单片清洗未来在半导体清洗设备中的核心地位将日益凸显。半导体清洗设备可分为干法清洗设备和湿法清洗设备，目前 90%以上的清洗步骤以湿法工艺为主。 湿法清洗设备又分为槽式清洗和单片清洗，其中槽式清洗设备一般一次清洗约30-50片晶圆，清洗量大但容易交叉污染，随着先进制程的不断推进，其颗粒去除效率（PRE）较低，逐步被单片清洗设备取代；单片清洗设备主要分为单片清洗机、单片刷片机和单片刻蚀机，其颗粒去除效率（PRE）较高，其中单片清洗机的目的是清洗颗粒、有机物、自然氧化层、金属杂质等污染物，单片刷洗设备一般为物理清洗，目的是去除表面颗粒，主要用于 CMP 后清洗，单片刻蚀设备主要用于膜层的轻度刻蚀。随着先进制程的不断推进，特别是 28nm 及以下工艺，单片清洗设备将全面取代槽式清洗，配备 8-12-16腔，核心地位日益凸显。 纳米喷淋是国际上单片湿法清洗设备的主流技术路线。目前单片湿法清洗技术主要分为纳米喷淋清洗（Nano Spray）、兆声波清洗（Megasonic）和刷子清洗（Brush）三种，前两者建立在旋转喷淋（Spin Spray）的技术上。2020年全球半导体清洗设备市场基本上被日本 SCREEN、日本 TEL、韩国 SEMES 和美国LAM 垄断，销售额占比分别为 45.1%、25.3%、14.8%和 12.5%，合计占比 97.7%，国内厂商话语权较弱。头部大厂日本 SCREEN 是最早开发和使用 Nano Spray技术的设备厂商，2010年后其更新升级后的 Nano Spray2和 Nano Spray3技术进一步提升了芯片的良率，是目前国际上主流的清洗技术。至纯科技单片清洗技术对标日本 SCREEN，采用 Nano Spray 方案。 至纯科技采用国际主流清洗技术 Nano Spray，能提供全部 28nm 节点湿法设备。 至纯科技采用先进的 Nano Spray 技术，目前已经可以提供 28nm 节点的全部半导体湿法工艺设备，下半年将有 7台套 12寸槽式设备和 8台套 12寸单片设备将交付到中芯、华虹集团、燕东科技等主流客?产线，另外在更先进的 14-7nm技术世代已经接到 4台套机台多个工艺的正式订单，将于 2022年交付至客?产线验证。我们预计公司 2021-2022年半导体湿法设备订单可达 12/20亿元，对应清洗设备收入分别为 7.68/13.90亿元，其中单片清洗设备收入在湿法设备总营收中的占比分别为 40.10%/50.36%，占比正在快速提升中。 盈利预测、估值与评级：至纯科技是国内半导体湿法设备的龙头，随着公司国内一线客?的不断导入和验证以及单片清洗设备的逐步放量，公司有望迎来快速发展期。我们维持至纯科技 2021-2023年的归母净利润分别为 3.47、3.81、5.55亿元，当前市值对应的 PE 分别为 49x、44x、30x，维持“买入”评级。 风险提示：国产化进度不及预期，晶圆厂扩张不及预期，技术研发不及预期。

事件：公司控股子公司至微科技拟通过增资扩股引入战略投资者并进行部分股权转让。本次交易各方合计增资额为4.2亿元，股权转让涉及金额2.32亿元。 本次交易完成前，公司持有至微科技的股份比例为99.34%，本次交易完成后，公司持有至微科技的股份比例为77.11%。 点评： 至微科技为公司湿法设备主体，产业基金增资助力加速发展至微科技是公司湿法设备研发和产业化的主体，累计已获得来自各大集成电路制造领先企业的湿法设备订单超过160台，成为国内湿法设备的主要供应商之一。此次增资方包括大基金二期、中芯聚源、装备材料基金、远致星火、芯鑫鼎橡等，涵盖国内顶级半导体产业基金，一方面是对公司清洗设备的肯定，另一方面也有助于双方形成以股权为纽带的战略合作关系，加强产业合作，加速公司设备的导入。同时，此次增资方之一芯晟至远执行事务合伙人为公司高管陆磊先生，参与此次增资也有利于激励公司管理层积极投入公司业务发展。 半导体业务进入快车道，先进湿法清洗设备持续获得验证后正式订单清洗设备目前公司已可以提供28nm节点的全部湿法工艺设备，首批次单片湿法设备已交付并顺利通过验证。下半年将有7台套12寸槽式设备和8台套12寸单片设备交付到中芯、华虹等主流客户产线。更先进14nm-7nm技术世代接到4台套机台多个工艺的正式订单，将于2022年交付至客户产线验证。 同时晶圆再生项目7月已正式量产，有望在2021年贡献2个月度产值。 盈利预测与评级维持对公司的盈利预测，预计公司2021-2023年净利润为3.22、4.19、4.78亿元，看好公司半导体清洗设备的持续放量，维持“增持”评级。 风险提示高纯系统订单不达预期，清洗设备基地进展放缓，下游需求不达预期。

事件：公司控股子公司至微科技拟通过增资扩股引入战略投资者并进行部分股权转让。本次交易各方合计增资额为4.2亿元，股权转让涉及金额2.32亿元。本次增资的同时，公司将持有的至微科技对应本次增资4.2亿元后的7.95%的股权以2.32亿元转让给远致星火。本次交易完成后，公司持有至微科技的股份将从99.34%降低至77.11%。 大基金二期入股子公司，清洗设备有望加速发展：公司子公司至微科技通过增资扩股引入了包括大基金二期、中芯聚源、装备材料基金、远致星火、芯鑫鼎橡等股东，此次战投股东名单涵盖了国内顶级的半导体投资基金，表明了市场对于公司未来发展前景的看好。通过此次增资，公司不仅增强了资金实力，还有利于公司与国内头部半导体公司加强产业合作，公司半导体清洗设备发展有望加速。 半年报业绩符合预期，新增订单饱满：21H1，公司业绩大幅增长，主要由于半导体行业景气导致的主营业务订单大幅增加。单看Q2营收6.89亿元，同比增长68.87%，环比增长198.27%。毛利率及净利率分别-3.01pct/+10.68pct，系随着公司业务体量增长，增加了销售费用（+70.44%））、管理费用（+64.46%）及研发投入（+35.83%）。截至报告期末，公司整体业务新增订单达到17.2亿元，达到去年全年新增订单的88%。 湿法设备发展迅速，再生晶圆前景可期：根据公司公告，上半年新增订单中整个半导体板块新增订单14.2亿元，其中湿法设备新增订单4.3亿元，达到上一年度全年湿法设备订单的85%，其中单片设备新增订单2亿元。目前市场主要的湿法设备厂商以日本和欧美为主，而国内厂商的市场占比在逐年上升。根据公告，公司已经具备生产8-12寸高阶单晶圆湿法清洗设备和槽式湿法清洗设备的相关技术，目前已可以提供28nm节点的全部湿法工艺设备，首批次单片湿法设备已交付并顺利通过验证，21H2将有7台套12寸槽式设备和8台套12寸单片设备将交付到中芯、华虹集团、燕东科技等主流客户产线；14nm~7nm技术世代已接到4台套机台多个工艺的正式订单，将于2022年交付至客户产线验证。再生晶圆方面，据SEMI预测，2021年再生晶圆市场规模会扩大到6.33亿美元。目前硅片正片大厂19~20年并无大规模扩产动作，供应有限。我们认为公司再生晶圆市场规模将会随着正片稀缺而稳步上升，成为公司新的业绩增长点。根据公告，公司合肥项目将是国内第1条14nm的12寸晶圆再生产线，项目建成后，将形成年产168万片晶圆再生和120万件半导体零部件再生产能。已于2021年7月正式量产，产能爬坡后有望在2021年度贡献2个月度的产值。 投资建议：我们预计公司2021年~2023年的收入分别为19.84亿元、27.18亿元、36.69亿元，归属上市公司股东的净利润分别为3.72亿元、5.10亿元、6.73亿元，对应EPS分别为1.17元、1.60元、2.11元，维持“买入-A”投资评级。 风险提示：先进制程工艺突破不达预期的风险；进口零部件渠道受阻的风险；出货放量不达预期的风险；股东解禁减持的风险。

事件：2021年8月31日，公司发布中报。上半年公司实现营收9.21亿元，同比增长76.51%；归母净利润1.51亿元，同比增长395.51%；扣非归母净利润0.43亿元，同比增长69.06%。单Q2，实现营业收入6.89亿元，同比增长68.85%；归母净利润0.76亿元，同比增长67.12%；扣非归母净利润0.40亿元，同比增速-7.34%。 上半年业绩符合预期，营收大幅增厚上半年公司实现营收9.21亿元，yoy+76.51%，营收大幅增厚，主要系集成电路产业景气所带来的高纯系统业务及半导体设备业务订单大幅增加；归母净利润1.51亿元，yoy+395.51%，主要系公司收入规模整体增加、公司公允价值变动损益及补贴收入增加所致，上半年公司非经营损益合计1.08亿元，其中非流动资产处置损益1402万元、政府补助7802万元、金融资产公允价值变动4118万元。扣非归母净利润0.43亿元，yoy+69.06%。 在手订单充裕，业绩前瞻性指标屡创新高，奠定全年高增长公司在手订单充裕，半导体板块订单旺盛。截至2021年6月30日，公司整体业务新增订单达到17.2亿元，达去年全年的88%，其中半导体板块订单旺盛，达14.2亿元，占比82.6%，公司半导体业务继续行驶在发展快车道上。 业绩前瞻性指标存货、合同负债屡创新高，主要系公司业务规模增加。 中报披露公司存货9.75亿元，同比增长39.5%，较年初增长22.7%，其中未完工项目4.11亿元，发出商品3328万元，合计占比45.57%，完成验收后将确认收入；合同负债2.52亿元，同比增长59.93%，较年初增长47.62%。业绩前瞻性指标屡创新高，印证了公司业务订单旺盛，奠定全年高增长。 各业务板块发展加快，产品端&&客户端均有所突破（11）高纯工艺集成系统：新增订单998.8亿元，技术攻关顺利。①新增订单大幅增长主要系一线客户持续扩展产能。②技术攻关顺利，深化介质系统国产程度：公司新产品半导体级先进前驱体物料供应系统（LDS）、干式特殊气体排放处理设备（DryScrubber）等已顺利接到客户订单，并已启动半导体制程设备侧气体供应模块（IGS）的研发项目，随着研发进程的推进，公司高纯工艺集成系统业务板块将持续稳健增长。 （22）湿法清洗设备：单片湿法设备认证顺利，新老客户订单不断突破。 ①单片设备认证顺利，工艺覆盖面再度拓宽：公司具备提供28nm节点的全部湿法工艺设备能力，重视12寸单片设备发展，目前首批单片设备已交付并顺利通过验证，下半年将有7台套12寸槽式设备和8台套12寸单片设备分别交付到中芯、华虹集团、燕东科技等主流客户产线。 ②公司订单与客户同步突破：湿法设备新增订单达4.3亿元，达去年全年85%，其中单片设备2亿元。上半年新增订单中有17台套是中国大陆（中芯宁波、中芯绍兴、中芯天津、华为、燕东科技）以及中国台湾（力积电）等老客户的重复订单；11台套是化合物半导体、大硅片以及先进封装领域的销售新突破（绿能芯创、天岳、英诺赛科、晶方等）。 （33）晶圆再生：77月已正式量产，有望推动再生晶圆国产化进程。公司晶圆再生项目有望在2021年度贡献2个月度的产值，随着该项业务突破，将有效解决高阶晶圆制造中晶圆再生依靠出口处理的问题，推动半导体产业链材料端国产替代进程。 公司发展战略清晰，朝工艺装备及材料核心供应商稳步迈进从发展战略来看，公司以高纯工艺集成系统起家，并以此为核心，不断沿产业链向上游延伸，切入半导体制造核心设备与半导体材料领域。我们认为公司从工程配套系统业务逐渐转向设备、材料等核心业务，业务结构逐渐优化，商业模式的变迁将改变公司产业链地位，打开成长空间。 未来公司将从高纯工艺系统配套服务商升级成为工艺装备及材料核心供应商，并积极向部分细分新兴下游产业链延伸。投资建议预计公司2021-2023年EPS分别1.06/1.39/1.59元，对应PE47.39/36.37/31.70X。首次覆盖，给予“增持”评级。 风险提示下游晶圆厂资本开支不及预期，行业竞争加剧、全球贸易摩擦深化带来半导体全产业不确定性

事件： 公司发布2021年半年报， 2021H1公司实现营业收入9.20亿元， 同比增长76.51%； 归属于上市公司股东的净利润1.50亿元， 同比增长395.51%。 事件点评： 集成电路产业高景气驱动公司营收高增长， 净利润高增长主要由非经常性损益贡献。 2021H1公司实现营业收入9.20亿元， 其中高纯工艺集成系统的营业收入为5.81亿元， 同比增长53.40%； 半导体设备的营业收入为2.69亿元， 同比增长254.02%； 光传感及光器件的营业收入为0.69亿元， 同比增长2.76%。 公司营业收入高增长， 主要受益于集成电路产业景气所带来的高纯系统业务及半导体设备业务订单大幅增加。据国家统计数据， 今年上半年国内集成电路产量同比增长46.07%。 2021H1，公司扣非后归母净利润为4,263.52万元， 同比增长69.06%， 非经常性损益为1.08亿元， 其中计入当期损益的政府补助7,801.84万元,该项目主要包括光电子项目补助6,780万元。 高纯工艺系统业务板块多项目研发落地、 放量在即。 2021H1， 至纯集成获得了 9.8亿元的新增订单， 高纯工艺系统多种产品放量在即。 经过 2020年的研发投入， 半导体级先进前驱体物料供应系统（LDS） 已研发完成， 并接到核心客户的首台订单， 将于 2021年 3季度搬入上线测试进入验证阶段； 今年上半年， 干式特殊气体排放处理设备（DryScrubber） 通过多个 12寸半导体工厂验证， 并在 6个月内获得超过 80台设备的订单； 首个服务于 12寸半导体的电子级大宗气工厂处于建设高峰中， 主要设备开始搬入， 预计在 2021年 3季度进入调试， 年底投入运行。 12寸单片设备不断突破， 晶圆再生项目量产。 1） 目前公司已可以提供28nm节点的全部湿法工艺设备， 首批次单片湿法设备已交付并顺利通过验证， 下半年将有7台套12寸槽式设备和8台套12寸单片设备将交付 到中芯、 华虹集团、 燕东科技等主流客户产线。 公司在更先进的14nm~7nm技术世代已接到4台套机台多个工艺的正式订单， 将于2022年交付至客户产线验证。 上半年新增订单中有17台套是中国大陆（中芯宁波、 中芯绍兴、 中芯天津、 华为、 燕东科技） 以及中国台湾（力积电）等老客户的重复订单； 11台套是化合物半导体、 大硅片以及先进封装领域的销售新突破（绿能芯创、 天岳、 英诺赛科、 晶方等） 。 湿法设备的研发仍在持续投入中， 湿法设备的核心零部件的开发也在全力推进中。 2） 公司重资投入的晶圆再生业务系自身在湿法工艺设备、 高纯化学品供应系统、 工艺团队等原有业务能力的优势整合， 又能有效解决高阶晶圆制造中晶圆再生依靠出口处理的问题。公司于合肥新站投资的晶圆再生和部件再生项目已于2021年7月正式量产， 产能需要一定时间爬坡，有望在2021年度贡献2个月度的产值。 订单高增长， 半导体设备处于快速发展阶段。 公司整体业务新增订单17.2亿元， 达到去年全年新增订单的88%。 报告期新增订单中， 整个半导体板块新增订单14.2亿元， 超过去年13.6亿元的订单规模， 其中湿法设备新增订单4.3亿元， 达到上一年度全年湿法设备订单的85%， 湿法设备订单中单片设备新增订单2亿元。 综合毛利率下降， 下半年有望回升。 公司综合毛利率为30.87%， 较去年同期下降3.21Pct。 高纯工艺集成系统毛利率31.34%， 同比下降0.42Pct； 半导体设备毛利率23.91%， 同比下降5.9Pct， 主要系低毛利产品占比提升， 下半年产品结构调整后有望回升； 光传感及光器件， 毛利率53.13%， 同比下降2.22Pct。 投资建议： 我们预计公司2021-2023年的净利润分别为3.39/4.09/4.92亿元， EPS分别为1.07/1.28/1.55元， 当前股价对应PE为50/42/34倍。 考虑集成电路行业处于高景气周期， 公司设备研发不断取得技术突破， 订单高增长， 我们将其评级由“中性” 上调“增持”投资评级。 风险提示： 人才流失风险； 行业竞争加剧风险； 下游需求放缓风险。

高纯工艺系统龙头，湿法设备生力军。公司从高纯工艺系统起步，逐步拓展了BU1-5五个事业部，分别开展湿法设备/晶圆再生、高纯工艺系统、先进工艺材料、生物制药、光传感及光器件业务，有望发挥客户资源优势，实现各业务的协同发展。 伴随业务线的不断拓宽，公司营收构成持续丰富，收入规模强劲增长。 2016-2020年，公司营业收入从2.63亿元增长至13.97亿元，年均增速51.8%。利润方面，伴随湿法设备批量出货及高毛利的传感业务拓展，公司利润率逐年提升，2021年Q1毛利率达42%。 作为晶圆厂上游的设备和系统供应商，至纯科技的成长将深度受益于国内晶圆代工产能的高速扩张。据我们统计，2021年国内晶圆厂新增产能将达64万片/月（等效8英寸）。公司亦于2019/20年分别通过可转债和定增融资扩产，满足下游需求增长。 系统：下游需求旺盛，本土客户全面覆盖。高纯工艺系统是晶圆厂建设的关键基础设施，承担化学品储存和输送的作用。高纯工艺系统约占晶圆厂建厂成本的8%，是晶圆厂建设中价值量较高的资本开支环节。除了集成电路制造，泛半导体领域的面板、光伏、LED，以及光纤、生物制药等行业亦有广泛的高纯工艺系统需求。 高纯工艺系统业内龙头主要为美、日、台系厂商，国内厂商起步较晚，公司是其中的领军者。2020年系统业务收入8.63亿元，毛利率32%，领先竞争对手，并拥有上海华力、中芯国际、长江存储、合肥长鑫、士兰微、西安三星、无锡海力士等众多行业一线客户，2020年所有核心客户均给予了持续的重复订单。 湿法设备：客户验证顺利，单片批量交付在即。清洗是贯穿半导体产业链的重要工艺环节，每一代制程升级将带来平均15%的清洗步骤增长，重要性凸显。据台湾工研院数据，2020年半导体清洗设备市场空间49亿美元，2025年将达67亿美元。当前全球清洗设备市场由日韩巨头垄断，2018年，DNS、TEL、SEMES、Lam 四家厂商占据了90%以上的市场份额，国内有至纯、北方华创、盛美、芯源微四家厂商重点布局。 当前湿法清洗设备国产化率约达20%。 2020年，公司单片湿法设备和槽式湿法设备全年出机超过了30台，较2019年增长50%。同时单片式湿法设备新增订单金额超过3.6亿元，同比增长112%。产品覆盖28nm 以上全部制程节点，14nm 预计明年开始验证。客户方面公司打入中芯国际、华润微、台湾力晶、TI 等海内外龙头客户，获得重复订单。伴随公司持续扩产，我们看好公司在下游客户获得持续的份额增长。 业务拓展：晶圆再生填补国内空白，并购开辟传感业务。晶圆再生业务是湿法工艺的延伸，主要用于测试片晶圆的重复利用。伴随硅片用量的持续增长和价格上涨，晶圆再生需求旺盛。而当前国内供应商份额不足10%，国产替代意愿强烈。至纯合肥工厂是中国首个量产12英寸再生晶圆的工厂，建成后预计将形成年产168万片的晶圆再生产能。 光传感是公司通过并购波汇开启的另一战场。2018年全球光纤传感器市场规模达43亿美元，空间可观。对波汇的并购有效增厚了公司的利润，2020年贡献3.17亿元营收和0.7亿元净利。 盈利预测与投资评级：我们预计公司2021/22/23年，营收分别为19.03/25.71/31.23亿元，归母净利润分别为3.16/4.24/5.24亿元，对应当前股价PE 分别为61/46/37倍。对比同行业可比公司，至纯当前估值 仍处于合理区间。考虑到公司作为湿法清洗设备的龙头公司，随着设备技术的不断突破，具备较强的国产替代确定性，市占率有望持续提升。 首次覆盖，给予“买入”评级。 风险因素：行业周期性波动风险；下游客户扩产不及预期风险；国际贸易摩擦风险。

投资摘要 估值与投资建议 我们预计公司2021/2022/2023年营收分别为18.28亿元/22.96亿元/27.57亿元，归母净利润分别为2.83亿元/3.64亿元/4.32亿元，对应当前股价的PE分别为41x/32x/27x。公司通过高纯工艺系统起家，和半导体一线用户建立了良好合作关系，湿法清洗设备和系统集成业务有望实现协同发展。未来随着清洗设备收入占比不断提升，公司估值有望重构。在我国半导体产业面临外部打压背景下，国产替代是行业发展趋势，我们看好公司湿法设备的成长性，未来六个月内维持“增持”评级。 高纯工艺系统产品线丰富，已切入下游多家一线知名厂商 高纯工艺系统广泛应用于集成电路、显示屏、光伏、生物制药及食品饮料等领域，下游应用领域良好发展势头有利于驱动高纯工艺系统的需求增长。公司具有涵盖气体、化学品等高纯工艺设备及系统的丰富产品线，拓展了研磨液系统、前驱体介质系统、大宗气体系统等相关技术研发，加大了对工艺减排、产品服务化的布局。公司在高纯工艺系统领域属于具有承接大型项目的实力与经验的本土企业，产品已切入中芯国际、士兰微、长江存储、台积电、海力士等知名厂商。 不断加大在半导体湿法清洗设备领域布局，订单保持快速增长态势 2020年中国大陆成为全球最大半导体设备市场，销售额达到187亿美元，占全球26.3%。随着全球“缺芯”蔓延，半导体企业纷纷扩产，未来对设备需求有望保持增长态势。公司湿法设备能提供到28nm节点的全部湿法工艺，14nm及7nm工艺预计2022年可供客户验证。客户包括中芯国际、华虹集团、长鑫存储、华为、台湾力晶等行业领先者。2020年湿法设备出货量超过30台，新增订单5.3亿元，增长211.8%。 通过并购进入光纤传感及光电子元器件领域，培育新的业绩增长点 2019年公司通过并购从事光纤传感及光电子元器件业务的波汇科技来扩大业务边际领域。公司正在扩建光电子材料及器件产能，丰富产品结构的同时拓展下游应用领域至5G、数据中心、工业、医疗等高新行业，有利于培育新的业绩增长点。此外，公司通过在高纯工艺系统及工艺制程设备中运用波汇科技的光传感技术，可进一步提升公司的市场竞争地位，通过发挥业务协同效应，提升产品价值和市场空间。 风险提示：（1）行业竞争加剧，新增订单不及预期；（2）新产品拓展不及预期；（3）下游需求不及预期。

至纯科技清洗设备国内龙头地位稳固，具备卡位优势目前至纯已成长为国内半导体清洗设备两家龙头之一。 （1）从订单金额上来看，公司 S300单片湿法设备的订单超过 10台（超 3亿元）。我们预计2021年新接清洗机订单金额将会继续快速增长，至纯与盛美将会共同占据国内清洗设备高端市场的双龙头地位； （2）从技术上看，至纯已在技术难度更高的单片式设备上获得突破，并在几个特殊工艺上（晶背清洗、高温硫酸、异丙醇干燥）弥补了国内空白。 （3）从交付能力上看，2020年至纯的单片设备和槽式设备全年出机超过了 30台。对于 5年（2018-2022）200台的目标，2018-20年至纯已累计出货小 70台，我们预计 2022年累计 200台的目标将顺利完成。至纯科技在清洗机上具备人才+技术+客户的先发优势，行业新进入者的零部件供应+新型机台验证较困难，因此我们判断至纯目前的龙头地位具备延续性。 清洗设备赛道好空间大，有望率先实现全面国产化相比于刻蚀机、光刻机和 CVD 设备，技术门槛较低的清洗机有望率先实现未来 3-5年的全面国产化。我们预计中国大陆地区每年的湿法清洗设备空间在 15-20亿美元，目前除长江存储之外的各家晶圆厂，清洗机的国产化率均在 10%以内。我们假设到 2023年清洗机的国产化率可达 40%-50%，则国产设备每年的市场空间在 40-70亿元；我们判断 2025年左右可以实现绝大多数清洗机机型的国产化，则国产设备市场空间约 100-130亿元。作为国内龙头，公司的清洗机已覆盖 0.35um 到 28m 线宽的制程工艺，我们看好中长期至纯清洗机逐步突破高制程工艺技术。 传统主业高纯工艺系统：国内龙头地位稳定，为公司贡献稳定现金流至纯高纯工艺系统国内龙头地位逐步稳固，客户选择系统供应商非常谨慎、客户粘性高，预计未来可保持年化 10%-20%的复合增长。目前行业内技术领先且具有承接大项目实力与经验的本土企业较少，呈现出高等级市场集中度较高（主要为国外龙头）、低等级市场较为分散的竞争格局。 我们判断该业务未来三年有望保持 15%的复合增速，我们预计 2020-2022年高纯工艺系统收入分别为 7.3、8.4、9.7亿元。 晶圆再生业务：至纯竞争优势显著，静待晶圆再生业务空间打开至纯晶圆再生业务团队来自于成熟的技术团队，具备业务经验及技术优势。 （1）相比于海外竞争对手，至纯具备距离优势，直接为客户节约物流费用； （2）相比于国内竞争对手，至纯具备成本优势。我们判断，伴随下游晶圆市场放量，晶圆再生业务空间即将打开，集距离优势、技术优势及成本优势于一身的至纯将充分受益。 盈利预测与投资评级：我们考虑到下游晶圆厂的设备国产化进程加速和至纯的清洗机业务进入客户订单放量阶段，我们预计 2020-2022年的净利润分别为 2.15/3.05/3.96亿，对应当前股价 PE 为 50、35、27倍，上调至“买入”评级。

至纯科技清洗设备国内龙头地位稳固，具备卡位优势目前至纯已成长为国内半导体清洗设备两家龙头之一。 （1）从订单金额上来看，公司 S300单片湿法设备的订单超过 10台（超 3亿元）。我们预计2021年新接清洗机订单金额将会继续快速增长，至纯与盛美将会共同占据国内清洗设备高端市场的双龙头地位； （2）从技术上看，至纯已在技术难度更高的单片式设备上获得突破，并在几个特殊工艺上（晶背清洗、高温硫酸、异丙醇干燥）弥补了国内空白。 （3）从交付能力上看，2020年至纯的单片设备和槽式设备全年出机超过了 30台。对于 5年（2018-2022）200台的目标，2018-20年至纯已累计出货小 70台，我们预计 2022年累计 200台的目标将顺利完成。至纯科技在清洗机上具备人才+技术+客户的先发优势，行业新进入者的零部件供应+新型机台验证较困难，因此我们判断至纯目前的龙头地位具备延续性。 清洗设备赛道好空间大，有望率先实现全面国产化相比于刻蚀机、光刻机和 CVD 设备，技术门槛较低的清洗机有望率先实现未来 3-5年的全面国产化。我们预计中国大陆地区每年的湿法清洗设备空间在 15-20亿美元，目前除长江存储之外的各家晶圆厂，清洗机的国产化率均在 10%以内。我们假设到 2023年清洗机的国产化率可达 40%-50%，则国产设备每年的市场空间在 40-70亿元；我们判断 2025年左右可以实现绝大多数清洗机机型的国产化，则国产设备市场空间约 100-130亿元。作为国内龙头，公司的清洗机已覆盖 0.35um 到 28nm 线宽的制程工艺，我们看好中长期至纯清洗机逐步突破高制程工艺技术。 传统主业高纯工艺系统：国内龙头地位稳定，为公司贡献稳定现金流至纯高纯工艺系统国内龙头地位逐步稳固，客户选择系统供应商非常谨慎、客户粘性高，预计未来可保持年化 10%-20%的复合增长。目前行业内技术领先且具有承接大项目实力与经验的本土企业较少，呈现出高等级市场集中度较高（主要为国外龙头）、低等级市场较为分散的竞争格局。 我们判断该业务未来三年有望保持 15%的复合增速，我们预计 2020-2022年高纯工艺系统收入分别为 7.3、8.4、9.7亿元。 晶圆再生业务：至纯竞争优势显著，静待晶圆再生业务空间打开至纯晶圆再生业务团队来自于成熟的技术团队，具备业务经验及技术优势。 （1）相比于海外竞争对手，至纯具备距离优势，直接为客户节约物流费用； （2）相比于国内竞争对手，至纯具备成本优势。我们判断，伴随下游晶圆市场放量，晶圆再生业务空间即将打开，集距离优势、技术优势及成本优势于一身的至纯将充分受益。 盈利预测与投资评级：我们考虑到下游晶圆厂的设备国产化进程加速和至纯的清洗机业务进入客户订单放量阶段，我们预计 2020-2022年的净利润分别为 2.42/3.39/4.45亿，对应当前股价 PE 为 43、30、23倍，上调至“买入”评级。

公司2020年业绩预告，2020年全年预计实现归母净利润2-2.3亿元，同比增长81%-109%，Q4单季度归母净利润预计为1.2-1.5亿元，大幅增长226-309%，得益于公司半导体领域及光电子领域的快速增长，全年业绩超预期。扣非净利润为1.2-1.5亿元，同比增长33%-66%。 经营分析响受疫情影响2020Q4业绩井喷，湿法设备供不应求。根据公司12月投资者关系活动记录及官微，公司2020年下半年订单井喷，槽式设备（主要供应8寸）供不应求，2020年公司湿法设备全年出货30台，2020年公司交付给华虹集团ICRD的12寸单片设备正式搬入，向合肥长鑫交付了一台12寸的特殊工艺的单片设备，截止2020年底单片设备订单超过10台，单片订单净额超过3亿元。后续单片设备有望在21年逐步放量，公司保持5年到2022年完成200台装机目标不变。公司目前湿法工艺设备所能生产的晶圆技术节点已经覆盖0.35um到28m，具有14m的技术储备。 划晶圆再生项目进展顺利，计划2021Q1流片。项目首期产能计划为7万片/月，年产84万片。合肥项目的产能已基本已被下游客户预定，下游可以覆盖到合肥当地的长鑫、晶合、以及周边的无锡、南京、武汉的晶圆厂。目前因为国内没有晶圆再生相应业务，都是送到日本台湾进行晶圆再生，相对于境外竞争对手，预计可为当地客户节省30%的物流成本。 公司重点布局半导体领域，包括高纯工艺系统、湿法设备以及晶圆再生服务，服务于同一批客户。就主业高纯工艺系统板块来看，半导体占比60%，下游头部客户包含三星、海力士、台积电、中芯、华虹、长存、长鑫、士兰微等，后续公司在湿法设备的突破上有望借助已有的客户资源，实现快速成长。2020年上半年疫情对高纯工艺系统有部分影响，但下半年行业整体恢复增长，订单呈现快速增长状态。 盈利调整与投资建议预计公司2020-22年实现营收14/19/24亿元，同比增长40%/39%/25%，公司2020年下半年订单井喷，槽式设备供不应求，单片式湿法设备打入多个下游大客户，上调2020-2022年归母净利润分别为2.1/3.0/4.3亿元，同比增长88%/47%/42%，分别上调22%/7%/2%，对应P/E为67x/46x/32x，给予2021年60倍PE，目标价58元/股，维持“买入”评级。 风险提示新产品拓展情况不及预期、下游扩产及产能爬坡不及预期、行业竞争加剧。

事件1：公司2020年前三季度实现营收7.6亿元，同比+24.15%；归母净利润0.83亿元，同比+10.76%；扣非归母净利润0.41亿元，同比-30.08%。 件事件2：10月30日公司公布第三期股权激励计划，拟向133名激励对象授予限制性股票及股票期权总计600万份，占总股本的2.31%，其中首次授予510万份。 投资要点Q3收入小幅下滑，在手订单逐步释放将推动后续业绩修复单三季度公司实现收入2.39亿元，同比-14.8%。Q3公司收入同比小幅下滑，但受益于二季度湿法设备陆续交付并确认收入，整体来看前三季度收入实现稳定增长。我们认为在半导体设备行业景气持续，清洗设备国产替代加速的背景下，公司清洗设备产品的供需结构没有改变，只是收入确认周期带来季度间业绩的不平衡性。随着在手清洗设备订单逐步释放，将推动业绩稳步增长。 单润三季度归母净利润0.52亿元，同比+65.4%；扣非归母净利润0.16亿元，同比-49.5%。Q3非经常性损益达0.37亿元，较去年同期的61万增长5860%，主要原因为间接持有的中芯国际股票带来的公允价值变动净损益达0.42亿元，而去年同期无此项目。 Q3毛利率大幅增长，清洗设备业务拓展致费用率小幅上升前三季度综合毛利率35.8%，同比+1.8pct，环比+1.7pct；Q3单季毛率利率39.5%，同比+4.5pct，环比+6.5pct，Q3毛利率实现大幅增长，我们预计主要因为高毛利的清洗机业务开始确认收入。 前三季度净利率为10.7%，同比-0.9pct；Q3单季净利率22.2%，同比+10.8%。前三季度费用率为27.4%,同比+3.8pct。其中管理费用率（含研发）17.7%，同比+2.1pct，主要系湿法设备业务板块团队继续扩容、人员成本上升所致；销售费用率4.5%，同比+0.3pct；主要原因为公司增加了湿法设备、高纯业务等业务板块的销售力度；财务费用率5.2%，同比+1.3pct，主要系可转债利息费用增加所致。 截至Q3末公司合同负债达4.9亿元，同比大幅增长86.2%；存货8.7亿元。同比+26.9%。预计公司在手订单充足，将支持后续业绩增长。 激励方案业绩考核彰显未来发展信心第三期股权激励计划拟向公司董事、高级管理人员、核心技术骨干共计133人授予权益600万份（占公司总股本的2.31%）。其中包括：1）期权557万份（占公司总股本的2.14%），首次授予467万份，行权价格为35.52元；2）股票43万份（占公司总股本的0.17%），首次授予43万股，授予价格17.76元。本次股权激励计划分三期解锁，考核目标均为2021-2023年归母净利润达到1.3亿元/1.8亿元/2.3亿元，解除限售比例均为30%/30%/40%，若2023年达成目标，则对应2019-2023年归母净利润复合增速为20%。 公司第三期股票激励预留股票的授予价格为17.76亿元，较预留权益公告前一日32.57元收盘价折价率约45%，激励力度较大，将有效调动参与对象共同完成公司经营目标的积极性。同时股权激励方案的推出以及相应的业绩考核要求也彰显了公司对中长期发展的高度信心。 盈利预测与投资评级：我们预计公司2020-2022年的净利润分别为1.34/1.83/2.56亿，对应当前股价PE为63、46、33倍，维持“增持”评级。 风险提示：半导体业务进展不及预期；毛利率波动风险。

2020H1公司实现营业收入 5.21亿元，同比增长 57.07%；实现归母净利润 3036.28万 元，同比减少 29.58%；扣非后归母净利润 2521.88万元，同比减少 8.31%。营业收入 大幅增加主要系公司湿法设备陆续交付并确认收入，据公司官微报道，公司二季度单 片、槽式释放设备出货超过十台。高纯系统及设备业务受疫情影响较大，导致公司一 季度出现亏损，拖累公司上半年业绩表现。 2020Q2公司业绩强势复苏，实现营业收 入 4.08亿元，同比增长 88.94%，环比增长 260.59%；公司实现归母净利润 4519.11万 元，同比增长 42.61%，环比增加 6001.94万元。 2020H1公司综合毛利率 34.08%，同比增加 0.94个百分点；净利率 5.46%，同比减少 6.41个百分点。政府补助减少、信用减值等因素是影响净利率的主要原因， 2020H1公司计入其他收益的政府补助同比减少 867万元，信用减值损失同比增加 1164万元。分季度看， 2020Q2公司单季度毛利率 32.95%，同比减少 1.38个百分点，环比减少 5.22个百分点；单季度净利率 10.98%，同比减少 2.55个百分点，环比增加 25.41个百 分点。 2020H1公司期间费用为 1.35亿元，同比增长 59.37%，期间费用占营收比重 25.88%， 同比增加 0.37个百分点。 其中，销售费用 2226.25万元，同比增长 74.73%，占营业收 入的 4.27%，同比增加 0.43个百分点；管理费用 5342.9万元，同比增长 53.37%，占 营业收入的10.25%，同比减少0.25个百分点；财务费用2345.08万元，同比增长58.69%， 占营业收入的4.5%，同比增加0.05个百分点；研发费用3581.45万元，同比增长60.41%， 占营业收入的 6.87%，同比增加 0.14个百分点，研发费用增加主要系公司继续加大半 导体设备业务板块的研发投入所致。 截至 2020年 6月 30日，公司应收账款、应收票据、应收款项融资合计 8.74亿元，同 比增长 4.49%；存货 6.93亿元，同比增长 16.08%。公司应收账款周转率 0.63次，同 比增加 0.11次，存货周转率 0.52次，同比增加 0.08次。加权平均净资产收益率 2.04%， 同比减少 3.26个百分点。 2020H1公司经营活动产生的现金流净额-1.06亿元，同比减 少 2010.06%；投资活动产生的现金流量净额-3.79亿元，同比增加 750.59万元；筹资 活动产生的现金流量净额 3.47亿元，同比减少 31.53%。 我们调整公司的盈利预测，预计公司 2020-2022年可实现归母净利润 1.43/1.97/2.64亿 元， EPS 为 0.55/0.76/1.02元，对应 9月 2日收盘价 PE 为 73/53/40倍，维持“审慎增 持”评级。

公司发布2020年中报。上半年公司实现营业收入5.21亿元，同比增长57.1%；实现归母净利润0.30亿元，同比下滑29.6%；实现扣非归母净利润0.25亿元，同比下滑8.3%。其中非经常性损益项目主要为政府补助。19H1公司1846万元政府补助全部计入当期损益，增厚了当期利润；20H1公司政府补助共2526万元，其中799万计入当期损益，剩余1727万元确认递延收益。 湿法设备批量交付，助推Q2业绩高增长。20Q2公司实现收入4.08亿元，同比增长88.9%；实现归母净利0.45亿元，同比增长42.6%；实现扣非归母净利润0.43亿元，同比增长139.2%。收入快速增长主要由于湿法设备陆续交付。根据公司官方微信，公司单片清洗与槽式湿法设备Q2出机超过十台。公司槽式设备已经具备较强的竞争力，获得多客户的重复订单，涵盖近90%的湿法化学工艺步骤。目前下游8寸晶圆厂保持产能利用饱满状态，将推动相关设备的更新需求及扩产需求。根据中芯国际20Q1法说会，中芯国际2020年计划8寸厂产能扩充计划为3万片/月。公司槽式设备业务有望充分受益。此外，根据公司官方微信，公司12寸单片湿法清洗设备已经交付ICRD，是公司清洗设备业务迈出突破性一步，通过验证后将有力助推公司单片清洗设备进入量产线。 投资建议：预计2020-2022年收入分别为14.5/20.2/25.0亿元，对应PS分别为7.2/5.2/4.2倍；EPS分别为0.88/1.46/1.82元/股。维持前次合理价值50.67元/股，对应公司20年9倍PS。结合业绩和估值情况，继续给予公司“买入”评级。 风险提示：半导体行业投资进入不及预期；新业务推进不及预期；行业竞争加剧导致毛利率下滑。

事件:公司于7月6日发布公告,投资1亿元作为有限合伙人认购聚源芯星的基金份额,间接认购中芯国际科创版首发股票。 投资要点 中芯国际预计7月科创板上市,多家材料硅片及核心设备供应商参与战略配售。本次发行初始战略配售的股票数量为84281万股,占初始发行数量的50%。战略投资者包括半导体材料--上海新阳;大硅片--中环股份、上海新昇,目前国内仅此两家具备少量12英寸硅片供应能力;刻蚀设备--中微公司;及清洗设备--盛美半导体和至纯科技。 我们认为,此次战略配售将至纯科技与中芯国际深入绑定,有利于建立稳定合作关系,未来公司在共同研发、投标上具备明显优势;同时中芯国际上市后将募资扩产,至纯科技也有望加速获得订单。 国内高纯工艺系统龙头,后发进军半导体清洗设备业务。至纯科技主要从事高纯工艺系统和半导体湿法清洗设备业务,2019年收入分别为6.37亿元和0.82亿元,占比总收入的65%和8%。其中,半导体清洗设备业务,虽然起步稍晚,但市场空间大、增速快,是公司的最大业务亮点。2015-2019年公司收入由2.08亿元增长至9.86亿元,CAGR达48%,归母净利润从1770万增长至1.1亿,CAGR达57%。 看好清洗设备:赛道好空间大,容易率先实现大部分国产化。目前清洗设备在半导体设备市场中价值量占比约5%-6%,较光刻、刻蚀等核心设备价值量较低。但随着晶圆制程工艺的复杂化,清洗机的占比整线的比例未来有望提高至10%。 同时由于清洗机的技术门槛相对较低,我们认为比较容易率先实现全面国产化。我们预计中国大陆地区每年的湿法清洗设备的空间在15-20亿美元,目前除长江存储之外的各家晶圆厂,清洗机的国产化率均在10%以内,假设到2023年清洗机的国产化率可达40%-50%,预计国产设备的每年的市场空间在40-70亿元。 清洗设备业务后发先至,国内龙头地位稳固。公司通过买断日本、韩国技术,引入台湾资深管理团队,迅速实现了技术积累与业务扩张。目前公司已与中芯国际、北京燕东、TI、华润等高端客户达成稳定合作,2019年湿法工艺装备新增订单总额达1.7亿元。目前公司启东一期生产基地全面建成,已达到48套/年的产能,一二期共规划96套/年,公司于2019年12月发行可转债,募资3.56亿元投入槽式和单片式清洗设备的生产制造。项目预计在2022年达产,预计初步可贡献最高达9亿元的清洗机业务的收入规模。我们预计2020到2022年半导体设备收入分别为1.6、2.9、5.0亿元。 二季度公司单片清洗和槽式清洗设备出货超10台,上半年总出货量预计10-15台,全年高增长确定。公司交付ICRD的12寸单片清洗设备已获客户认可,其晶圆表面颗粒清洗能力及每小时产出量可以支持到14nm以下的工艺技术节点,达业界一流水平。公司产品线较为完善,产品覆盖面与技术水平均已具备国际竞争实力。 盈利预测与投资评级:我们预计公司2020-2022年的净利润分别为1.5亿、2.1亿、2.8亿,当前股价对应动态PE分别为82倍、59倍、45倍,在可比公司中处于最低位置,我们看好公司半导体清洗设备业务的发展,在估值上存在提升空间,维持“增持”评级。 风险提示:半导体业务进展不及预期;毛利率波动风险。

事件: 公司通过聚源芯星参与中芯国际科创板IPO战略配售1亿元,中芯国际IPO发行价格为27.46元/股,港股最新收盘价30.30元/股。 投资要点: 参与中芯国际IPO,产业上下游协同公司业绩有望迎高增长。 此次中芯国际IPO战配名单中有14家上市公司参与,且都为半导体产业链上下游相关企业。直接收益上,中芯国际发行价格相比港股折价10%,考虑中芯国际质地优秀,如预期股价追平港股则会为公司带来相比2019年净利润约10%的直接收益;间接收益上,公司已获中芯国际高纯工艺系统以及清洗设备订单,参与战配后有望增进双方合作空间,产品和工艺系统与下游客户协同发展,在中芯国际未来新产线推进时订单有望放量增长。 12寸单片湿法设备交付华虹ICRD,单片清洗设备迈出关键一步。 公司微信号公布交付华虹集团ICRD的300MM单片式湿法设备于6月19日正式搬入,工艺通过验证后公司单片清洗设备将迈入量产阶段。同时今年3月起至今,至微科技以每月2~3台8寸及12寸湿法工艺设备交付客户。公司2019年取得近40台正式订单,已完成近20台设备装机,交付情况良好,2020年有望放量增长。 盈利预测。 基于公司2020年单片、槽式清洗设备进展和产业下游合作的乐观判断,我们维持2020年公司的盈利预测。预计公司2020年-2022年营收14.60、19.77、24.76亿元,归母净利润2.23、3.16、3.98亿元,EPS分别为0.86、1.22、1.54元/股,对应三年PE为52、36、29倍。考虑公司未来几年增速较高,目前公司市盈率水平低于可比公司水平,维持推荐评级。 风险提示。 高纯系统订单不达预期,清洗设备基地进展放缓,下游需求不达预期。