润-0.15亿元,主要是疫情影响工程验收进度。截止2020Q1,公司存货/预收账款分别7.23/1.66亿元,较18年底增长74.9%/72.4%。 根据公司非公开发行预案,向包括北京集成电路基金、中芯涌久、津联海河、国改基金等7名战略投资者定向增发15亿元,有望推动半导体业务在客户资源、上下游投资并购方面的发展机会。 湿法设备业务进展积极,市占率有望逐步攀升。根据2019年年报,公司已取得近40台正式订单,已完成近20台设备装机,包含湿法刻蚀、清洗、金属剥离、晶圆回收等多个工艺。其中 (1)包括中芯、万国、德州仪器、燕东、华润等客户已经取得重复订单; (2)增加了华虹集团ICRD、中车、台湾力晶、湖南楚微、瀚天天成、华为等用户; (3)12寸单片设备获得订单。2020年公司湿法设备业务重点在大幅提高成熟机型的市占率,产能爬坡,毛利爬坡,持续投入新机型研发。 投资建议:预计2020-2022年收入分别为14.5/20.2/25.0亿元,对应PS分别为6.6/4.7/3.8倍;EPS分别为0.90/1.50/1.88元/股。采用PS估值方法,参考可比公司估值,给予公司20年9倍PS,对应合理价值50.67元/股。结合业绩和估值情况,继续给予公司“买入”评级。 风险提示:半导体行业投资进入不及预期;新业务推进不及预期;行业竞争加剧导致毛利率下滑。

中国大陆半导体设备行业进入黄金发展期,清洗设备成为公司第二增长曲线:目前37亿美元市场规模的清洗设备领域还是几乎被迪恩士,拉姆研究和东京电子这些美日厂商垄断,为了提升设备国产化率,公司在2017年进入清洗设备行业。目前至纯已经实现中高端单片和槽式清洗设备的研发,产品正在下游客户端验证,同时为了实现“三年出货200台”的目标,公司在2019年底发行3.56亿可转债,加码扩增清洗设备40台/年的产能。预计公司在2020年订单量有望进一步翻番,清洗设备营收有望接近2.1亿。 高纯工艺系统进入“提质”阶段,并购波汇科技再添增长新动能:目前高纯工艺还是公司的营收主力,其中快速成长的半导体领域工程占比最高,达到65%,其他光伏、医药领域项目则聚焦更多资源在高毛利的项目,实现“提质增利”。高纯工艺系统不仅受益于晶圆厂建厂潮,而且随着半导体工艺每年更新迭代,都会产生新增需求,我们预估高纯工艺系统需求达到770亿,未来三年公司高纯系统业务也将实现30%以上的复合增长。2018年底公司并购波汇科技,实现了向光电传感器工程业务的拓展,而且下游客户均为国家大型国企,订单充足,预计2020年波汇业务将贡献约6600万利润。 疫情对于半导体设备行业影响较小,低估清洗设备新星有望迎来放量成长阶段:由于半导体设备行业具有需求相对刚性,即使受到疫情影响,也仅仅是部分产线建设进度延期,不会削减开支。公司作为清洗设备的核心标的,未来三年业绩具有高确定性和高成长性双重特点,2020年下半年进入湿法设备的订单确认期,我们预计未来三年公司的营收分别为14.63亿,20.56亿和27.66亿,同比增速达到48%/41%/35%,获利同比成长分别为55%/67%和48%。 投资建议与估值 即使受到疫情影响,晶圆厂资本开支也并未下调,公司的清洗设备需求相对刚性,我们预估公司在2020-2022年EPS分别为0.54/0.90/1.34元。采用分部估值法,给予公司未来6-12个月目标市值为123亿,对应目标价为48元,首次覆盖给予“买入”评级。 风险提示 行业竞争加剧;疫情导致晶圆厂投产延后订单确认低于预期;4月13日和4月27日有大比例限售股解禁。