2020H1公司实现营业收入 5.21亿元，同比增长 57.07%；实现归母净利润 3036.28万 元，同比减少 29.58%；扣非后归母净利润 2521.88万元，同比减少 8.31%。营业收入 大幅增加主要系公司湿法设备陆续交付并确认收入，据公司官微报道，公司二季度单 片、槽式释放设备出货超过十台。高纯系统及设备业务受疫情影响较大，导致公司一 季度出现亏损，拖累公司上半年业绩表现。 2020Q2公司业绩强势复苏，实现营业收 入 4.08亿元，同比增长 88.94%，环比增长 260.59%；公司实现归母净利润 4519.11万 元，同比增长 42.61%，环比增加 6001.94万元。 2020H1公司综合毛利率 34.08%，同比增加 0.94个百分点；净利率 5.46%，同比减少 6.41个百分点。政府补助减少、信用减值等因素是影响净利率的主要原因， 2020H1公司计入其他收益的政府补助同比减少 867万元，信用减值损失同比增加 1164万元。分季度看， 2020Q2公司单季度毛利率 32.95%，同比减少 1.38个百分点，环比减少 5.22个百分点；单季度净利率 10.98%，同比减少 2.55个百分点，环比增加 25.41个百 分点。 2020H1公司期间费用为 1.35亿元，同比增长 59.37%，期间费用占营收比重 25.88%， 同比增加 0.37个百分点。 其中，销售费用 2226.25万元，同比增长 74.73%，占营业收 入的 4.27%，同比增加 0.43个百分点；管理费用 5342.9万元，同比增长 53.37%，占 营业收入的10.25%，同比减少0.25个百分点；财务费用2345.08万元，同比增长58.69%， 占营业收入的4.5%，同比增加0.05个百分点；研发费用3581.45万元，同比增长60.41%， 占营业收入的 6.87%，同比增加 0.14个百分点，研发费用增加主要系公司继续加大半 导体设备业务板块的研发投入所致。 截至 2020年 6月 30日，公司应收账款、应收票据、应收款项融资合计 8.74亿元，同 比增长 4.49%；存货 6.93亿元，同比增长 16.08%。公司应收账款周转率 0.63次，同 比增加 0.11次，存货周转率 0.52次，同比增加 0.08次。加权平均净资产收益率 2.04%， 同比减少 3.26个百分点。 2020H1公司经营活动产生的现金流净额-1.06亿元，同比减 少 2010.06%；投资活动产生的现金流量净额-3.79亿元，同比增加 750.59万元；筹资 活动产生的现金流量净额 3.47亿元，同比减少 31.53%。 我们调整公司的盈利预测，预计公司 2020-2022年可实现归母净利润 1.43/1.97/2.64亿 元， EPS 为 0.55/0.76/1.02元，对应 9月 2日收盘价 PE 为 73/53/40倍，维持“审慎增 持”评级。

公司发布2020年中报。上半年公司实现营业收入5.21亿元，同比增长57.1%；实现归母净利润0.30亿元，同比下滑29.6%；实现扣非归母净利润0.25亿元，同比下滑8.3%。其中非经常性损益项目主要为政府补助。19H1公司1846万元政府补助全部计入当期损益，增厚了当期利润；20H1公司政府补助共2526万元，其中799万计入当期损益，剩余1727万元确认递延收益。 湿法设备批量交付，助推Q2业绩高增长。20Q2公司实现收入4.08亿元，同比增长88.9%；实现归母净利0.45亿元，同比增长42.6%；实现扣非归母净利润0.43亿元，同比增长139.2%。收入快速增长主要由于湿法设备陆续交付。根据公司官方微信，公司单片清洗与槽式湿法设备Q2出机超过十台。公司槽式设备已经具备较强的竞争力，获得多客户的重复订单，涵盖近90%的湿法化学工艺步骤。目前下游8寸晶圆厂保持产能利用饱满状态，将推动相关设备的更新需求及扩产需求。根据中芯国际20Q1法说会，中芯国际2020年计划8寸厂产能扩充计划为3万片/月。公司槽式设备业务有望充分受益。此外，根据公司官方微信，公司12寸单片湿法清洗设备已经交付ICRD，是公司清洗设备业务迈出突破性一步，通过验证后将有力助推公司单片清洗设备进入量产线。 投资建议：预计2020-2022年收入分别为14.5/20.2/25.0亿元，对应PS分别为7.2/5.2/4.2倍；EPS分别为0.88/1.46/1.82元/股。维持前次合理价值50.67元/股，对应公司20年9倍PS。结合业绩和估值情况，继续给予公司“买入”评级。 风险提示：半导体行业投资进入不及预期；新业务推进不及预期；行业竞争加剧导致毛利率下滑。

事件:公司于7月6日发布公告,投资1亿元作为有限合伙人认购聚源芯星的基金份额,间接认购中芯国际科创版首发股票。 投资要点 中芯国际预计7月科创板上市,多家材料硅片及核心设备供应商参与战略配售。本次发行初始战略配售的股票数量为84281万股,占初始发行数量的50%。战略投资者包括半导体材料--上海新阳;大硅片--中环股份、上海新昇,目前国内仅此两家具备少量12英寸硅片供应能力;刻蚀设备--中微公司;及清洗设备--盛美半导体和至纯科技。 我们认为,此次战略配售将至纯科技与中芯国际深入绑定,有利于建立稳定合作关系,未来公司在共同研发、投标上具备明显优势;同时中芯国际上市后将募资扩产,至纯科技也有望加速获得订单。 国内高纯工艺系统龙头,后发进军半导体清洗设备业务。至纯科技主要从事高纯工艺系统和半导体湿法清洗设备业务,2019年收入分别为6.37亿元和0.82亿元,占比总收入的65%和8%。其中,半导体清洗设备业务,虽然起步稍晚,但市场空间大、增速快,是公司的最大业务亮点。2015-2019年公司收入由2.08亿元增长至9.86亿元,CAGR达48%,归母净利润从1770万增长至1.1亿,CAGR达57%。 看好清洗设备:赛道好空间大,容易率先实现大部分国产化。目前清洗设备在半导体设备市场中价值量占比约5%-6%,较光刻、刻蚀等核心设备价值量较低。但随着晶圆制程工艺的复杂化,清洗机的占比整线的比例未来有望提高至10%。 同时由于清洗机的技术门槛相对较低,我们认为比较容易率先实现全面国产化。我们预计中国大陆地区每年的湿法清洗设备的空间在15-20亿美元,目前除长江存储之外的各家晶圆厂,清洗机的国产化率均在10%以内,假设到2023年清洗机的国产化率可达40%-50%,预计国产设备的每年的市场空间在40-70亿元。 清洗设备业务后发先至,国内龙头地位稳固。公司通过买断日本、韩国技术,引入台湾资深管理团队,迅速实现了技术积累与业务扩张。目前公司已与中芯国际、北京燕东、TI、华润等高端客户达成稳定合作,2019年湿法工艺装备新增订单总额达1.7亿元。目前公司启东一期生产基地全面建成,已达到48套/年的产能,一二期共规划96套/年,公司于2019年12月发行可转债,募资3.56亿元投入槽式和单片式清洗设备的生产制造。项目预计在2022年达产,预计初步可贡献最高达9亿元的清洗机业务的收入规模。我们预计2020到2022年半导体设备收入分别为1.6、2.9、5.0亿元。 二季度公司单片清洗和槽式清洗设备出货超10台,上半年总出货量预计10-15台,全年高增长确定。公司交付ICRD的12寸单片清洗设备已获客户认可,其晶圆表面颗粒清洗能力及每小时产出量可以支持到14nm以下的工艺技术节点,达业界一流水平。公司产品线较为完善,产品覆盖面与技术水平均已具备国际竞争实力。 盈利预测与投资评级:我们预计公司2020-2022年的净利润分别为1.5亿、2.1亿、2.8亿,当前股价对应动态PE分别为82倍、59倍、45倍,在可比公司中处于最低位置,我们看好公司半导体清洗设备业务的发展,在估值上存在提升空间,维持“增持”评级。 风险提示:半导体业务进展不及预期;毛利率波动风险。

事件: 公司通过聚源芯星参与中芯国际科创板IPO战略配售1亿元,中芯国际IPO发行价格为27.46元/股,港股最新收盘价30.30元/股。 投资要点: 参与中芯国际IPO,产业上下游协同公司业绩有望迎高增长。 此次中芯国际IPO战配名单中有14家上市公司参与,且都为半导体产业链上下游相关企业。直接收益上,中芯国际发行价格相比港股折价10%,考虑中芯国际质地优秀,如预期股价追平港股则会为公司带来相比2019年净利润约10%的直接收益;间接收益上,公司已获中芯国际高纯工艺系统以及清洗设备订单,参与战配后有望增进双方合作空间,产品和工艺系统与下游客户协同发展,在中芯国际未来新产线推进时订单有望放量增长。 12寸单片湿法设备交付华虹ICRD,单片清洗设备迈出关键一步。 公司微信号公布交付华虹集团ICRD的300MM单片式湿法设备于6月19日正式搬入,工艺通过验证后公司单片清洗设备将迈入量产阶段。同时今年3月起至今,至微科技以每月2~3台8寸及12寸湿法工艺设备交付客户。公司2019年取得近40台正式订单,已完成近20台设备装机,交付情况良好,2020年有望放量增长。 盈利预测。 基于公司2020年单片、槽式清洗设备进展和产业下游合作的乐观判断,我们维持2020年公司的盈利预测。预计公司2020年-2022年营收14.60、19.77、24.76亿元,归母净利润2.23、3.16、3.98亿元,EPS分别为0.86、1.22、1.54元/股,对应三年PE为52、36、29倍。考虑公司未来几年增速较高,目前公司市盈率水平低于可比公司水平,维持推荐评级。 风险提示。 高纯系统订单不达预期,清洗设备基地进展放缓,下游需求不达预期。

与中芯国际双向互为战略投资者,助推半导体业务发展。根据公司公告,公司于今年四月引入中芯涌久作为战略投资者。根据徕木股份公告,至纯科技参与投资产业投资基金聚源芯星,且聚源芯星作为战略投资者认购中芯国际集成电路制造有限公司在科创板首次公开发行的股票。其中中芯涌久、聚源芯星的基金管理人均为中芯聚源,后者为中芯国际的投资平台。公司与中芯国际双向战略投资,有望助推公司半导体业务发展。一方面,根据至纯科技2019年年报,中芯国际是公司高纯系统以及半导体湿法设备客户,中芯国际重复购买公司湿法设备,已有6台设备投入使用。当前中芯国际正开启新一轮资本开支,公司有望直接受益其扩产需求。另一方面,中芯聚源已投资的半导体企业已形成了庞大的产业资源库及平台优势,有望在供应链国产化、业务合作、投资孵化、产业布局等方面为公司提供机会和专业支持。 12寸单片式湿法设备交付华虹集团ICRD,槽式设备批量交付。根据公司官方微信,公司交付给华虹集团ICRD的300MM单片式湿法设备于6月19日正式搬入,公司的清洗设备业务迈出突破性一步。此外,3月下旬开始公司槽式设备以每月2~3台的数量交付设备给客户。根据2019年年报,公司已取得近40台正式订单,已完成近20台设备装机。当前公司槽式清洗设备交付情况良好,有望加速增长。 投资建议:预计2020-2022年收入分别为14.5/20.2/25.0亿元,对应PS分别为6.6/4.7/3.8倍;EPS分别为0.90/1.50/1.88元/股。维持前次合计价值50.67元/股,对应公司20年9倍PS。结合业绩和估值情况,继续给予公司“买入”评级。 风险提示:半导体行业投资进入不及预期;新业务推进不及预期;行业竞争加剧导致毛利率下滑。

12寸单片式湿法设备交付华虹集团ICRD,清洗设备业务迈出突破性一步。根据公司官方微信,公司交付给华虹集团ICRD的300MM单片式湿法设备于6月19日正式搬入。ICRD(上海集成电路研发中心有限公司)是国家支持组建、产学研合作的国家级集成电路研发中心,拥有目前国内唯一开放的12英寸集成电路先进工艺研发和国产设备材料评价验证中试线,帮助国内集成电路企业开展各类研究和工艺验证。ICRD拥有浸没式193nm光刻机、硅刻蚀机、原子层薄膜生长(ALD)、高能离子注入机以及全套铜互连和Low-K等先进工艺设备工艺研发能力可达14纳米以下。至纯科技12寸单片湿法清洗设备进入ICRD,是公司清洗设备业务迈出突破性一步,通过验证后将有力助推公司单片清洗设备进入量产线。 槽式设备批量交付,有望实现快速增长。根据公司官方微信,3月下旬开始公司以每月2~3台的数量交付设备给客户(包括华润微、楚微,中车,燕东,台湾力积电等客户)。交付的设备中,涵盖了近90%的湿法化学工艺步骤。槽式湿法设备的交付目前已经获得许多客户的重复订单,并且还有许多新客户加入。根据2019年年报,公司已取得近40台正式订单,已完成近20台设备装机。虽然Q1受疫情影响,当前公司槽式清洗设备交付情况良好,公司清洗设备业务有望加速增长。 投资建议:预计2020-2022年收入分别为14.5/20.2/25.0亿元,对应PS分别为6.6/4.7/3.8倍;EPS分别为0.90/1.50/1.88元/股。维持前次合计价值50.67元/股,对应公司20年9倍PS。结合业绩和估值情况,继续给予公司“买入”评级。 风险提示:半导体行业投资进入不及预期;新业务推进不及预期;行业竞争加剧导致毛利率下滑。

事件1:6月19日公司交付华虹集团ICRD的300MM单片式湿法设备搬入,标志着至纯旗下至微科技单片和槽式湿法设备二季度出机超十台。 事件2:公司于6月22日发布公告称,证监会对公司提交的《上市公司非公开发行新股核准》予以受理,本次拟募资不超过14.9亿人民币。 投资要点 二季度湿法设备批量出货,全年高增长确定性强 公司单片清洗和槽式清洗设备二季度出货超10台,上半年总出货量预计10-15台,全年高增长确定。公司交付ICRD的12寸单片清洗设备已获客户认可,其晶圆表面颗粒清洗能力及每小时产出量可以支持到14nm以下的工艺技术节点,达业界一流水平。此外公司至2019年末,已完成了多个工艺的8英寸及12英寸全自动槽式装备,8英寸及12英寸4腔单片装备,12英寸12腔先进工艺单片装备的研发及制造,产品线较为完善,公司产品覆盖面与技术水平均已具备高端清洗设备市场竞争实力。 非公开发行引入战略投资者,多方面改善提升公司综合竞争力 本次非公开发行募集资金不超过14.9亿元,其中5亿元拟用于偿还银行贷款,剩余部分用于补充公司流动资金。本次非公开发行可增强公司资金实力、满足业务扩张资金需求;同时降低资产负债率,改善公司财务状况。此外公司引入北京集成电路基金、中芯涌久、国改基金、津联海河、博辰投资等战略投资者,有利于公司增强股东背景,充分调动优质资源促进公司现有业务发展,同时完善公司治理结构,提高整体管理水平,进而提升公司综合竞争力。 国内高纯工艺系统龙头,后发进军半导体清洗设备业务 至纯科技主要从事高纯工艺系统和半导体湿法清洗设备业务,2019年收入分别为6.37亿元和0.82亿元,占比总收入的65%和8%。其中,半导体清洗设备业务,虽然起步稍晚,但市场空间大、增速快,是公司的最大业务亮点。2015-2019年公司收入由2.08亿元增长至9.86亿元,CAGR达48%,归母净利润从1770万增长至1.1亿,CAGR达57%。 进军半导体清洗设备领域,赛道好空间大,容易率先实现全面国产化 清洗设备在半导体设备市场中价值量占比约5-6%,较光刻、刻蚀等核心设备价值量较低。同时技术门槛也较低,比较容易率先实现全面国产化,故市场空间大。我们预计中国大陆地区每年的湿法清洗设备的空间在15-20亿美元,到2023年清洗机的国产化率可达40%-50%,即国产设备的市场空间在40-70亿元。且预计未来12寸晶圆的槽式和单片式清洗设备将是市场的主要增量,其中单片式清洗机至纯有望成为少数几家具备核心技术的国内设备商。 公司凭借技术优势,迅速积累了中芯国际、北京燕东、TI、华润等高端客户资源,2019年湿法工艺装备新增订单总额达1.7亿元。目前公司启东一期生产基地全面建成,已达到48套/年的产能,一二期共规划96套/年,公司于2019年12月发行可转债,募资3.56亿元投入槽式和单片式清洗设备的生产制造。项目预计在2022年达产,预计初步可贡献最高达9亿元的清洗机业务的收入规模。我们预计2020到2022年半导体设备收入分别为1.6、2.9、5.0亿元。 盈利预测与投资评级:我们预计公司2020-2022年的净利润分别为1.5亿、2.1亿、2.8亿,当前股价对应动态PE分别为67倍、48倍、36倍,在可比公司中处于最低位置,我们看好公司半导体清洗设备业务的发展,在估值上存在提升空间,维持“增持”评级。 风险提示:半导体业务进展不及预期;毛利率波动风险。

国内高纯工艺系统龙头,后发进军半导体清洗设备业务至纯科技主要从事高纯工艺系统和半导体湿法清洗设备业务,2019年收入分别为6.37亿元和0.82亿元,占比总收入的65%和8%。其中,半导体清洗设备业务,虽然起步稍晚,但市场空间大、增速快,是公司的最大业务亮点。2015-2019年公司收入由2.08亿元增长至9.86亿元,CAGR达48%,归母净利润从1770万增长至1.1亿,CAGR达57%。 2019年公司收购波汇科技进军光传感器市场,产业链向下延伸的同时也将与现有的泛半导体行业多项业务形成协同效应。 高纯工艺系统:国内龙头地位稳定,为公司提供稳定的现金流高纯工艺系统是为下游企业提供整体解决方案的业务,属于特定行业的系统集成业务,是制造业企业新建厂房和生产线的固定资产投资的重要组成部分,约占其固定资产投资总额的5%-8%。 公司高纯工艺系统国内龙头地位逐步稳固,,客户选择系统供应商非常谨慎、客户粘性高,化预计未来可保持年化10%-20%的复合增长。目前行业内技术领先且具有承接大项目实力与经验的本土企业较少,呈现出高等级市场集中度较高(主要为国外龙头)、低等级市场较为分散的竞争格局。 公司董事长蒋渊曾是行业龙头美国凯耐第斯的中国区营销总监,团队技术积累深厚,帮助至纯的系统集成业务逐步实现进口替代。2012年-2019年高纯工艺系统收入从1.37亿元增长到6.37亿元,复合增速为25%,是为公司提供稳健增长现金流的业务板块。主要下游为医疗、光伏、半导体等,订单增长与下游客户的固定资产投资紧密相关。我们预计2020到2022年高纯工艺系统收入分别为8.6、10.4、11.4亿元。 进军半导体清洗设备领域,赛道好空间大,容易率先实现全面国产化约清洗设备在半导体设备市场中价值量占比约5-6%,较光刻、刻蚀等核心设备价值量较低。同时技术门槛也较低,比较容易率先实现全面国产化,故市场空间大。我们预计中国大陆地区每年的湿法清洗设备的空间在15-20亿美元,到2023年清洗机的国产化率可达40%-50%,即国产设备的市场空间在40-70亿元。且预计未来12寸晶圆的槽式和单片式清洗设备将是市场的主要增量,其中单片式清洗机至纯有望成为少数几家具备核心技术的国内设备商。 公司的半导体清洗设备主要包括湿法槽式清洗设备(难度低)和单片式清洗设备(难度高))。2019年起开始批量出货,目前槽式清洗设备和单片式清洗设备均能应用于8寸及12寸的晶圆。公司凭借技术优势,迅速积累了中芯国际、北京燕东、TI、华润等高端客户资源,2019年湿法工艺装备新增订单总额达1.7亿元(截止2019年末,累计已取得近40台正式订单,已完成近20台设备装机)。目前公司启东一期生产基地全面建成,已达到48套/年的产能,一二期共规划96套/年,公司于2019年12月发行可转债,募资3.56亿元投入槽式和单片式清洗设备的生产制造。项目预计在2022年达产,预计初步可贡献最高达9亿元的清洗机业务的收入规模。我们预计2020到2022年半导体设备收入分别为1.6、2.9、5.0亿元。 盈利预测与投资评级:: 我们预计公司2020-2022年的净利润分别为1.5亿、2.1亿、2.8亿,当前股价对应动态PE分别为53倍、38倍、29倍,在可比公司中处于最低位置,我们看好公司半导体清洗设备业务的发展,在估值上存在提升空间,首次覆盖给予“增持”评级。 :风险提示:半导体业务进展不及预期;毛利率波动风险;收购协同效应不及预期

公司发布 2019年年报:公司实现营收 9.86亿元,同比增长 46.34%;实现归母净利润1.10亿元,同比增长 239.88%;扣非后归母净利润 0.91亿元,同比增长 215.31%;经营活动产生的现金流量净额-1.11亿元,同比减少 0.58亿元;基本每股收益 0.46元/股,同比增长 193.55%;加权平均净资产收益率 10.10%,同比增加 2.39个百分点。公司以实施权益分派股权登记日登记的总股本为基数,向全体股东每 10股派发现金红利 0.86元(含税)。 2019年高纯工艺集成系统业务实现收入 6.37亿元,同比减少 5.51%,占公司营业收入的 64.57%,半导体设备业务实现收入 0.82亿元,占公司营业收入的 8.28%;光传感及光器件业务实现收入 2.65亿元,占公司营业收入的 26.82%。 2019年公司毛利率为 34.35%,同比增加 6.16个百分点;净利润率 11.19%,同比增加6.51个百分点;加权平均净资产收益率 10.10%,同比增加 2.39个百分点。分业务板块看,2019年公司高纯工艺集成系统业务的毛利率为 26.44%,同比减少 1.75个百分点,半导体设备、光传感及光器件业务的毛利率分别为 32.08%、53.59%。 2019年公司期间费用总额 2.22亿元,同比增长 74.25%,费用率为 22.48%,同比增加3.60个百分点。其中,研发费用 0.59亿元,同比增长 61.94%,占营业收入的 5.99%,同比增加 0.58个百分点。 2019年公司新增业务订单总额达 14.2亿,新增订单比上一年度增长 56%。其中,高纯工艺系统新增订单 8.8亿元,在半导体领域高纯工艺系统订单来自:海力士、华力、中芯、士兰微、新昇、三星等,在医药领域高纯工艺系统订单来自:百特、君实生物、迈瑞、宝洁、康弘、金霸王等;湿法工艺装备新增订单 1.7亿元,包括中芯、德州仪器、燕东、华润的重复订单,以及华虹集团 ICRD、中车、台湾力晶、湖南楚微、新昇、瀚天天成、华为等新用户订单;光电子板块的新增业务订单总额达约人民币 3.7亿。 公司发布 2020年第一季度报告:公司实现营收 1.13亿元,同比减少 2.34%;归母净利润亏损 1482.83万元,去年同期盈利 1142.87万元;扣非后归母净利润亏损 1739.95元,去年同期盈利 969.01万元;基本每股收益为-0.06元/股,同比减少 207.41%。 我们调整盈利预测,预计公司归母净利润分别为 1.69/2.20/2.75亿元,EPS 分别为0.65/0.85/1.06元,对应 5月 11日收盘价 PE 为 56.2/43.1/34.6倍,维持“审慎增持”评级。 风险提示: 下游资本开支 不及预期, 清洗机市场竞争加剧 , 海外团队管理的风险。 。 过 特别提示:公司自营持仓比例超过 1%

19年业绩快速增长、利润率提升明显,订单饱满。公司19年收入9.86亿元,同比增长46.3%,归母净利润1.10亿元,同比增长239.9%。 19年公司毛利率34.35%、净利率11.19%,提升明显,主要在于并购的波汇科技的高利润率、以及半导体业务毛利率明显提升。根据年报,19年新签订单14.2亿元,同比增长56%;其中高纯系统/湿法设备/光电子业务新签订单8.8/1.7/3.7亿元。20Q1收入1.13亿元,实现归母净利润-0.15亿元,主要是疫情影响工程验收进度。截止2020Q1,公司存货/预收账款分别7.23/1.66亿元,较18年底增长74.9%/72.4%。 根据公司非公开发行预案,向包括北京集成电路基金、中芯涌久、津联海河、国改基金等7名战略投资者定向增发15亿元,有望推动半导体业务在客户资源、上下游投资并购方面的发展机会。 湿法设备业务进展积极,市占率有望逐步攀升。根据2019年年报,公司已取得近40台正式订单,已完成近20台设备装机,包含湿法刻蚀、清洗、金属剥离、晶圆回收等多个工艺。其中 (1)包括中芯、万国、德州仪器、燕东、华润等客户已经取得重复订单; (2)增加了华虹集团ICRD、中车、台湾力晶、湖南楚微、瀚天天成、华为等用户; (3)12寸单片设备获得订单。2020年公司湿法设备业务重点在大幅提高成熟机型的市占率,产能爬坡,毛利爬坡,持续投入新机型研发。 投资建议:预计2020-2022年收入分别为14.5/20.2/25.0亿元,对应PS分别为6.6/4.7/3.8倍;EPS分别为0.90/1.50/1.88元/股。采用PS估值方法,参考可比公司估值,给予公司20年9倍PS,对应合理价值50.67元/股。结合业绩和估值情况,继续给予公司“买入”评级。 风险提示:半导体行业投资进入不及预期;新业务推进不及预期;行业竞争加剧导致毛利率下滑。

中国大陆半导体设备行业进入黄金发展期,清洗设备成为公司第二增长曲线:目前37亿美元市场规模的清洗设备领域还是几乎被迪恩士,拉姆研究和东京电子这些美日厂商垄断,为了提升设备国产化率,公司在2017年进入清洗设备行业。目前至纯已经实现中高端单片和槽式清洗设备的研发,产品正在下游客户端验证,同时为了实现“三年出货200台”的目标,公司在2019年底发行3.56亿可转债,加码扩增清洗设备40台/年的产能。预计公司在2020年订单量有望进一步翻番,清洗设备营收有望接近2.1亿。 高纯工艺系统进入“提质”阶段,并购波汇科技再添增长新动能:目前高纯工艺还是公司的营收主力,其中快速成长的半导体领域工程占比最高,达到65%,其他光伏、医药领域项目则聚焦更多资源在高毛利的项目,实现“提质增利”。高纯工艺系统不仅受益于晶圆厂建厂潮,而且随着半导体工艺每年更新迭代,都会产生新增需求,我们预估高纯工艺系统需求达到770亿,未来三年公司高纯系统业务也将实现30%以上的复合增长。2018年底公司并购波汇科技,实现了向光电传感器工程业务的拓展,而且下游客户均为国家大型国企,订单充足,预计2020年波汇业务将贡献约6600万利润。 疫情对于半导体设备行业影响较小,低估清洗设备新星有望迎来放量成长阶段:由于半导体设备行业具有需求相对刚性,即使受到疫情影响,也仅仅是部分产线建设进度延期,不会削减开支。公司作为清洗设备的核心标的,未来三年业绩具有高确定性和高成长性双重特点,2020年下半年进入湿法设备的订单确认期,我们预计未来三年公司的营收分别为14.63亿,20.56亿和27.66亿,同比增速达到48%/41%/35%,获利同比成长分别为55%/67%和48%。 投资建议与估值 即使受到疫情影响,晶圆厂资本开支也并未下调,公司的清洗设备需求相对刚性,我们预估公司在2020-2022年EPS分别为0.54/0.90/1.34元。采用分部估值法,给予公司未来6-12个月目标市值为123亿,对应目标价为48元,首次覆盖给予“买入”评级。 风险提示 行业竞争加剧;疫情导致晶圆厂投产延后订单确认低于预期;4月13日和4月27日有大比例限售股解禁。

至纯科技是高纯工艺系统龙头,下游涵盖了半导体、光伏、LED、医药等行业,客户包括中芯国际、长江存储、南京台积电等均是行业内的领军企业。随着国内晶圆厂开始进入大规模投建期,半导体设备制造商对高纯工艺需求迅速增长,当前高纯工艺中半导体分业务收入已经超过 65%。2018年,公司高纯工艺系统新增订单总额达 8亿元,同比增长 20%。 切入半导体清洗设备打造新成长极公司目前湿法工艺设备包括槽式及单片设备,涵盖 8/12寸工艺制程,截至 2018年,公司已获得中芯、万国、TI、燕东、华润等用户的正式订单,新增订单总额达1700万美元,预计大部分订单将在 2019年交付。其中中芯绍兴厂已经有 6台设备在工作,包括 metal lift off、湿法刻蚀、reclaim 多个工艺;19年 8月,炉前清洗及湿法去胶清洗设备也已交付燕东微电子。公司启东一二期产能规划 96台,目前一期产能正在爬坡中,合肥基地设计产能 40台,预计 2022年可以达产。 根据 SEMI 预测,2019年,我国半导体设备资本支出为 129亿美元,预计 2020年中国半导体设备支出金额为 149亿美元,对应的清洗设备的市场空间分别为 10.32亿美元和 11.92亿美元。未来,半导体制程的不断提高会持续带动清洗步骤的增加,平均每增加一个节点,清洗步骤大约增加 15%,未来清洗设备在设备投资中的占比预计还将持续提高。现阶段,清洗设备市场主要被 Screen 和 Tokyo Electron 占据,国内晶圆厂的大规模投建预计将给至纯等国内清洗设备企业带来良好的发展机遇。 并购波汇+ 晶圆再生拓展业务边界公司 2018年收购波汇科技 100%股权,波汇主要从事光传感器及相关光学元器件的研发、生产及销售,与公司现有业务形成协同和补充,2018-2020年承诺净利润不低于 3200万元、4600万元、6600万元。公司 2019年 12月发行 3.56亿元可转债,其中 2亿元用于晶圆再生基地项目,预计 2023年可以达产,届时将实现年产12英寸硅再生晶圆 84万片的产出能力,根据 SEMI 预测,2018年全球再生晶圆市场规模约 6.03亿美元,公司通过此次募集资金,将进一步拓展业务范围,提高盈利能力。 盈利预测: 预计公司 2019-2021年收入 10.14亿元、12.61亿元、16.03亿元,净利润 1.17亿、1.80亿、2.84亿,对应 EPS 为 0.45、0.70、1.10元。根据可比公司的市盈率,我们给予至纯科技 2020年 78倍市盈率,预计目标价格 54.6元。首次覆盖,给予“买入”评级。 风险 提示 : 中美贸易战加剧导致零部件等进口受到严重管制、海外竞争对手通过价格战竞争压低公司利润率、客户验证进度不及预期。

下游资本开支超预期,采购拐点来临 1、中芯国际资本开支超预期:中芯国际2020年资本开支预计为31亿美元,远超预期的25亿美元,资本开支超出预期。 2、全球设备出货量拐点来临:SEMI公布2019年10/11/12月的设备出货金额,分别为20.8亿美元/21.2亿美元/24.9亿美元,同比增长2.5%/9.1%/17.8%。设备出货金额在连续下跌12月后,出现连续三月上涨,拐点已至。 至纯科技,进军高端半导体清洗设备 1、新增:半导体清洗设备业务:至纯科技通过战略规划,公司业务在高纯系统的基础上,新增半导体清洗设备业务,进军半导体装备行业。 2、亮剑:高端单片式清洗设备:公司在实现槽式清洗设备量产之后,积极研发高端单片式清洗设备,目前公司以8-12腔产品为主,预计2020年出货。 3、扩产:启东制造基地扩产能:公司在2019年中旬启用启东制造基地,扩大产能以满足下游清洗设备需求,一期和二期项目产能各为48台/年清洗设备,目前一期项目正处于产能爬升阶段,预计2020年末可以达到满产状态。 盈利预测及估值 我们预计公司2019-2021年实现的净利润为1.19/1.81/2.61亿元,对应摊薄后EPS分别为0.46/0.70/1.02元/股。给予“增持”评级。风险提示:1),下游晶圆厂建设不及预期;3),核心原材料涨价股价催化剂:1),半导体清洗设备国产代替加速;2),单片式清洗设备出货

高纯工艺系统国产龙头,布局半导体湿法清洗设备 公司持续受益于下游泛半导体行业高景气度。中国集成电路市场已经成为全球第一大市场,半导体制造业国产化是主流趋势。公司对标国际一流企业,为下游行业提供高纯工艺系统整体解决方案,横向布局具有国产替代力的湿法清洗设备。公司未来增长主要来自于半导体湿法清洗设备放量及延伸的晶圆回收业务,以及并购的波汇科技在光传感领域的增长。我们预计公司2019-2021年EPS分别0.39/0.73/1.19元,目标价35.93-39.07元,首次覆盖,给予“增持”评级。 国产替代驱动,高纯工艺市场空间广阔 根据SEMI预计,2020年中国半导体设备市场规模将达179亿美元,占全球市场20%。我国集成电路市场高度依赖进口,国家出台多项利好政策,设立了国家集成电路产业基金投资制造、设计、封测、装备材料。行业发展和政策扶持有望带动高纯工艺市场持续增长,我们预计2020年中国高纯工艺系统市场有望达73.03亿元,2018-2020年复合增长率24%。 产品具备国产代替能力,重视自主研发实力 高纯工艺水平已经实现ppb(十亿分之一)级的不纯物控制。湿法设备领域同时布局槽式和单片式清洗机,二者技术水平均可提供8~12寸晶圆制造中所需的湿法工艺,成功进入SK海力士、中芯国际、华力微电子、长江存储的供应链。公司具备高度自主研发水平,实现了设备高度自产,有效控制生产成本。目前公司拥有覆盖气体类系统,化学品系统、液体类系统等41项核心技术产品,多项核心产品处于研发阶段,技术储备充足。 收购波汇科技+可转债募投,业务版图再扩大 波汇科技的光感器系统可以有效的对高纯工艺系统及工艺制程设备中的温度、压力、溶液浓度、液体泄漏、气体浓度实施精准地监控,光传感技术协同效应提高产品竞争力,有望实现智慧工厂转型升级。公司2019年12月20日发行3.56亿元可转债,2亿元用于晶圆再生基地项目,主要开展再生晶圆的加工服务,达产后将实现年产12英寸硅再生晶圆84万片的产出能力,填补安徽省内空白。 高纯工艺系统国产龙头,首次覆盖并给予“增持”评级 我们预计公司2019-2021年实现收入13.05、18.10及25.44亿元,增速93.60%、38.71%和40.54%。19-21年公司净利润分别为1.01/1.90/3.07亿元,对应EPS分别0.39/0.73/1.19元,对应PE为84、44、27倍。我们对公司高纯业务、传感器业务采用市盈率PE方法估值,对半导体业务采用市销率PS方法估值,各部分对应2020年目标市值为28.75-31.94、21.12-22.44、43.2-46.8亿市值,目标总市值93.07-101.18亿元,对应目标价35.93-39.07元,首次覆盖,给予“增持”评级。 风险提示:半导体政策推进、资金扶持不及预期;清洗设备研发投入和技术突破不及预期;下游市场对高纯工艺系统和半导体清洗设备需求降低;关键零部件采购不足;并购子公司业绩不及承诺。

主业高纯工艺系统业务订单饱满,毛利率有所回升:①2018年起, 国内多个半导体项目开工。受此推动,公司 18年高纯工艺系统 的新增订单总额达 8亿元,同比增长 20%;②2019年,一方面公 司此前的订单正陆续交付及确认收入,另一方面判断公司全年新 签订单仍有望实现 20%以上增长,奠定 20年收入增长基础;③毛 利率方面,公司前期主业毛利率下降主要系半导体行业客户的毛 利率下降。公司在进入半导体市场前期,为了能切入一线核心厂 商,在原有报价基础上给予一定的折扣以确保能够中标入围。而 在后续重复订单里,至纯的产品与服务得到了客户的认可,拥有 了议价能力,毛利率得以逐步回升,到 2019年已稳定在 33%左右。 目前在 12寸晶圆厂领域,公司的高纯工艺业务进入的厂商包括 台积电、海力士、三星、中芯国际、华宏、长江存储、长鑫等。 湿法设备产品开始交付,2019年订单充足:①公司目前湿法工艺 设备包括槽式及单片设备,涵盖 8/12寸工艺制程,产品线较为 完善。其中槽式设备是与日本团队以全资子公司的形式合作生 产;单片设备与韩国合作方 IP、利润、技术共享;②截至 2018年,公司已获得中芯、万国、TI、燕东、华润等用户的正式订单, 新增订单总额达 1700万美元。2019年 5月,至纯启东生产基地 落成后生产的第一台设备 Auto Wet Bench 顺利交付;8月,公司 炉前清洗及湿法去胶清洗设备交付燕东、四台湿法设备移交至中 芯绍兴。判断公司 18年的订单大部分将在 19年交付,完成收入 确认。而 19年的订单也已实现可喜增长;③产能方面,公司启 东厂区一期规划产能 48台,二期规划产能同样为 48台。目前一 期产能还在爬坡;④我们认为,近几年大陆地区每年的湿法清洗 设备的空间在 15亿美元左右。伴随着下游需求的增长和公司产 能的提升,公司未来几年清洗设备出货量有望实现快速增长。